一种薄膜真空计制造技术

本实用新型专利技术提供一种薄膜真空计，属于检测设备技术领域，包括：外壳，内部具有参考压力腔；导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。本实用新型专利技术的薄膜真空计，吸气剂悬置在参考压力腔内，在对吸气剂进行激活加热的过程中，吸气剂不与其他部件接触，因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题；并且，在吸气剂内内置电热元件，使电热元件的热量直接作用于吸气剂，使吸气剂的加热效率更高，另外，内置在吸气剂内的电热元件还可以对吸气剂起到支撑作用。

A film vacuum gauge

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜真空计
本技术涉及检测设备
，具体涉及一种薄膜真空计。
技术介绍
真空计是测量真空度或气压的仪器，是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可以将真空计分为主要的三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。其中，薄膜真空计为利用力学性能的真空计，薄膜真空计的核心部件为一片径向性辐射拉伸应力状态的膜片，该膜片将外压力测试压力腔体与参考压力腔隔开，参考压力腔内压力值恒定，测试压力腔室中压力的变化会产生两个腔体压差的变化，压差的变化会导致膜片偏移，膜片偏移会产生电容值的变化，从成形成电容和压力变化对应关系。因此，参考压力腔内的气压为计算的基础，气压值的恒定直接决定了压差传感器的寿命和精度。目前，为了使薄膜真空计的参考压力腔内的设定气压进行维持，参考压力腔内通常放置外加热型吸气剂来维持真空，在封接前加热烘烤激活吸气剂，激活完后进行电路组装和调试。如图2所示，为现有技术中的一种薄膜真空计，该薄膜真空计在外壳上需设置用于安装吸气剂的安装孔，该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜真空计，其特征在于，包括：/n外壳(1)，内部具有参考压力腔(2)；/n导线(4)，一端伸至于所述外壳(1)的参考压力腔(2)内，另一端伸出所述外壳(1)；/n吸气剂(5)，悬置在所述参考压力腔(2)内；所述吸气剂(5)内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线(4)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种薄膜真空计，其特征在于，包括：
外壳(1)，内部具有参考压力腔(2)；
导线(4)，一端伸至于所述外壳(1)的参考压力腔(2)内，另一端伸出所述外壳(1)；
吸气剂(5)，悬置在所述参考压力腔(2)内；所述吸气剂(5)内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线(4)连接。


2.根据权利要求1所述的薄膜真空计，其特征在于，所述电热元件为加热丝(3)或加热片。


3.根据权利要求2所述的薄膜真空计，其特征在于，所述加热丝(3)为保持螺旋的形状...

【专利技术属性】
技术研发人员：张心强，靳毅，齐英，蔺宇，陈林，
申请(专利权)人：川北真空科技北京有限公司，中国科学院微电子研究所，
类型：新型
国别省市：北京;11