【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种过滤装置，具体的说，是一种去除空气分子污染物的空调相。
技术介绍
空调在现代化生产中扮演着越来越重要的角色。随着科学技术的进步，制 造业对加工生产中的工艺环境也有了更高的要求，比如无尘工厂、无尘车间在 集成电路制造领域的不可替代性，充分反映了工艺环境对生产质量的影响。在晶圓制造厂生产晶圓的过程中，需要对环境的温度、湿度、空气中的悬浮颗粒、空气分子污染物(AMC)，如氨根离子NH;、氟离子F-、氯离子cr、 亚硝酸根离子NO;、硝酸根离子NO;-、硫酸根离子SO〗-等进行严格的控制，这就需要工业用中央空调箱对晶圓制造厂的密闭环境进行温、湿度控制及空气 调节和过滤。现有技术空调箱如图l所示，它包括空调箱外壳l,依次安装在空调箱内 部的进气阀门11,初中效过滤器12，预热盘管13,预冷盘管14,再冷盘管15, 再热盘管16,风机17,高效过滤器18和出气阀门19。当该空调箱运行时，风 机17运转，密闭环境中已污染的空气被吸入进气阀门11,依次通过初中效过滤 器12,再通过预热盘管13、预冷盘管14、再热盘管15、 再冷盘管16的加热 或制冷，达到工艺...
【技术保护点】
一种去除空气分子污染物的空调箱，所述空气分子污染物包含氨根离子，所述空调箱包括：空调箱外壳，依次安装在空调箱内部的进气阀门、初中效过滤器、预热盘管、预冷盘管、再冷盘管、再热盘管、风机、高效过滤器和出气阀门，其特征在于，所述预冷盘管和再冷盘管之间还安装有水雾清洗系统。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：龚文卫，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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