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本发明提供一种精密加工检测装置及检测方法，该精密加工检测装置包括激光器；样品台，样品台用于承载加工样品并能够带动加工样品运动；衍射光学元件，衍射光学元件位于激光器与加工样品之间的光路上并对激光器出射的激光进行衍射；合束镜，合束镜位于衍射光学...
该专利属于深圳市圭华智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市圭华智能科技有限公司授权不得商用。

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