一种防震台阶仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防震台阶仪，包括带有探针的探头、支撑架、测试平台和测试转台，所述探头设置于所述支撑架的上部，所述支撑架的下端与所述测试平台固定连接，所述测试转台位于所述探针正下方的测试平台上，所述台阶仪上还设有一密封罩，所述密封罩将所述的探针、支撑架和测试转台密封于所述测试平台上，使所述密封罩内部空间与外界空气相隔绝。本实用新型专利技术提供的台阶仪，采用密封罩结构，使密封罩内部空间与外部实现完全的空气隔绝，进一步隔绝声音，免除了震动传播，本实用新型专利技术中优选采用了真空泵对密封罩内腔进行抽真空的方式，即提高了测试精度，又提高了测试效率，节省了时间，对一些需要精密测量膜厚的样品提供了一种更准确完好的测量方式。

A shockproof step meter

【技术实现步骤摘要】
一种防震台阶仪
本技术属于膜厚测试
，具体涉及一种防震台阶仪。
技术介绍
随着技术的发展，诸多领域如彩色光刻胶等对测试准确度的要求不断提高，测试精度直接影响到产品性能的判定，会产生诸多问题。现有的台阶仪中，一般采用探针进行下探，利用断差得出膜厚数据，由于台阶仪测量精度高，探针下探力低，对震动极为敏感，在测试过程中各种震动对测试精度影响较大，需多次测量才可判定。中国专利文献CN107192353公开了一种台阶仪及探针检测装置，包括探头和连接于探头的探针，探针检测装置包括安装环、激光发射单元、第一激光接收单元和处理组件，安装环连接于探头并环绕探针设置，激光发射单元设于安装环的内壁，用于向预设方向发射激光；第一激光接收单元设于安装环内壁用于接收照射在探针而反射的激光并据以产生电信号。上述专利文献完全没有采用避震措施，所测取的膜厚数据存在偏差。
技术实现思路
本技术为了使现有的台阶仪测试膜厚更加准确，避免各种震动对台阶仪的测试准确度产生负面影响，为此，本技术提供了一种防震台阶仪。所采用的技术方案如下：一种防震台阶仪，包括带有探针的探头、支撑架、测试平台和测试转台，所述探头设置于所述支撑架的上部，所述支撑架的下端与所述测试平台固定连接，所述测试转台位于所述探针正下方的测试平台上，所述台阶仪上还设有一密封罩，所述密封罩将所述的探针、支撑架和测试转台密封于所述测试平台上，使所述密封罩内部空间与外界空气相隔绝。所述测试平台的下方还设有一防震垫，用于吸收地面所产生的震动，所述密封罩与所述测试平台之间还设有用于对所述密封罩进行周向密封的密封垫片。所述防震垫为一防震橡胶气垫。所述防震垫为充气式气垫，充气式气垫的上表面与钢性的测试平台连接，且与一空气压缩泵连接，用于向所述防震垫中注入压缩气体。所述密封罩为一双层钟形真空罩，其与一真空泵连接，用于抽取所述密封罩内部空间的空气。所述密封罩上还设有泄压阀和压力表，用于控制所述密封罩内部空间的真空度。所述密封罩内部空间的真空度为50-300Pa。所述密封罩内部空间还设有可以伸缩的台柱，所述台柱的下端设置在所述测试平台上，控制所述台柱伸长时，所述台柱上端将所述密封罩顶起，打开双层钟形真空罩；降低台柱，关闭双层钟形真空罩。所述支撑架上还设有一调节板，所述探头固定于所述调节板的中部下端面处，靠近所述调节板的两端分别设有摄像装置和照明装置，所述调节板的上端面还设有无线传输器I，所述无线传输器I与外界数据处理设备之间形成无线数据传输。探头可下探，使探针可调整高度，位于所述探头两侧的摄像装置和照明装置，可以调动位置，利于观测。本技术技术方案，具有如下优点：A.本技术提供的台阶仪，采用密封罩结构，使密封罩内部空间与外部实现完全的空气隔绝，进一步隔绝声音，免除了震动传播，本技术中优选采用了真空泵对密封罩内腔进行抽真空的方式，即提高了测试精度，又提高了测试效率，节省了时间，对一些需要精密测量膜厚的样品提供了一种更准确完好的测量方式。B.本技术还同时在测试转台下方的钢性测试平台底部设置了防震垫，降低了从地面传来的震动影响，确保台阶仪测试转台的稳定。C.本技术在调节板上设置了摄像装置及照明装置，二者分别位于探头的两侧，位置可以调整，确保可以实时观测到探针位置及样品的形态，测试转台可以在测试平台固定水平面上自由移动，360度旋转，使样品位于探针垂直下方，探头可以调整高度，带动探针高度调整，测试位置可以更加方便的调整。D.本技术提供的台阶仪中采用了无线数据传输，确保了台阶仪在测试时的密封性与隔绝性，避免了传统台阶仪有线数据传输导致声音震动的影响。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术所提供的台阶仪整体结构示意图；图2是标准样片基线测试；图3是一般台阶仪震动误差图示；图4是采用本技术的防震台阶仪震动误差图示。图5是图1中台柱结构示意图。1-探针；2-支撑架；3-测试转台；4-密封罩；5-防震垫；6-空气压缩泵；7-真空泵；8-泄压阀；9-压力表；10-探头；11-台柱111-无线传输器II；112-液压电机；113-柱塞I；114-吸入口；115-排出开口；116-复位螺栓；117-上升限制电路；118-气缸；119-柱塞II；12-密封垫片；13-调节板；20-摄像装置；30-照明装置；40-无线传输器I；50-测试平台。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，本技术提供了一种防震台阶仪，包括探针1、支撑架2、测试平台50和测试转台3，探针1设置于探头10的下端，探头10固定在支撑架2上，测试转台3位于探针1正下方的测试平台50上，台阶仪上还设有一密封罩4，密封罩4将探针1、支撑架2、测试转台3密封于测试平台50上，使密封罩4内部空间与外界空气相隔绝，比如采用常压密封或真空密封方式，隔绝空气所带传递的震动，即提高了测试精度，又提高了测试效率，节省了时间。本技术进一步在测试转台3的下方设有一防震垫5，用于吸收地面所产生的震动，密封罩4与测试平台50之间还设有用于对密封罩4进行周向密封的密封垫片12。本技术中的防震垫5优选为一防震橡胶气垫，其上表面与测试平台的钢性水平下端面相接触，对震动起到一定缓冲作用。如图1所示，防震垫5优选为充气式防震气垫，其通过气体管路与一空气压缩泵6连接，用于向防震垫5中注入压缩气体。通过控制充入防震气垫中气体的压力大小很好地控制防震气垫的抗震能力，方便调整，为保持较好的防震性能，气垫的压强设置在0.4至0.5MPa之间。同时，所采用的密封罩4优选为一双层钟形真空罩，可以为双层玻璃材质制成，其通过气体管路与一真空泵7连接，用于抽取密封罩4内部空间的空气，使双层钟形真空罩内部空间保持一定的真空度，真空度范围50-300Pa之间。为此，还在密封罩4上设有泄压阀8和压力表9，用于控制密封罩4的真空度。另外，在密封罩4内部空间还设有可以伸缩的台柱11，台柱11结构如图5所示，包括液压电机112、柱塞I113、吸入口114、排出开口115、复位螺栓116、上升限制电路117、气缸118和柱塞II119。上升时，液压电机112带动柱塞I113运动，液压油从排出开口115运动，带动柱塞II119向上运动，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防震台阶仪，包括带有探针（1）的探头（10）、支撑架（2）、测试平台（50）和测试转台（3），所述探头（10）设置于所述支撑架（2）的上部，所述支撑架（2）的下端与所述测试平台（50）固定连接，所述测试转台（3）位于所述探针（1）正下方的测试平台（50）上，其特征在于，所述台阶仪上还设有一密封罩（4），所述密封罩（4）将所述的探针（1）、支撑架（2）和测试转台（3）密封于所述测试平台（50）上，使所述密封罩（4）内部空间与外界空气相隔绝。/n

