一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，包括从前往后顺次设置的泵浦光源、泵浦光调制装置、第一分束合束器，第二分束合束器，显微成像透镜、用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置，设置于第一分束合束器前端的探测光源，固定于切换机构上的探测光空间滤光器，以及位于探测光空间滤光器后端的光电探测器；切换机构带动探测光空间滤光器移入或移出第二分束合束器和光电探测器之间。本实用新型专利技术包含了激光诱导反射率显微成像和激光诱导表面热透镜显微成像两种观察模式，对不同样品的吸收分布、热导率、掺杂浓度、掺杂深度等多个参数进行检测分析，大大拓宽了光热显微成像系统的应用范围。

A multi-mode scanning microscope imaging system based on laser-induced photothermal effect

【技术实现步骤摘要】
一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统
本技术涉及显微成像检测领域，具体是一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统。
技术介绍
激光诱导光热效应的基本原理是：当一束泵浦激光照射到材料上，材料会吸收激光能量从而引起其物理特性发生变化，包括折射率改变、产生表面形变、反射率变化等。这些物理特性的变化与材料的吸收、热导率、载流子浓度等参数有关。通过对这些物理特性的变化进行检测分析，就可以获得材料吸收、热导率、载流子浓度等参数。这种光热检测技术具有灵敏度高、可实现高分辨显微测量等优点。由于光热效应引起的物理特性变化比较多，对不同的物理特性变化进行检测就衍生出了不同的光热检测方法，包括激光量热法、激光偏转法、激光诱导反射率法、激光诱导热透镜法等。这些方法各有优缺点。在实际应用中，往往只采用单一的测量方法。因此，传统的光热检测系统存在功能单一、应用面窄的问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，包含了激光诱导反射率显微成像和激光诱导表面热透镜显微成像两种观察模式本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：包括从前往后顺次设置的泵浦光源和泵浦光调制装置，以及探测光源，第一分束合束器，第二分束合束器，显微成像透镜，固定于切换机构上的探测光空间滤光器，光电探测器和用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置；所述的泵浦光调制装置出射的泵浦光束经第一分束合束器透射出，所述的探测光源出射的探测光束经第一分束合束器反射出，第一分束合束器透射出的泵浦光束和反射出的探测光束均经第二分束合束器透射出，第二分束合束器透射出的泵浦光束和探测光束均经显微成像透镜聚焦到样品扫描运动装置上的待测样品表面，待测样品表面反射的探测光束依次经显微成像透镜、第二分束合...

【技术特征摘要】
1.一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：包括从前往后顺次设置的泵浦光源和泵浦光调制装置，以及探测光源，第一分束合束器，第二分束合束器，显微成像透镜，固定于切换机构上的探测光空间滤光器，光电探测器和用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置；所述的泵浦光调制装置出射的泵浦光束经第一分束合束器透射出，所述的探测光源出射的探测光束经第一分束合束器反射出，第一分束合束器透射出的泵浦光束和反射出的探测光束均经第二分束合束器透射出，第二分束合束器透射出的泵浦光束和探测光束均经显微成像透镜聚焦到样品扫描运动装置上的待测样品表面，待测样品表面反射的探测光束依次经显微成像透镜、第二分束合束器反射出，所述的切换机构为驱动机构，带动探测光空间滤光器移入或移出第二分束合束器和光电探测器之间，所述的第二分束合束器反射出的探测光束进入光电探测器实现激光诱导反射率显微成像，第二分束合束器反射出的探测光束经探测光空间滤光器进入光电探测器实现激光诱导表面热透镜成像。


2.根据权利要求1所述的一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：所述的泵浦光源和探测光源均为单...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈坚，韩成飞，马亮，吴周令，
申请(专利权)人：合肥利弗莫尔仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34