移载装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种移载装置(20)。该移载装置(20)具备：能够载放料盒(90)且使之在水平方向上进行进退移动的载货部(21)、使载货部(21)进行旋转的旋转部(24)、以及使载货部(21)进行升降的升降部(31)。升降部(31)被配置在：比通过旋转部(24)而被旋转的载货部(21)的旋转圆(R)靠向外侧的位置。

Transfer device

【技术实现步骤摘要】
移载装置
本专利技术涉及一种移载装置，该移载装置具备：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使载货部进行旋转的旋转部、以及使载货部进行升降的升降部。
技术介绍
作为上述移载装置，例如，有这样一种装置：能够将通过搬送台车被搬送来的收装有基板的料盒(物品)移载到作为处理装置的处理室(例如，参照专利文献1)。在专利文献1的移载装置中，料盒搬送设备(移载装置)将通过搬送台车设备被搬送来的料盒从搬送台车设备移载到设置在处理室上方的收货台。或者，料盒搬送设备将收装有在处理室被处理过的基板的料盒从上述收货台移载到搬送台车设备。料盒搬送设备具备：能够载放料盒且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使该载货部进行旋转的旋转部、以及使载货部进行升降的升降部。料盒搬送设备通过升降部而使朝向搬送台车设备进行伸长的载货部从料盒的下方开始上升，由此使料盒载放到载货部上。而且，料盒搬送设备在使载放有料盒的载货部进行弯曲的状态下，通过旋转部而使之进行旋转，由此将料盒移载到处理室的上方的收货台。现有技术文献专利文献专利文献1：韩国登录专利第10-1511963号公报
技术实现思路
然而，在上述那种以往的移载装置中，由于构成为：升降部配置在比载货部低的位置，而且，旋转部配置在升降部的下方，因此，在载货部的下方或者附近，必须确保升降部以及旋转部的设置空间，这样就产生了移载装置整体难以实现底盘低化的问题。另外，在以往的移载装置中，由于升降部配置在载货部附近，因此，就产生了：载货部的进退移动因为升降部的配置而被限制为2方向或3方向的问题。因此，本专利技术的目的在于提供一种下述的移载装置，即：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部可以在4方向上进行进退移动，而且还能实现装置整体的底盘低化。本专利技术所要解决的课题如上所述，接着，说明用于解决该课题的技术手段。即，本专利技术的移载装置具备：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使所述载货部进行旋转的旋转部、以及使所述载货部进行升降的升降部，所述升降部被配置在：比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置。在上述构成中，升降部被配置在：比通过旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置，由此，升降部与载货部被配置在相分离开的位置，并且升降部在比所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置来进行载货部的升降。本专利技术的移载装置是在上述移载装置的基础之上，在比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置具备4根支柱，在所述4根支柱的各支柱上设置所述升降部，所述载货部被支承于所述4根支柱，通过设置在所述4根支柱中的各支柱上的所述升降部来进行升降。在上述构成中，通过设置在4根支柱中的各支柱上的升降部来进行载货部的升降。亦即，利用4轴来进行载货部的升降。本专利技术的移载装置是在上述移载装置的基础之上，具备：使移载装置整体在水平方向上移动的行驶部。根据上述构成，通过使行驶部进行行驶，移载装置整体在水平方向上进行移动。根据本专利技术的移载装置，升降部被配置在：比通过旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置，由此，升降部与载货部被配置在相分离开的位置。因此，不必在载货部的下方来确保升降部的设置空间，就能够容易地实现移载装置整体的底盘低化。另外，由于升降部与载货部被配置在相分离开的位置，因此，不会出现：载货部的进退移动因为升降部的配置而受到限制的情形，从而能够使载货部在4方向上进行进退移动。