精密加工检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种精密加工检测装置及检测方法，该精密加工检测装置包括激光器；样品台，样品台用于承载加工样品并能够带动加工样品运动；衍射光学元件，衍射光学元件位于激光器与加工样品之间的光路上并对激光器出射的激光进行衍射；合束镜，合束镜位于衍射光学元件与加工样品之间的光路上，能够透射自衍射光学元件出射的光束并反射自加工样品出射的光束；高量子效率相机，高量子效率相机接收自加工样品出射并被合束镜反射的光束以获得干涉图案；及三维轮廓合成模块，三维轮廓合成模块能够根据高量子效率相机获得的干涉图案合成加工样品的三维轮廓信息以检测精密加工效果。本发明专利技术具有检测成本低、检测及时且耗时短的优势。

Precision machining detection device and method

【技术实现步骤摘要】
精密加工检测装置及检测方法
本专利技术涉及精密加工
，尤其涉及一种精密加工检测装置及检测方法。
技术介绍
现有技术中，一般采用白光干涉仪和显微镜对精密加工的样品轮廓进行检测，但存在检测设备价格昂贵且检测耗时较长的问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种能够降低检测成本和检测时长的精密加工检测装置及检测方法。为了实现上述目的，本专利技术提供一种精密加工检测装置，包括：激光器，所述激光器能够产生并出射激光；样品台，所述样品台用于承载加工样品并能够带动所述加工样品运动，以使所述激光器出射的激光能够在所述加工样品表面移动进行精密加工；衍射光学元件，所述衍射光学元件位于所述激光器与所述加工样品之间的光路上并对所述激光器出射的激光进行衍射；合束镜，所述合束镜位于所述衍射光学元件与所述加工样品之间的光路上，能够透射自所述衍射光学元件出射的光束并反射自所述加工样品出射的光束；高量子效率相机，所述高量子效率相机接收自所述加工样品出射并被所述合束镜反射的光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精密加工检测装置，其特征在于：包括：/n激光器，所述激光器能够产生并出射激光；/n样品台，所述样品台用于承载加工样品并能够带动所述加工样品运动，以使所述激光器出射的激光能够在所述加工样品表面移动进行精密加工；/n衍射光学元件，所述衍射光学元件位于所述激光器与所述加工样品之间的光路上并对所述激光器出射的激光进行衍射；/n合束镜，所述合束镜位于所述衍射光学元件与所述加工样品之间的光路上，能够透射自所述衍射光学元件出射的光束并反射自所述加工样品出射的光束；/n高量子效率相机，所述高量子效率相机接收自所述加工样品出射并被所述合束镜反射的光束以获得干涉图案；及/n三维轮廓合成模块，所述三维轮廓合...

【技术特征摘要】
1.一种精密加工检测装置，其特征在于：包括：
激光器，所述激光器能够产生并出射激光；
样品台，所述样品台用于承载加工样品并能够带动所述加工样品运动，以使所述激光器出射的激光能够在所述加工样品表面移动进行精密加工；
衍射光学元件，所述衍射光学元件位于所述激光器与所述加工样品之间的光路上并对所述激光器出射的激光进行衍射；
合束镜，所述合束镜位于所述衍射光学元件与所述加工样品之间的光路上，能够透射自所述衍射光学元件出射的光束并反射自所述加工样品出射的光束；
高量子效率相机，所述高量子效率相机接收自所述加工样品出射并被所述合束镜反射的光束以获得干涉图案；及
三维轮廓合成模块，所述三维轮廓合成模块能够根据所述高量子效率相机获得的干涉图案合成所述加工样品的三维轮廓信息以检测精密加工效果；其中，
入射至所述加工样品表面的光束部分被吸收用于精密加工，剩余部分形成自所述加工样品出射的光束。


2.如权利要求1所述的精密加工检测装置，其特征在于：所述精密加工检测装置还包括位于所述激光器与所述衍射光学元件之间的光路上的光束整形元件，所述光束整形元件能够对所述激光器出射的激光进行调整以获得合适光斑大小和发散角的光束。


3.如权利要求2所述的精密加工检测装置，其特征在于：所述精密加工检测装置还包括位于所述光束整形元件与所述衍射光学元件之间的光路上的反射镜，自所述光束整形元件出射的光束经过所述反射镜的反射后入射至所述衍射光学元件。


4.如权利要求1所述的精密加工检测装置，其特征在于：所述精密加工检测装置还包括位于所述合束镜与所述加...

【专利技术属性】
技术研发人员：张立，
申请(专利权)人：深圳市圭华智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44