【技术特征摘要】
1.一种防震台阶仪，包括带有探针（1）的探头（10）、支撑架（2）、测试平台（50）和测试转台（3），所述探头（10）设置于所述支撑架（2）的上部，所述支撑架（2）的下端与所述测试平台（50）固定连接，所述测试转台（3）位于所述探针（1）正下方的测试平台（50）上，其特征在于，所述台阶仪上还设有一密封罩（4），所述密封罩（4）将所述的探针（1）、支撑架（2）和测试转台（3）密封于所述测试平台（50）上，使所述密封罩（4）内部空间与外界空气相隔绝。


2.根据权利要求1所述防震台阶仪，其特征在于，所述测试平台（50）的下方还设有一防震垫（5），用于吸收地面所产生的震动，所述密封罩（4）与所述测试平台（50）之间还设有用于对所述密封罩（4）进行周向密封的密封垫片（12）。


3.根据权利要求2所述防震台阶仪，其特征在于，所述防震垫（5）为一防震橡胶气垫。


4.根据权利要求3所述的防震台阶仪，其特征在于，所述防震垫（5）为充气式气垫，其与一空气压缩泵（6）连接，用于向所述防震垫（5）中注入压缩气体。


5.根据权利要求1所述的防震台阶仪，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李常在，孙涛，康会聪，
申请(专利权)人：合肥鼎材科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34