【技术实现步骤摘要】
一种真空等离子清洗机的清洗腔
本技术涉及等离子清洗领域，尤其涉及真空等离子清洗机的清洗腔。
技术介绍
真空等离子清洗系统就是利用高压电源在一定的压力条件下对气体施加足够的能量，然后产生等离子体，等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。工艺部件的表面通过等离子束的物理轰击而被清洗，其表面也可以与特定气体发生化学反应从而使被清洗污染物转化为气相被排出。现有的等离子机的腔体内一般分为水平式或者弹夹式，水平式的是通过水平放置的多个电极，上下电极之间可放置放置架用于承载待清洗的物件，如电路板，但其缺陷是在清洗体积大的非板式产品时，无法放入，若要将中间的电极抽出空出空间，则造成无法电离或者电离效果差的问题，清洗效果变差；进而出现了弹夹式的腔体，就如专利公告号为：CN205529055U公开的一种真空等离子清洗机组合柜式电极是通过在腔体内设置格形电极，用于放置产品，其方格的电极是固定的，并且由于电极...
【技术保护点】
1.一种真空等离子清洗机的清洗腔，其特征在于，包括腔体，所述腔体内壁相对设置有两个电极卡合机构，所述电极卡合机构上卡合有至少一组第一电极或第二电极，所述电极卡合机构之间的腔体内壁设有至少四根铜排，所述铜排上排列设置有若干插槽；所述电极卡合机构包括板体，所述板体上设有平行设置的滑槽，所述滑槽的宽度为4-8mm，所述滑槽间的间隔为8-12mm。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空等离子清洗机的清洗腔，其特征在于，包括腔体，所述腔体内壁相对设置有两个电极卡合机构，所述电极卡合机构上卡合有至少一组第一电极或第二电极，所述电极卡合机构之间的腔体内壁设有至少四根铜排，所述铜排上排列设置有若干插槽；所述电极卡合机构包括板体，所述板体上设有平行设置的滑槽，所述滑槽的宽度为4-8mm，所述滑槽间的间隔为8-12mm。
2.根据权利要求1所述的真空等离子清洗机的清洗腔，其特征在于，所述滑槽的宽度为5mm，所述滑槽间的间隔为10mm。
3.根据权利要求1所述的真空等离子清洗机的清洗腔，其特征在于，所述滑槽下部设有滚轮。
4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，
申请(专利权)人：昆山国华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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