【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片切割电主轴的三重密封轴端防护结构
本技术涉及机械加工
，具体为一种用于硅片切割电主轴的三重密封轴端防护结构。
技术介绍
电主轴又叫电机内装式主轴，其依靠内部电机直接驱动，而不需要像传统的机械主轴那样需要外接伺服电机来工作。电主轴的结构紧凑，可以实现高转速、高精度以及高运转的稳定性。在硅片切割过程中，伴随着大量的硅粉和水组成的固液混合物。硅粉混合物黏附性高，难脱落，吸附在主轴表面后难以去除。一般的气密封结构气流从均分的若干个小孔往外出气，小孔容易被硅粉混合物堵死失效。随着时间的积累，硅粉混合物进入主轴内部，使轴承卡死。国外的防护结构采用双层油封结构，然而，油封的限制使得主轴难以实现高转速，影响效率。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足之处，从而提供一种用于硅片切割电主轴的三重密封轴端防护结构，通过前耐磨环、外防尘盖和主轴，外防尘盖固定在前压盖上，罩住前内挡盖，形成第一层密封形式，起到防尘作用；通过由主轴、前压盖、前内挡盖，前压盖固定在套筒上，前压盖下压前外垫圈和轴承，保证轴...
【技术保护点】
1.一种用于硅片切割电主轴的三重密封轴端防护结构，包括主轴(1)、外防尘盖(3)、前压盖(5)，其特征是：所述主轴(1)为阶梯结构，设有第一阶梯(11)、第二阶梯(12)、第三阶梯(13)，在主轴(1)的第三阶梯(13)上由内向外依次套装有轴承(10)、套筒(9)，套筒(9)上设有套筒进气孔(91)，在主轴(1)的第二阶梯(12)上套装有前外垫圈(6)，前外垫圈(6)的两个端面分别镶嵌有第一薄密封盖(7)、第二薄密封盖(8)，在主轴(1)的第一阶梯(11)外圈上依次设有耐磨环接触外圆(111)、耐磨环接触端面(112)、分气槽(113)、储气槽(114)、存储槽(115)，...
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片切割电主轴的三重密封轴端防护结构，包括主轴(1)、外防尘盖(3)、前压盖(5)，其特征是：所述主轴(1)为阶梯结构，设有第一阶梯(11)、第二阶梯(12)、第三阶梯(13)，在主轴(1)的第三阶梯(13)上由内向外依次套装有轴承(10)、套筒(9)，套筒(9)上设有套筒进气孔(91)，在主轴(1)的第二阶梯(12)上套装有前外垫圈(6)，前外垫圈(6)的两个端面分别镶嵌有第一薄密封盖(7)、第二薄密封盖(8)，在主轴(1)的第一阶梯(11)外圈上依次设有耐磨环接触外圆(111)、耐磨环接触端面(112)、分气槽(113)、储气槽(114)、存储槽(115)，耐磨环接触外圆(111)套装有外防尘盖(3)，在主轴(1)的第一阶梯(11)和外防尘盖(3)之间设置有前耐磨环(2)，前耐磨环(2)镶嵌在外防尘盖(3)中，前耐磨环(2)的内孔与主轴(1)上的耐磨环接触外圆(111)摩擦接触，前耐磨环(2)的端面与主轴(1)上的耐磨环接触端面(112)摩擦接触，长时间运转后，两个接触的面形成一道间隙极小的出气空间，外防尘盖(3)固定在前压盖(5)上，罩住前内挡盖(4)，外防尘盖(3)设有外防尘盖排屑槽(31)，前压盖(5)固定在套筒(9)上，前压盖(5)下压前外垫圈(6)和轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴锋，伊少春，张玉雯，
申请(专利权)人：无锡阳光精机有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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