【技术实现步骤摘要】
一种抛光液输送结构及双面抛光机
本技术涉及一种抛光液输送结构及双面抛光机。
技术介绍
双面抛光机是用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料的双面高精度高效率的抛光加工设备；现有的双面抛光机的抛光液输送结构都是直接将输送油管固定在上抛光盘上，而抛光工件的形状及尺寸大小不一，从而抛光液很难输送到工件的每一个地方，工件的精度不能得到保证；因此，有必要设计一种可以让输送油管移动的抛光液输送结构。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决的技术问题是：提供一种抛光液输送结构及双面抛光机，能够解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种抛光液输送结构,包括有上抛光盘,在所述上抛光盘上表面沿圆周均布设有贯通的通槽，在所述通槽沿上抛光盘径向方向的两端均设有滑槽，在两滑槽之间活动连接有移动板，在所述移动板上设有固定块，在所述固定块上表面分别贯通设有相同轴心的第一弧形通槽与第二弧形通槽，所述第一弧形通槽的半径大于第二弧形通槽的半径，在所述固定块内设有与第一弧形通...
【技术保护点】
1.一种抛光液输送结构,包括有上抛光盘(1),其特征在于：在所述上抛光盘(1)上表面沿圆周均布设有贯通的通槽(2)，在所述通槽(2)沿上抛光盘(1)径向方向的两端均设有滑槽(3)，在两滑槽(3)之间活动连接有移动板(4)，在所述移动板(4)上设有固定块(5)，在所述固定块(5)上表面分别贯通设有相同轴心的第一弧形通槽(6)与第二弧形通槽(7)，所述第一弧形通槽(6)的半径大于第二弧形通槽(7)的半径，在所述固定块(5)内设有与第一弧形通槽(6)同轴心的第一转盘(8)与第二转盘(9)，在所述第一转盘(8)与第二转盘(9)上分别设有第一油管(10)与第二油管(11)，所述第一油...
【技术特征摘要】
1.一种抛光液输送结构,包括有上抛光盘(1),其特征在于：在所述上抛光盘(1)上表面沿圆周均布设有贯通的通槽(2)，在所述通槽(2)沿上抛光盘(1)径向方向的两端均设有滑槽(3)，在两滑槽(3)之间活动连接有移动板(4)，在所述移动板(4)上设有固定块(5)，在所述固定块(5)上表面分别贯通设有相同轴心的第一弧形通槽(6)与第二弧形通槽(7)，所述第一弧形通槽(6)的半径大于第二弧形通槽(7)的半径，在所述固定块(5)内设有与第一弧形通槽(6)同轴心的第一转盘(8)与第二转盘(9)，在所述第一转盘(8)与第二转盘(9)上分别设有第一油管(10)与第二油管(11)，所述第一油管(10)设置在第一弧形通槽(6)内，在所述第一转盘(8)上表面贯通设有第三弧形通槽(12)，所述第二油管(11)分别设置在第二弧形通槽(7)与第三弧形通槽(12)内，在所述固定块(5)上设有能带动第一转盘(8)与第二转盘(9)单独或同时转动的驱动机构(100)。
2.根据权利要求1所述的一种抛光液输送结构,其特征在于所述通槽(2)的数量为4个。
3.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗顺新，
申请(专利权)人：广东天鼎思科新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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