【技术实现步骤摘要】
一种模式转换器及其冷却结构
本技术涉及冷却结构
，具体是一种模式转换器及其冷却结构。
技术介绍
金刚石膜可以用于制作在高温和强辐射条件下工作的电子器件，或用于高频率、高功率固体微波器件，性能远远优于硅、锗、砷化镓及其它化合物半导体材料；随着半导体领域的需求量越来越大，并且对其品质要求日益增加，加之金刚石膜具有其它半导体材料无法比拟的优异性能的优势，因此，金刚石膜将会成为下一代电子元器件重要的新型材料。微波等离子体化学气相沉积是目前能够稳定沉积出比较均匀、纯净和高品质金刚石膜的技术之一，金刚石膜沉积研究和发展的方向是高速度、大面积和高质量，而在这个方向上很大程度取决于稳定的微波等离子体化学气相沉积设备的研制。微波等离子体化学气相沉积设备在制备金刚石膜时会在设备中形成等离子体火球。当长时间生长时，技术人员发现保障微波功率的长期稳定是困难的，这直接影响到体系内的温度均匀性和稳定性，温度的变化会导致产品的内部结构不完善，内应力、缺陷等，产品的均匀性。而影响温度变化的因素有多种，包括微波功率的稳定性、基板台散热控制、气体...
【技术保护点】
1.一种模式转换器冷却结构，其特征在于，包括：/n第一冷却结构，包括套设在模式转换器(1)外侧的环形冷却套(2)，所述环形冷却套(2)为双层结构，双层结构之间具有用于介质流通的空腔，侧边设置有与所述空腔连通的冷却套出口(3)和冷却套入口(4)，所述空腔表面形成有多个用于增加表面积的微结构；/n第二冷却结构，包括安装于所述模式转换器(1)外侧的散热装置(5)；/n所述模式转换器(1)侧壁上开设有多个小孔，所述小孔的直径均小于5mm，用于供所述第二冷却结构带动的气流进出所述模式转换器(1)的内部。/n
【技术特征摘要】
1.一种模式转换器冷却结构，其特征在于，包括：
第一冷却结构，包括套设在模式转换器(1)外侧的环形冷却套(2)，所述环形冷却套(2)为双层结构，双层结构之间具有用于介质流通的空腔，侧边设置有与所述空腔连通的冷却套出口(3)和冷却套入口(4)，所述空腔表面形成有多个用于增加表面积的微结构；
第二冷却结构，包括安装于所述模式转换器(1)外侧的散热装置(5)；
所述模式转换器(1)侧壁上开设有多个小孔，所述小孔的直径均小于5mm，用于供所述第二冷却结构带动的气流进出所述模式转换器(1)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种模式转换器冷却结构，其特征在于：所述环形冷却套(2)内壁与模式转换器(1)的外壁紧密贴合，冷却套出口(3)设置于环形冷却套(2)靠近其顶部的侧面，冷却套入口(4)设置于环形冷却套(2)靠近其底部的侧面，所述冷却套入口(4)位于所述冷却套出口(3)下方，介质由所述冷却套入口(4)进入、从所述冷却套出口(3)排出，所述冷却套入口(4)和冷却套出口(3)分别连接到外部的冷却装置并形成循环回路，用于对冷却介质进行冷却。
3.根据权利要求1-2任一项所述的一种模式转换器冷却结构，其特征在于：所述散热装置(5)为风扇。
4.根据权利要求1-2任一项所述的一种模式转换器冷却结构，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄翀，范杰，
申请(专利权)人：长沙新材料产业研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43
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