流化床式反应装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流化床式反应装置(1)，能够不引起温度测定部的损伤稳定地测定流化床式反应装置(1)的内部温度分布。提供一种使金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷的流化床式反应装置(1)，其中，在反应容器(10)的外表面具备多个用于测定反应容器(10)的内部温度的温度测定部(50)。

Fluidized bed reactor

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流化床式反应装置
本专利技术涉及流化床式反应装置，尤其涉及使金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷的流化床式反应装置。
技术介绍
作为用于使金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷的装置，使用流化床式反应装置(在本说明书中，仅称为“装置”)。在上述装置中，在装置所具备的反应容器中，金属硅粉与氯化氢气体形成流化床，在该流化床中，金属硅粉与氯化氢气体之间发生反应，能够生成三氯硅烷。具体来说，在三氯硅烷的生成反应中，通过从反应容器的下部供给氯化氢气体而使金属硅粉流动，从而形成流化床。此时，能够产生因通过用于冷却流化床的冷却器进行的冷却不充分而导致剧烈发生生成反应的区域，或者是因金属硅粉堵塞气体供给口使氯化氢气体的供给不充分从而导致没有充分发生生成反应的区域等。在放任这些区域的产生而继续运行的情况下，三氯硅烷的生成变得不稳定，根据情况不同，存在导致装置的破损或重大的事故的担忧。因此，监视金属硅粉与氯化氢气体之间的反应状态，基于监视结果合适地控制该反应状态，是为了上述装置的稳定运转的重要的工序。一般来说，上述反应状态通过直接测定流化床中的金本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流化床式反应装置，用于使金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷，其特征在于，/n在所述流化床式反应装置所具备的反应容器的外表面具备多个用于测定所述反应容器的内部温度的温度测定部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171120 JP 2017-2231411.一种流化床式反应装置，用于使金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷，其特征在于，
在所述流化床式反应装置所具备的反应容器的外表面具备多个用于测定所述反应容器的内部温度的温度测定部。


2.根据权利要求1所述的流化床式反应装置，其特征在于，所述温度测定部设置在位于所述反应容器的下部所具备的气体供给口附近的反应容器的外表面。


3.根据权利要求2所述的流化床式反应装置，其特征在于，所述温度测定部遍及所述反应容器的所述外表面的整周设置。


4.根据权利要求2或3所述的流化床...

【专利技术属性】
技术研发人员：弘田贤次，荻原克弥，
申请(专利权)人：株式会社德山，
类型：发明
国别省市：日本;JP