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本发明提供一种能够抑制刀轮晃动而稳定性良好地保持且能够以高精度加工高品质刻划线的刻划装置以及刻划方法。刻划装置通过一边将刀轮(2)按压于脆性材料基板(W)的表面一边使该刀轮相对移动而在基板(W)上加工刻划线，该刻划装置构成为，加工刻划线的刀...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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