一种真空蒸镀坩埚防堵料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，其包括用于放置待蒸镀材料的坩埚、设置在坩埚开口处的挡板和具有加热功能的升降柱，升降柱设置在挡板上，当发生堵料情况时，升降柱可随挡板的关闭来到坩埚开口处，并随着升降柱的下降而伸入到坩埚开口内部，用于捅破堵塞在坩埚开口处的蒸镀材料膜，并对附着在坩埚开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华,可以在短时间内及时解决堵料问题，且不会造成材料的浪费；不用时升降柱可以收缩到挡板上，蒸镀时随挡板的打开而离开坩埚口，不影响蒸镀过程。

An anti blocking device for vacuum evaporation crucible

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀坩埚防堵料装置
本技术涉及OLED蒸镀设备
，具体涉及一种真空蒸镀坩埚防堵料装置。
技术介绍
真空蒸镀设备作为OLED技术应用的核心，完美的改变了OLED材料的器件制备工艺，大幅提高了OLED器件制备的精度和使用时间，提高了量产的效率和良品率，是目前使用最为广泛的OLED生产工具。而在真空蒸镀设备中，蒸发源中的配套坩埚作为OLED材料在蒸镀设备中的载体，不但承担着装载材料的作用，同时也影响着材料的加热和蒸发。OLED蒸镀设备中，用于承载有机蒸发材料的坩埚在蒸镀过程中容易发生堵料现象，影响正常的蒸镀，目前常用的解决此问题的方法如下：(一)当发生堵料时处理方法：A.开腔处理堵住的坩埚口，增加充气、抽真空的重复操作，此做法会影响实验进度；B.升高材料蒸镀温度，以高速率冲破坩埚口形成的薄膜，但会极大的造成材料的浪费，且可能使得材料在高温下劣化；(二)防止堵料的方法：A.采用两套加热源，给坩埚口部加热，使其升华，但坩埚口的温度要高于蒸镀温度，可能会导致材料劣化，且另加一个加热源的成本高；B.坩埚口处的挡板设置成可调节的，用于改变开口大小，但其挡板设计复杂，而且会使附着在挡板上的材料增多，造成材料的浪费。
技术实现思路
针对现有技术中的以上不足，本技术提供一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，采用在挡板上添加可加热的升降柱，并将坩埚设计成上窄下宽的束口形状，可在短时间内有效解决坩埚口堵料问题，简单易行。本技术采用如下技术方案：一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，其包括用于放置待蒸镀材料的坩埚和设置在所述坩埚开口处的挡板，所述装置还包括一具有加热功能的升降柱，所述升降柱设置在所述挡板上，所述升降柱的直径小于所述坩埚开口内径；所述升降柱可随所述挡板的关闭来到所述坩埚开口处，并随着所述升降柱的下降而伸入到所述坩埚开口内部，用于捅破堵塞在所述坩埚开口处的蒸镀材料膜，并对附着在所述坩埚开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华，且所述升降柱可随所述挡板的打开而离开所述坩埚口。所述坩埚为上窄下宽式束口结构。所述坩埚的内壁光滑且无分段。所述升降柱为设置在所述挡板下方的可伸缩式结构，所述升降柱的最大长度大于所述挡板与所述坩埚开口之间所形成的间距。所述升降柱的内壁上自上而下环向设有加热线圈。所述升降柱与所述挡板为一体式结构。所述装置还包括挡板支柱，所述挡板设置在所述挡板支柱上，用于支撑所述挡板，并控制所述挡板与所述坩埚开口间的间距。所述装置还包括控制机构，所述控制机构分别与所述挡板和升降柱电性连接，用于控制所述挡板的开闭及所述升降柱的加热。或者，所述装置还包括控制机构和空气压缩机构，所述控制机构与所述空气压缩机构电性连接，用于为所述空气压缩机构提供电源，所述空气压缩机构与所述挡板通过一气管道连通，通过所述空气压缩机构的鼓气和抽气用于控制所述升降柱的伸缩，控制机构与所述挡板电性连接，用于控制所述挡板的开闭；所述控制机构与所述升降柱电性连接，用于控制所述升降柱的加热。所述空气压缩机构为压缩泵。本技术技术方案，具有如下优点：A、本技术一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，采用在挡板上添加可加热的升降柱，升降柱可随挡板的开闭而伸缩，当发生堵料情况时，升降柱可随挡板的关闭来到坩埚开口处，并随着升降柱的下降而伸入到坩埚开口内部，用于捅破堵塞在坩埚开口处的蒸镀材料膜，并对附着在坩埚开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华,可以在短时间内及时解决堵料问题，且不会造成材料的浪费；不用时升降柱可以收缩到挡板上，蒸镀时随挡板的打开而离开坩埚口，不影响蒸镀过程。