一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，包括溢流槽、上下设置的上槽和下槽，所述上槽的下部设有进液管和进气管，顶部设有纯水喷淋，纯水进入溢流管路和喷淋管路，氮气进入氮气管路，所述氮气管路与进气管连接，所述溢流管路与进液管连接，所述喷淋管路与纯水喷淋连接，所述下槽内设有快排气缸，所述快排气缸的活塞杆连接快排盖，所述上槽对应快排盖设有快排口。本实用新型专利技术水洗分为纯水溢流和喷淋两步，使硅片最后接触的水是干净的新纯水，解决HJT电池中硅片表面清洗不干净的问题，提高HJT太阳能电池的光电转换效率，同时稳定的工艺更适合运用于量产。

A high efficiency silicon wafer cleaning device for crystalline silicon heterojunction solar cells

【技术实现步骤摘要】
一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置
本技术涉及光伏行业高效电池制造
，具体涉及一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置。
技术介绍
“光伏领跑者计划”是国家能源局拟从2015年开始，之后每年都实行的光伏扶持专项计划，意在促进光伏发电技术进步、产业升级、市场应用和成本下降为目的，通过市场支持和试验示范，以点带面，加速技术成果向市场应用转化，以及落后技术、产能淘汰，实现2020年光伏发电用电侧平价上网目标。在“领跑者”计划中所采用技术和使用的组件都是行业技术绝对领先的技术和产品，高效PERC、黑硅、N型双面、硅异质结（HJT）等高效电池的开发越来越受重视。其中硅基异质结（HJT)太阳电池的高转化效率、高开路电压、低温度系数、无光致衰减（LID）、无电致衰减（PID）、低制程工艺温度等优势成为了最热门研究方向之一。HJT太阳电池制备过程中，制绒清洗是第一道工序，为PECVD制备良好的非晶硅层提供洁净的晶硅表面，所以制绒清洗对于HJT电池的转换效率有巨大的影响，其中水洗方式对于电池的效率的高低和稳定性至关重要。<br>对于HJT太阳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：包括溢流槽（1）、上下设置的上槽（2）和下槽（3），所述上槽（2）的下部设有进液管（4）和进气管（11），顶部设有纯水喷淋（5），纯水进入溢流管路（6）和喷淋管路（7），氮气进入氮气管路（8），所述氮气管路（8）与进气管（11）连接，所述溢流管路（6）与进液管（4）连接，所述喷淋管路（7）与纯水喷淋（5）连接，所述下槽（3）内设有快排气缸（9），所述快排气缸（9）的活塞杆（9.1）连接快排盖（10），所述上槽（2）对应快排盖（10）设有快排口。/n

【技术特征摘要】
1.一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：包括溢流槽（1）、上下设置的上槽（2）和下槽（3），所述上槽（2）的下部设有进液管（4）和进气管（11），顶部设有纯水喷淋（5），纯水进入溢流管路（6）和喷淋管路（7），氮气进入氮气管路（8），所述氮气管路（8）与进气管（11）连接，所述溢流管路（6）与进液管（4）连接，所述喷淋管路（7）与纯水喷淋（5）连接，所述下槽（3）内设有快排气缸（9），所述快排气缸（9）的活塞杆（9.1）连接快排盖（10），所述上槽（2）对应快排盖（10）设有快排口。


2.根据权利要求1所述的一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：所述下槽设有出液口，所述出液口通过水泵（12）与溢流管路（6）连接。


3.根据权利要求1所述的一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：所述进液管（4）和进气管（11）上均匀分布有小孔。


4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌俊，易治凯，郭小勇，王永谦，
申请(专利权)人：江苏爱康能源研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32