刻划装置及刻划方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制刀轮晃动而稳定性良好地保持且能够以高精度加工高品质刻划线的刻划装置以及刻划方法。刻划装置通过一边将刀轮(2)按压于脆性材料基板(W)的表面一边使该刀轮相对移动而在基板(W)上加工刻划线，该刻划装置构成为，加工刻划线的刀轮(2)与马达(M)连结且朝向刻划行进方向自转。

Marking device and method

【技术实现步骤摘要】
刻划装置及刻划方法
本专利技术涉及用刀轮在树脂基板或脆性材料基板上加工分断用的刻划线的刻划装置及刻划方法。
技术介绍
通常，在从大尺寸的母基板切出单位基板的情况下使用例如专利文献1中所示的刻划装置，一边使刀轮按压于母基板的表面一边移动而形成纵向、横向的刻划线(切槽)，接下来通过使基板挠曲等而从刻划线分断，由此取出单位基板。以往的刀轮如图8及图9所示，将保持在刀具保持器9B上的轴20以旋转自如的方式插入在刀轮2的轴孔中而形成。并且，通过使与刀具保持器9B相连的刻划头或保持所加工的基板的工作台移动，从而使刀轮2在与基板的摩擦力的作用下转动而在基板上加工刻划线(切槽)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-72008号公报但是，为了将刀轮以能够相对于轴旋转的方式保持，必须在刀轮的轴孔内表面与轴外周面之间设置间隙(间隔)，例如在直径2～3mm、轴孔内径0.8mm的刀轮中至少需要10～20μm的间隙。因此，与该间隙相应地刀轮变得不稳定，产生刀尖摆动等，成为产生刻划开始位置的轴向上的偏差或刻划线起伏等的产生原因。另外，在轴孔内表面与轴外周面之间产生的摩擦力因磨损或其他某种要因而变化，若刀轮相对于基板的摩擦力变化，则在刀轮的刀尖棱线与基板之间产生打滑而使刻划线的加工精度劣化，并且存在刀轮刀尖的磨损加深而使用寿命缩短的问题。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术鉴于上述课题，目的在于提供一种能够抑制刀轮晃动而稳定性良好地保持且能够以高精度加工高品质刻划线的刻划装置以及刻划方法。用于解决课题的方案为了达成上述目的，在本专利技术中采用以下技术方案。即，在本专利技术中，刻划装置构成为，通过一边将刀轮按压于脆性材料基板的表面一边使该刀轮相对移动而在基板上加工刻划线，在该刻划装置中，加工所述刻划线的刀轮与驱动源连结并朝向刻划行进方向自转。另外，本专利技术涉及一种刻划方法，其通过一边将刀轮按压于脆性材料基板的表面一边使该刀轮相对移动而在基板上加工刻划线，所述刻划方法的特征在于，一边利用驱动源使加工所述刻划线的刀轮朝向刻划行进方向自转一边进行刻划。在此，优选以使所述刀轮的圆周速度与相对于基板的移动速度成为相同速度的方式进行调整。另外，驱动源通常使用马达，但只要能够施加使刀轮自转的动力，就没有特别限定。专利技术效果根据本专利技术，刀轮相对于基板自转而进行刻划，因此不会相对于基板发生不规则的滑移等，能够以稳定的状态进行刻划，能够加工无偏差的高品质刻划线。另外，通过针对刻划速度改变刀具保持器的圆周速度，例如减慢圆周速度而对刻划线的裂纹(龟裂)进行深加工等，能够任意调整裂纹的浸透度。另外，通过以使刀轮的圆周速度与相对于基板的移动速度成为相同速度的方式进行调整，从而能够以刀尖棱线相对于基板表面无打滑的状态进行刻划。由此，具有能够加工高精度的刻划线并能够抑制刀尖棱线磨损以实现刀轮长寿命化的效果。在本专利技术中，优选构成为，所述刀轮固定于旋转轴，该旋转轴与所述马达驱动源连结而进行驱动。由此，刀轮与旋转轴之间无间隙，能够消除由间隙引起的刀尖的摆动等，能够防止产生刻划开始位置的偏差或刻划线的起伏等。在本专利技术中，优选构成为，所述刀轮在使其一部分向下方露出的状态下转动自如地保持在设置于刻划头的刀具保持器的下部，从上方以面接触的方式压接于所述刀轮的刀尖的左右倾斜面的驱动轮和辅助轮在沿着所述刀轮的刻划方向前后分开的位置配置于所述刀具保持器的内部，所述驱动轮经由旋转轴与驱动源连动连结，所述刀轮在与该驱动轮的摩擦的作用下旋转。由此，刀轮由驱动轮和辅助轮从上方平衡性良好地向下方按压，由此消除刀轮的旋转轴承部分的间隙，能够以无晃动的状态稳定性良好地保持刀轮。附图说明图1是示出本专利技术的刻划装置的第一实施例的主视图。图2是上述实施例中的刀轮部分的放大剖视图。图3是示出本专利技术的刻划装置的另一实施例的主视图。图4是图3的实施例中的刀轮部分的放大剖视图。图5是示出本专利技术的又一实施例的主要部分的侧视图。图6是图5中的A-A线剖视图。图7是图5中的B-B线剖视图。图8是示出以往的刀轮安装部分的剖视图。图9是图8中的C-C线剖视图。附图标记说明：D联轴器M马达(驱动源)W基板1工作台2刀轮6机架7旋转轴8刻划头9刀具保持器9A刀具保持器16驱动轮17辅助轮18旋转轴。具体实施方式以下，基于附图说明本专利技术的刻划装置的详细内容。图1及图2示出本专利技术的刻划装置的第一实施例。该刻划装置具备：工作台1，其将待加工基板W保持在上表面；以及刀轮2，其配置于工作台1的上方，在基板W上加工刻划线。工作台1形成为能够以希望的速度沿着沿X方向延伸的轨道3以及与之正交的Y方向的轨道4移动，形成为能够通过升降机构5升降。刀轮2固定在由刻划装置的机架6保持的旋转轴7上，形成为在安装于所述机架6的马达M(驱动源)的作用下以希望的圆周速度自转。旋转轴7与马达轴22经由容许轴之间偏心的联轴器(轴接头)D连接。在本实施例中，该联轴器D由橡胶等以天然或合成树脂构成的弹性材料形成，由此，施加沿轴旋转方向的弹性力。为了对联轴器D施加弹性力，也可以取代树脂使用板簧或磁铁、液力联轴器。另外，在本实施例中，旋转轴7由锥形销形成，通过将锥形销压入刀轮2的轴孔中，从而能够以楔形效应牢固地止固刀轮。需要说明的是，刀轮2如图2所示，在周缘刀尖部分具有以刀尖棱线2a为顶点的左右对称的倾斜面2b、2b。另外，刀轮2以使周面的一部分在组装于位于工作台上方的刻划头8的刀具保持器9的内部露出的状态配置。在本实施例中，刻划头8固定在机架6上，刀具保持器9发挥作为刀轮2的罩的作用。装置整体的移动通过由计算机装置形成的控制部30控制，关于工作台1的X、Y方向的移动速度或刀轮2的圆周速度，也可以根据来自控制部30的控制信号调整。当在基板W上加工刻划线时，在通过升降装置5使工作台1上升而将刀轮2按压在基板W上的状态下，一边使刀轮2在马达M的作用下朝向刻划方向自转，一边使工作台1沿Y方向移动以进行加工。此时，预先设定刀轮2的圆周速度与相对于基板的移动速度一致。具体来说，由能够进行旋转控制的伺服马达或转矩马达形成马达M，并预先设定控制信号，进行工作台1的移动速度与刀轮2的圆周速度匹配的控制。在按照上述方式构成的刻划装置中，刀轮2相对于基板W自转而进行刻划，因此能够以不会相对于基板产生异常滑移等的稳定状态进行刻划。另外，刀轮2与旋转轴7之间不存在间隙，因此不会出现由间隙引起的刀尖摆动等，能够防止产生刻划开始位置的偏差或刻划线的起伏等，能够加工高精度、高品质的刻划线。另外，通过使刀轮2的圆周速度与相对于基板W的移动速度以相同的速度形成，从而在刻划时，即使刀尖棱线与基板W之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刻划装置，其通过一边将刀轮按压于脆性材料基板的表面一边使该刀轮相对移动而在基板上加工刻划线，/n所述刻划装置的特征在于，/n加工所述刻划线的刀轮与驱动源连结，并朝向刻划行进方向自转。/n

