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一种用于硅片切割电主轴的三重密封轴端防护结构，包括主轴、外防尘盖、前压盖，其特征是：所述主轴为阶梯结构，设有第一阶梯、第二阶梯、第三阶梯，在主轴的第三阶梯上由内向外依次套装有轴承、套筒，套筒上设有套筒进气孔，在主轴的第二阶梯上套装有前外垫圈...
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