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本发明提供一种流化床式反应装置(1)，能够不引起温度测定部的损伤稳定地测定流化床式反应装置(1)的内部温度分布。提供一种使金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷的流化床式反应装置(1)，其中，在反应容器(10)的外表面具备多个用于测定反应容...
该专利属于株式会社德山所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社德山授权不得商用。

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