【技术特征摘要】
20181119 JP 2018-2161571.一种刻划装置，其通过一边将刀轮按压于脆性材料基板的表面一边使该刀轮相对移动而在基板上加工刻划线，
所述刻划装置的特征在于，
加工所述刻划线的刀轮与驱动源连结，并朝向刻划行进方向自转。


2.根据权利要求1所述的刻划装置，其中，
以使所述刀轮的圆周速度与相对于基板的移动速度成为相同速度的方式进行调整。


3.根据权利要求1或2所述的刻划装置，其中，
所述刀轮固定于旋转轴，该旋转轴与所述驱动源连结而进行驱动。


4.根据权利要求3所述的刻划装置，其中，
所述刀轮的旋转轴以及所述驱动源安装于刻划装置的固定机架部分，保持所述脆性材料基板的工作台相对于刀轮移动。


5.根据权利要求3所述的刻划装置，其中，
所述刀轮配置于组装于刻划装置的刻划头的刀具保持器上，所述旋转轴及驱动所述旋转轴的所述驱动源安装于与所述刻划头相连的部分，从而能够与所述刀轮一起相对于所述基板移动。


6.根据权利要求1或2所述的刻划装置，其中，
所述刀轮在使其一部分向下方露出的状态下转动自如地保持在设置于刻划头的刀具保持器的下部，从上方以面接触的方式压接于所述刀轮的刀尖的左右...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾山浩，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP