【技术实现步骤摘要】
一种金刚石生产用防烟灰装置
本技术涉及金刚石生产
，尤其涉及一种金刚石生产用防烟灰装置。
技术介绍
目前用于金刚石生长的微波等离子体化学气相沉积装置的腔体中下部是等离子体球，底部是基台。基片放在基台上，所用的基片是圆柱状钼质基片，在高功率条件下生长金刚石时，由于含碳气氛的存在，等离子体球边缘会产生很多的烟灰，烟灰会直接沉积在基台表面，随工作时间的延长，将对设备造成严重的影响。公开号为CN204369985U的专利公开了一种用于金刚石生产的防烟灰装置，用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体内，位于谐振腔腔体内的基台上，所述防烟灰装置包括圆柱状钼质基片，所述圆柱状钼质基片端部套设有圆环状玻璃挡板，两者间隙配合，圆环状玻璃挡板的作用是防止烟灰在基台表面的沉积，生成的烟灰会直接落在圆环状玻璃挡板表面，但是该装置的玻璃挡板是套接在基台上的，烟灰越积越多致使玻璃挡板需要频繁清理，然而玻璃挡板取放不便，增加工作难度，因此有改进空间。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在玻璃挡板是套接在基台...
【技术保护点】
1.一种金刚石生产用防烟灰装置，包括谐振腔体(1)，谐振腔体(1)内设有基片(2)，基片(2)上套接有环形玻璃挡板(3)，其特征在于，所述环形玻璃挡板(3)的一侧固定安装有顶杆(4)，顶杆(4)的一端与谐振腔体(1)的一侧内壁相接触，谐振腔体(1)远离顶杆(4)的一侧内壁上开设有安装孔(5)，安装孔(5)内活动安装有安装箱(6)，安装箱(6)靠近顶杆(4)的一侧固定安装有位于环形玻璃挡板(3)上方安装杆(7)，安装杆(7)的一端延伸至谐振腔体(1)内，环形玻璃挡板(3)的顶侧固定安装有两个铰接座(8)，两个铰接座(8)上均转动安装有转动杆(9)，两个转动杆(9)相互平行设置...
【技术特征摘要】
1.一种金刚石生产用防烟灰装置，包括谐振腔体(1)，谐振腔体(1)内设有基片(2)，基片(2)上套接有环形玻璃挡板(3)，其特征在于，所述环形玻璃挡板(3)的一侧固定安装有顶杆(4)，顶杆(4)的一端与谐振腔体(1)的一侧内壁相接触，谐振腔体(1)远离顶杆(4)的一侧内壁上开设有安装孔(5)，安装孔(5)内活动安装有安装箱(6)，安装箱(6)靠近顶杆(4)的一侧固定安装有位于环形玻璃挡板(3)上方安装杆(7)，安装杆(7)的一端延伸至谐振腔体(1)内，环形玻璃挡板(3)的顶侧固定安装有两个铰接座(8)，两个铰接座(8)上均转动安装有转动杆(9)，两个转动杆(9)相互平行设置，两个转动杆(9)的顶端均转动安装在安装杆(7)的底侧上，安装箱(6)内设有固定机构。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石生产用防烟灰装置，其特征在于，所述固定机构包括沿竖直方向开设在安装箱(6)底侧内壁上的卡孔(12)，安装孔(5)的顶侧内壁上开设有卡槽(13)，安装箱(6)远离顶杆(4)的一侧内壁上开设有调节孔(16)，调节孔(16)内转动安装有调节杆(17)，调节杆(17)的两端均延伸至调节孔(16)外，调节杆(17)的一端固定安装有位于安装箱(6)内的推动杆(15)，推动杆(15)的顶端转动安装有卡杆(14...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘小利，
申请(专利权)人：常州宝颐金刚石科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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