一种显示基板、显示装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种显示基板、显示装置，涉及显示技术领域，为解决像素驱动电路中晶体管包括的有源层在制作过程中，容易产生脱落，造成有源层缺失，从而导致显示装置出现显示不良的问题。所述显示基板包括多个晶体管；所述晶体管包括：层叠设置的有源层、栅极和源漏金属图形；源漏金属图形位于有源层背向基底的一侧，有源层包括相对设置的第一有源图形和第二有源图形，以及位于第一有源图形和第二有源图形之间的第三有源图形，第一有源图形和第二有源图形的导电性能均优于第三有源图形的导电性能，在垂直于基底的方向上，第一有源图形和第二有源图形的厚度相同，且大于第三有源图形的厚度。本实用新型专利技术提供的显示基板用于显示画面。

A display base plate and display device

【技术实现步骤摘要】
一种显示基板、显示装置
本技术涉及显示
，尤其涉及一种显示基板、显示装置。
技术介绍
随着显示技术的不断发展，有机发光二极管(英文：OrganicLight-EmittingDiode，简称：OLED)显示装置的应用范围越来越广泛。OLED显示装置中一般包括像素驱动电路，工作时，像素驱动电路能够为OLED显示装置中的发光元件提供驱动信号，以驱动发光元件发光。但是所述像素驱动电路包括的晶体管中有源层在制作过程中，容易产生脱落，造成有源层缺失，从而导致显示装置出现显示不良。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种显示基板、显示装置，用于解决像素驱动电路中晶体管包括的有源层在制作过程中，容易产生脱落，造成有源层缺失，从而导致显示装置出现显示不良的问题。为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：本技术的第一方面提供一种显示基板，包括：基底和设置在所述基底上的多个像素驱动电路，每个所述像素驱动电路均包括多个晶体管；所述晶体管包括：层叠设置的有源层、栅极和源漏金属图形；所述源漏金属图形位于所述有源层背向所述基底的一侧，所述有源层包括相对设置的第一有源图形和第二有源图形，以及位于所述第一有源图形和第二有源图形之间的第三有源图形，所述第一有源图形和所述第二有源图形的导电性能均优于所述第三有源图形的导电性能，在垂直于所述基底的方向上，所述第一有源图形和所述第二有源图形的厚度相同，且大于所述第三有源图形的厚度；所述栅极在所述基底上的正投影覆盖所述第三有源图形在所述基底上的正投影；r>所述源漏金属图形包括第一电极和第二电极，所述第一电极与所述第一有源图形耦接，所述第二电极与所述第二有源图形耦接。可选的，所述显示基板还包括：栅线和数据线，所述栅线在所述基底上的正投影与所述数据线在所述基底上的正投影具有第一交叠区域；均位于所述基底和所述栅线之间的第一段差补偿图形和第二段差补偿图形，所述第二段差补偿图形位于所述第一段差补偿图形的周边，在垂直于所述基底的方向上，所述第一段差补偿图形的厚度小于所述第二段差补偿图形的厚度；所述第一交叠区域在所述基底上的正投影位于所述第一段差补偿图形在所述基底上的正投影的内部，所述数据线在所述基底上的正投影与所述第二段差补偿图形在所述基底上的正投影部分交叠。可选的，所述第二段差补偿图形与所述第一段差补偿图形接触，所述第二段差补偿图形在所述基底上的正投影包围所述第一段差补偿图形在所述基底上的正投影。可选的，所述第二段差补偿图形与所述第一段差补偿图形接触，沿所述数据线的延伸方向，所述第二段差补偿图形位于所述第一段差补偿图形相对的两侧。可选的，所述第一段差补偿图形和所述第二段差补偿图形均与所述有源层同层同材料设置；所述栅线与所述栅极同层同材料设置，所述数据线与所述源漏金属图形同层同材料设置。可选的，所述栅极位于所述有源层和所述源漏金属图形之间；或，所述栅极位于所述有源层与所述基底之间。可选的，所述显示基板还包括位于所述有源层与所述基底之间的遮光层，所述遮光层在所述基底上的正投影覆盖所述第三有源图形在所述基底上的正投影，所述遮光层与所述晶体管的第一电极耦接。可选的，所述显示基板还包括：设置于所述多个像素驱动电路背向所述基底的一侧的多个色阻图形，所述色阻图形与所述像素驱动电路一一对应；设置于所述多个色阻图形背向所述基底的一侧的多个发光元件，所述发光元件与所述像素驱动电路一一对应，所述发光元件的阳极与对应的像素驱动电路耦接，能够接收该像素驱动电路提供的驱动信号；所述色阻图形位于对应的像素驱动电路与对应的发光元件之间。可选的，在垂直于所述基底的方向上，所述第一有源图形和所述第二有源图形的厚度在之间，所述第三有源图形的厚度在之间。基于上述显示基板的技术方案，本技术的第二方面提供一种显示装置，包括上述显示基板。本技术提供的技术方案中，通过半色调掩膜技术，在同一次构图工艺中形成了所述有源层，所述有源层中用作沟道区域的第三有源图形的厚度，小于用作源漏极接触区域的所述第一有源图形和所述第二有源图形的厚度，使得所述晶体管中沟道区域的第三有源图形的厚度较薄，保证了晶体管良好的驱动性能，同时使得晶体管中源漏极接触区域的第一有源图形和第二有源图形的厚度较厚，在其形成过程中(经历沉积、刻蚀、清洗、高温退火等工艺流程)，不容易产生缺失，从而降低了上述晶体管区域产生由于源极和漏极导通的亮点类不良的概率，以及降低了上述晶体管区域产生源极和/或漏极断开式暗点类不良的概率。另外，本技术提供的技术方案中，通过一次构图工艺形成有源层中的第一有源图形、第二有源图形和第三有源图形，很好的简化了所述显示基板的制作工艺流程，节约了显示基板的制作成本。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为相关技术中晶体管的截面示意图；图2为本技术实施例中显示基板的俯视示意图；图3为图2中沿C1C2方向的截面示意图；图4为图2中沿D1D2方向的截面示意图；图5～图11为本技术实施例中制作晶体管中的有源层的示意图。附图标记：10-基底，11-遮光层，12-缓冲层，13-氧化物半导体材料层，130-有源层，1301-第一有源图形，1302-第二有源图形，1303-第三有源图形，131-第一过渡图形，132-第二过渡图形，1330-第一段差补偿图形,1331-第二段差补偿图形，140-半色调掩膜板，141-光刻胶，15-栅极绝缘层，16-栅极，17-栅线，18-数据线，190-第一电极，191-第二电极，20-层间绝缘层。具体实施方式为了进一步说明本技术实施例提供的显示基板、显示装置，下面结合说明书附图进行详细描述。基于
技术介绍
中存在的问题，本技术的专利技术人经研究发现：如图1所示，在有源层沉积、刻蚀等工艺过程中，由于有源膜层较薄，在沉积过程中产生的颗粒类异物，在后续清洗中会脱落，造成有源层的缺失，后续在对层间绝缘层20进行刻蚀的过程中，缺失的有源层下方的缓冲层12会被刻蚀掉，如图1中的A部分，导致显示装置中晶体管区域产生由于源极和漏极导通的亮点类不良。另外，在有源层沉积、高温退火过程中，由于有源膜层较薄，且在沉积中存在膜层厚度分布不均现象，因此在厚度薄弱的区域经过高温退火，易产生有源层剥离式缺失，导致晶体管区域产生源极和/或漏极断开式暗点类不良，如图1中的B部分。基于上述发现，专利技术人考虑将晶体管对应沟道区域的有源层130部分的厚度维持不变，将沟道区周边的源漏接触区的有源层130部分加厚，这样既能够保证晶体管的驱动性能，也能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示基板，其特征在于，包括：基底和设置在所述基底上的多个像素驱动电路，每个所述像素驱动电路均包括多个晶体管；/n所述晶体管包括：层叠设置的有源层、栅极和源漏金属图形；所述源漏金属图形位于所述有源层背向所述基底的一侧，所述有源层包括相对设置的第一有源图形和第二有源图形，以及位于所述第一有源图形和第二有源图形之间的第三有源图形，所述第一有源图形和所述第二有源图形的导电性能均优于所述第三有源图形的导电性能，在垂直于所述基底的方向上，所述第一有源图形和所述第二有源图形的厚度相同，且大于所述第三有源图形的厚度；/n所述栅极在所述基底上的正投影覆盖所述第三有源图形在所述基底上的正投影；/n所述源漏金属图形包括第一电极和第二电极，所述第一电极与所述第一有源图形耦接，所述第二电极与所述第二有源图形耦接。/n

