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本发明涉及一种半导体制程管路清洗装置，包括：机架；设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气...
该专利属于无锡虎虎机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡虎虎机电科技有限公司授权不得商用。

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