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本实用新型提供一种薄膜真空计，属于检测设备技术领域，包括：外壳，内部具有参考压力腔；导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。本...该专利属于川北真空科技(北京)有限公司;中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过川北真空科技(北京)有限公司;中国科学院微电子研究所授权不得商用。