【技术特征摘要】
1.一种显示基板，其特征在于，包括：基底和设置在所述基底上的多个像素驱动电路，每个所述像素驱动电路均包括多个晶体管；
所述晶体管包括：层叠设置的有源层、栅极和源漏金属图形；所述源漏金属图形位于所述有源层背向所述基底的一侧，所述有源层包括相对设置的第一有源图形和第二有源图形，以及位于所述第一有源图形和第二有源图形之间的第三有源图形，所述第一有源图形和所述第二有源图形的导电性能均优于所述第三有源图形的导电性能，在垂直于所述基底的方向上，所述第一有源图形和所述第二有源图形的厚度相同，且大于所述第三有源图形的厚度；
所述栅极在所述基底上的正投影覆盖所述第三有源图形在所述基底上的正投影；
所述源漏金属图形包括第一电极和第二电极，所述第一电极与所述第一有源图形耦接，所述第二电极与所述第二有源图形耦接。


2.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述显示基板还包括：
栅线和数据线，所述栅线在所述基底上的正投影与所述数据线在所述基底上的正投影具有第一交叠区域；
均位于所述基底和所述栅线之间的第一段差补偿图形和第二段差补偿图形，所述第二段差补偿图形位于所述第一段差补偿图形的周边，在垂直于所述基底的方向上，所述第一段差补偿图形的厚度小于所述第二段差补偿图形的厚度；
所述第一交叠区域在所述基底上的正投影位于所述第一段差补偿图形在所述基底上的正投影的内部，所述数据线在所述基底上的正投影与所述第二段差补偿图形在所述基底上的正投影部分交叠。


3.根据权利要求2所述的显示基板，其特征在于，所述第二段差补偿图形与所述第一段差补偿图形接触，所述第二段差补偿图形在所述基底上的正投影包围所述第一段差补偿图形在所述基底上的正投影。


4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海涛，李广耀，汪军，程磊磊，胡迎宾，王东方，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11