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本发明提供了一种可去除空气分子污染物的空调箱，它包括：空调箱外壳，依次安装在空调箱内部的进气阀门、初中效过滤器、预热盘管、预冷盘管、再冷盘管、再热盘管、风机、高效过滤器和出气阀门，在空调箱内部还安装有水雾清洗系统，所述的水雾清洗系统位于预冷...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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