附图说明图1是设置有本专利技术移载装置的制造设备的俯视图。图2A是在本专利技术移载装置中使载货部的屈伸式臂进行弯曲的情况下的立体图。图2B是在本专利技术移载装置中使载货部的屈伸式臂进行伸长的情况下的立体图。图3A是在本专利技术移载装置中使载货部的屈伸式臂进行弯曲的情况下的俯视图。图3B是在本专利技术移载装置中使载货部的屈伸式臂进行伸长的情况下的俯视图。具体实施方式说明本专利技术所涉及的移载装置20。如图1所示，移载装置20是：设置在用于制造半导体产品或者液晶显示元件产品的制造设备10上的装置。详细而言，移载装置20是在蒸镀装置11附加设置的装置，其中，该蒸镀装置11是用于对半导体产品、或者液晶显示元件产品的未成品亦即基板进行蒸镀处理的装置。另外，移载装置20虽然是在蒸镀装置11附加设置的装置，但是，并非仅限定于此，只要是蒸镀装置11等处理装置之间、或者搬送台车与处理装置之间等等需要进行物品的移载而附加设置的装置，也可以是在蒸镀装置11以外的装置上附加设置的装置。在制造设备10中，收装有板状体的基板的料盒90(“物品”的一例)通过沿着台车行驶导轨12而行驶的搬送台车13，而被搬送到蒸镀装置11附近。通过搬送台车13而被搬送的料盒90是由一个侧面或者两侧面呈开口的大致箱型形状的部件来形成的。料盒90构成为：在其内部能够收装多个基板。通过搬送台车13而被搬送的料盒90又通过移载装置20而从搬送台车13上被搬下来，并被移载到在蒸镀装置11上方设置的升降移载机14的收货台15上。被移载到升降移载机14的收货台15上的料盒90的上部通过升降移载机14的卡止部14a而被卡止，在被卡止的状态下，下降并移载到在收货台15的下方设置的蒸镀装置11的载入埠11a。另一方面，收装有通过蒸镀装置11而被处理的基板的料盒90的上部通过从载入埠11a的上方下降下来的升降移载机14的卡止部14a而被卡止，在被卡止的状态下，上升并移载到收货台15。被移载到收货台15的料盒90被移载装置20接收，并被移载于搬送台车13。如上所述，移载装置20是：用于载放料盒90并使之在水平方向上进行进退移动的装置。移载装置20将料盒90从搬送台车13搬出来，并将所搬出来的料盒90移载到升降移载机14的收货台15。另外，移载装置20从收货台15接收料盒90，并将所接收到的料盒90移载于搬送台车13。如图1至图3B所示，移载装置20主要由下述各部分构成，即：用于载放料盒90并使之在水平方向上进行进退移动的载货部21、使载货部21进行旋转的旋转部24、对载货部21以及旋转部24进行支承的4根支柱26、使载货部21进行升降的升降部31、以及使移载装置20整体在水平方向上进行移动的行驶部34。载货部21主要由下述各部分构成，即：具有用于将料盒90载放在其上表面上的载放部22a的载货台22、用于使载货台22在水平方向上进行进退移动的屈伸式臂23、以及驱动屈伸式臂23的驱动马达(未图示)。载货台22是通过能够载放料盒90并能够进行移载的大致长方形状的框体来构成的。载货台22在框体的上部形成有载放部22a。通过驱动马达的驱动而使屈伸式臂23进行屈伸，由此载货台22相对于搬送台车13以及收货台15而进行进退移动。屈伸式臂23是通过能够屈伸的一对臂状的部件来构成的。在屈伸式臂23的前端部安装有载货台22的基端部。屈伸式臂23的基端部以能够本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种移载装置，其特征在于，/n所述移载装置具备：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使所述载货部进行旋转的旋转部、以及使所述载货部进行升降的升降部，/n所述升降部被配置在：比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置。/n

【技术特征摘要】
20181121 JP 2018-2178211.一种移载装置，其特征在于，
所述移载装置具备：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使所述载货部进行旋转的旋转部、以及使所述载货部进行升降的升降部，
所述升降部被配置在：比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置。


2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：茶谷秀次，城石景祐，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本;JP