B、本技术一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，坩埚采用上开口的上窄下宽式束口结构，可以使得从坩埚口处蒸镀时逸出的材料为高速率，有效减少在坩埚开口处形成蒸镀材料膜的概率；另外，坩埚内壁光滑且无分段，可避免材料的附着，减少坩埚开口被堵料的机率。C、本技术一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，制作成本低，没有复杂的设计，简单易行。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式，下面将对具体实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一种真空蒸镀坩埚防堵料装置整体结构示意图(一)；图2为本技术一种真空蒸镀坩埚防堵料装置整体结构示意图(二)；图3为本技术中挡板和升降柱结构俯视图；图4为挡板和升降柱的正视图；图5为本技术中升降柱工作状态示意图；图6为本技术中升降柱停止工作状态示意图。图中标识如下：1-坩埚；2-挡板；3-升降柱，31-加热线圈；4-挡板支柱；5-控制机构；6-空气压缩机构；7-气管道。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1所示，本技术提供了一种解决真空蒸镀坩埚堵料的装置，包括用于放置待蒸镀材料的坩埚1、设置在坩埚1开口处的挡板2和具有加热功能的升降柱3，升降柱3设置在挡板2上，升降柱3的直径小于坩埚1开口内径；升降柱3可随挡板2的关闭来到坩埚1开口处，并随着升降柱3的下降而伸入到坩埚1开口内部并加热，且升降柱3可随挡板2的打开而离开坩埚1口。此处所说的挡板2关闭是指挡板挡住坩埚口，因升降柱附着在挡板上，所以挡板关闭后升降柱也就到达了坩埚开口处。本技术一种解决真空蒸镀坩埚堵料的装置，采用在挡板上添加可加热的升降柱，升降柱可随挡板的开闭而伸缩，当发生堵料情况时，升降柱可随挡板的关闭来到坩埚开口处，并随着升降柱的下降而伸入到坩埚开口内部，用于捅破堵塞在坩埚开口处的蒸镀材料膜，并对附着在坩埚开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华,可以在短时间内及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，其包括用于放置待蒸镀材料的坩埚(1)和设置在所述坩埚(1)开口处的挡板(2)，其特征在于，所述装置还包括一具有加热功能的升降柱(3)，所述升降柱(3)设置在所述挡板(2)上，所述升降柱(3)的直径小于所述坩埚(1)开口内径；所述升降柱(3)可随所述挡板(2)的关闭来到所述坩埚(1)开口处，并随着所述升降柱(3)的下降而伸入到所述坩埚(1)开口内部，用于捅破堵塞在所述坩埚(1)开口处的蒸镀材料膜，并对附着在所述坩埚(1)开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华，且所述升降柱(3)可随所述挡板(2)的打开而离开所述坩埚(1)口。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，其包括用于放置待蒸镀材料的坩埚(1)和设置在所述坩埚(1)开口处的挡板(2)，其特征在于，所述装置还包括一具有加热功能的升降柱(3)，所述升降柱(3)设置在所述挡板(2)上，所述升降柱(3)的直径小于所述坩埚(1)开口内径；所述升降柱(3)可随所述挡板(2)的关闭来到所述坩埚(1)开口处，并随着所述升降柱(3)的下降而伸入到所述坩埚(1)开口内部，用于捅破堵塞在所述坩埚(1)开口处的蒸镀材料膜，并对附着在所述坩埚(1)开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华，且所述升降柱(3)可随所述挡板(2)的打开而离开所述坩埚(1)口。


2.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述坩埚(1)为上窄下宽式束口结构。


3.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述坩埚(1)的内壁光滑且无分段。


4.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述升降柱(3)为设置在所述挡板(2)下方的可伸缩式结构，所述升降柱(3)的最大长度大于所述挡板(2)与所述坩埚(1)开口之间所形成的间距。


5.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述升降柱(3)的内壁上自上而下环向设有加热线圈(31)。


6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张艳，马星辰，
申请(专利权)人：固安鼎材科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13