检测装置、检测装置的控制方法以及电荷电压变换电路制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检测装置、检测装置的控制方法以及电荷电压变换电路，目的在于抑制由漏电流导致的测定值的误差。检测装置具有：检测部，其具有与第1驱动端子连接的第1电极和与信号端子连接的第2电极，通过上述第1电极和上述第2电极构成静电电容根据物理量变化的检测用电容器；驱动部，其向上述第1驱动端子施加交流的第1驱动信号，在第1期间和第2期间使上述第1驱动信号的电压反转；电荷电压变换部，其将在上述信号端子产生的电荷变换为电压，在上述第1期间生成第1输出电压，在上述第2期间生成与上述第1期间的电压反转的第2输出电压；以及差值处理部，其生成上述第1输出电压与上述第2输出电压的差值。

Detection device, control method of detection device and charge voltage conversion circuit

【技术实现步骤摘要】
检测装置、检测装置的控制方法以及电荷电压变换电路
本专利技术涉及湿度检测装置等检测装置、检测装置的控制方法以及电荷电压变换电路。
技术介绍
作为检测装置，例如湿度检测装置有将湿敏膜用作电介质的静电电容式检测装置，其中，湿敏膜由介电常数根据吸收的水分量而变化的高分子材料形成。在该静电电容式的湿度检测装置中，在电极间配置湿敏膜，通过测定该电极间的静电电容来求出湿度(相对湿度)(例如，参照专利文献1)。在专利文献1所记载的湿度检测装置中，设有静电电容根据湿度变化的传感器部、不论湿度而保持固定的静电电容的基准部(参考部)，通过将两者的电容差变化为电压来测量湿度。将传感器部和基准部并设于基板上。作为在这样的静电电容式湿度检测装置中所使用的电路部，已知将从传感器部输出的电荷通过电荷放大器变换为电压的结构(例如，参照专利文献2)。该电路部中除了电荷放大器外，还设有通过矩形波的交流驱动信号驱动传感器部的驱动电路等。在上述检测装置中，在端子上设有静电放电保护电路等，由此考虑发生漏电流的情况。在电容检测端子发生漏电流时，来自电荷放大器的输出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测装置，其特征在于，具有：/n检测部，其具有与第1驱动端子连接的第1电极和与信号端子连接的第2电极，通过上述第1电极和上述第2电极构成静电电容根据物理量而变化的检测用电容器；/n驱动部，其向上述第1驱动端子施加交流的第1驱动信号,并且在第1期间和第2期间使上述第1驱动信号的电压反转；/n电荷电压变换部，其将在上述信号端子产生的电荷变换为电压，并且在上述第1期间生成第1输出电压，在上述第2期间生成与上述第1期间的电压反转的第2输出电压；以及/n差值处理部，其生成上述第1输出电压与上述第2输出电压的差值。/n

【技术特征摘要】
20181116 JP 2018-215756;20190723 JP 2019-1350721.一种检测装置，其特征在于，具有：
检测部，其具有与第1驱动端子连接的第1电极和与信号端子连接的第2电极，通过上述第1电极和上述第2电极构成静电电容根据物理量而变化的检测用电容器；
驱动部，其向上述第1驱动端子施加交流的第1驱动信号,并且在第1期间和第2期间使上述第1驱动信号的电压反转；
电荷电压变换部，其将在上述信号端子产生的电荷变换为电压，并且在上述第1期间生成第1输出电压，在上述第2期间生成与上述第1期间的电压反转的第2输出电压；以及
差值处理部，其生成上述第1输出电压与上述第2输出电压的差值。


2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，
上述检测部还具有与第2驱动端子连接的第3电极，通过上述第2电极和上述第3电极构成与上述物理量对应的静电电容不发生变化的参考用电容器，
上述驱动部向上述第2驱动端子施加与上述第1驱动信号相位相反的交流的第2驱动信号。


3.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，
上述差值处理部是差动输入方式的AD转换器。


4.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，
上述检测装置具有对上述第1输出电压和上述第2输出电压进行采样并保持的采样保持电路。


5.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，
上述物理量为湿度。


6.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，
上述第3电极设置于基板的上方，
经由绝缘膜将上述第2电极设置于上述第3电极的上方，
经由湿敏膜将上述第1电极设置于上述第2电极的上方。


7.根据权利要求6所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上文裕，大塚信也，山本康介，
申请(专利权)人：美蓓亚三美株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP