一种半导体制程管路清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种半导体制程管路清洗装置，包括：机架；设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；设置在所述机架内的抽水组件，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机和循环泵；调节组件，所述调节组件包括控制所述抽水马达的抽水电磁阀、控制所述鼓风机的鼓风机出口阀以及控制所述回水管路导通的回水电磁阀。在工作时，既可以使用外部气源，也可以采用内部气源保证管内气压；设置有多个电磁阀以通过多重的检查控制保证了工作时的设备运行安全；成本低，操作简单易上手。

A cleaning device for semiconductor process pipeline

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制程管路清洗装置
本专利技术属于管路清洗设备领域，具体来说，是一种半导体制程管路清洗装置。
技术介绍
随着机电行业的迅猛发展，各式各样的机电产品总量急剧增加。同时，机电产品内设置有各式各样的管路，包括输油管路、排气管路等，长期使用后管道壁将会产生油垢和污垢积累。因此，机电设备内部的管道必须定期维护、检测、清洗，否则大量污垢的积累，在一定条件下，极易酿成设备停转、短路造成安全事故。半导体制程管路的要求更为严格。目前，市面上能够提供的机电管道清洗服务，大多采用人工手持高压水枪，放入管内清洗的方法。但是，由于操作人员的失误，极易造成许多精密的机电部件损害。同时，这种控制方法也大大地受到了管道尺寸的限制。为了提高清洗效率，个别服务商采用了一些具有腐蚀性的清洁剂，长远来讲，对机电设备的内部管道会造成极大损害。近些年，市面上也出现了管道手动清洗设备。但往往需要依赖外部气源保证管内气压恒定，也有一些商家采用设备内部自带气源进行抽水循环等，这样的设计如果遇到外部气源故障或者内部气源故障的情况便无法使用，同时也有很大的不稳定性，容易造成管道的破裂、侧漏，严重的甚至会造成管道炸裂，严重损害机电设备和人身安全。因此，如何设计出一种操作安全、清洗高效以及可使用内、外部气源的管道清洗机及清洗管路的方法是业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的是提供一种操作安全、清洗高效以及可使用内、外部气源的半导体制程管路清洗装置。为达到上述目的，本专利技术提供一种半导体制程管路清洗装置，包括：机架；设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；设置在所述机架内的抽水组件，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机和循环泵；调节组件，所述调节组件包括控制所述抽水马达的抽水电磁阀、控制所述鼓风机的鼓风机出口阀以及控制所述回水管路导通的回水电磁阀。优化地，所述水槽与六个管路连通，包括药液补充管路、纯水补充管路、回水管路、排气管路、第一抽水管路和第二抽水管路，所述第一抽水管路与所述抽水组件连接，所述第二抽水管路与所述废液排水管连接，所述第二抽水管路上设置有控制其通断的废水管路电磁阀。优化地，它还包括控制系统，所述控制系统包括人机交互系统，所述人机交互系统包括控制板、触控屏、所述调节组件和报警装置，所述调节组件还包括检测所述抽水管路气压的压力传感器、检测所述水箱内水位的液位传感器和水温传感器；所述调节组件和报警装置都与所述人机交互系统的控制板电连接。进一步地，还包括检测所述水槽内液体酸碱值的酸碱值检测器和停止设备运转的EMO紧急停止按钮，所述酸碱值检测器和所述EMO紧急停止按钮均与所述控制板电连接。进一步地，所述水槽为PP水槽。进一步地，所述机架设置有推车把手和载重轮。进一步地，所述水槽内设置有可以滑动取出的拖拉式过滤装置，所述拖拉式过滤装置设置在所述回水管路位于所述水槽内的管口下方。由于采用上述技术方案，本专利技术达到以下有益效果：本专利技术半导体制程管路清洗装置，在工作时，既可以使用外部气源，也可以采用内部气源保证管内气压；设置有多个电磁阀以通过多重的检查控制保证了工作时的设备运行安全；成本低，操作简单易上手。附图说明图1为本专利技术的俯视图；图2为本专利技术的左视图；图3为本专利技术的右视图。图中标记说明如下：1-第一推车把手；2-第二推车把手；3-拖拉式拦网；4-PP水槽；5-载重轮；6-纯水补充口；7-酸碱值侦测器；8-液位感应器；9-防漏托盘；10-废液排水口；11-抽水马达；12-鼓风机；14-触控屏；15-出水口；16-药液补充口；17-排水口；18-回水口；19-EMO紧急停止按钮；20-CDA/N2接口；21-回水电磁阀；22-抽水电磁阀；23-废水管路电磁阀；24-鼓风机出口阀。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明，以使本专利技术的优点和特征能更易于本领域技术人员理解，从而对本专利技术的保护范围作出更为清楚准确的界定。参照图1至图3的半导体制程管路清洗装置，包括：机架；设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接（即气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接）；设置在所述机架内的抽水组件，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达11、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机12和循环泵；调节组件，包括控制抽水马达11的抽水电磁阀22、控制鼓风机12的鼓风机出口阀24以及控制回水管路导通的回水电磁阀21。在本实施例中，所述PP水槽4与六个管路连通，PP水槽4为耐酸碱材质水箱，其内部设置有加热器可将水及药液升温，包括药液补充管路、纯水补充管路、回水管路、排气管路、第一抽水管路和第二抽水管路，药液补充管路上设置有药液补充口16，纯水补充管路上设置有纯水补充口6，回水管路上设置有回水口18，水或药液从管道内循环后，回到PP水槽4内，所述第一抽水管路与所述抽水组件连接，所述第二抽水管路与所述废液排水管连接，所述废液排水管设置有废液排水口10，所述第二抽水管路上设置有控制其通断的废水管路电磁阀23。可以在每个抽水管路端部设置CDA/N2外接口20，使得CDA/N2外接口和鼓风机与抽水管路连通，这样在工作时，既可以使用外部气源，也可以采用内部气源保证管内气压。为了提高半导体制程管路清洗装置的自动化程度，使得半导体制程管路清洗装置能够自动运行，可以增设现有的控制系统。控制系统包括人机交互系统，所述人机交互系统包括控制板（安装在电控箱内）、触控屏14（触控屏14与控制板相连接）、前述的调节组件和报警装置，前述调节组件包括还检测所述抽水管路气压的压力传感器、检测所述水箱内水位的液位传感器8和水温传感器；所述调节组件和报警装置都与所述人机交互系统的控制板电连接。在本实施例中，报警装置为蜂鸣器。本专利技术还包括检测所述PP水槽4内液体酸碱值的酸碱值检测器7和停止设备运转的EMO紧急停止按钮19，所述酸碱值检测器7和所述EMO紧急停止按钮19均与所述控制板电连接。所述PP水槽4、控制组件和所述抽水组件均设置在机架内，所述机架设置有第一推车把手1和第二推车把手2和载重轮5（机架底部设置有载重轮5且其侧面设置有推车把手，即第一推车把手1和第二推车把手2设置在机架的侧面）。机架底部安装有防漏托盘9，用于放置清洗液的渗漏。所述PP水槽4内设置有可以滑动取出的拖拉式过滤装置，本实施例中采用拖拉式拦网3，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，包括：/n机架；/n设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；/n所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接，所述水槽内还设置有加热器；/n设置在所述机架内的抽水组件，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达（11）、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机（12）和循环泵；/n调节组件，所述调节组件包括控制所述抽水马达（11）的抽水电磁阀（22）、控制所述鼓风机（12）的鼓风机出口阀（24）以及控制所述回水管路导通的回水电磁阀（21）。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，包括：
机架；
设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；
所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接，所述水槽内还设置有加热器；
设置在所述机架内的抽水组件，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达（11）、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机（12）和循环泵；
调节组件，所述调节组件包括控制所述抽水马达（11）的抽水电磁阀（22）、控制所述鼓风机（12）的鼓风机出口阀（24）以及控制所述回水管路导通的回水电磁阀（21）。


2.如权利要求1所述的一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，所述水槽与六个管路连通，包括药液补充管路、纯水补充管路、回水管路、排气管路、第一抽水管路和第二抽水管路，所述第一抽水管路与所述抽水组件连接，所述第二抽水管路与所述废液排水管连接，所述第二抽水管路上设置有控制其通断的废水管路电磁阀（23）。


3.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王迎来，
申请(专利权)人：无锡虎虎机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32