可重构四分之一模基片集成波导微波微流控传感器制造技术

本发明专利技术公开可重构四分之一模基片集成波导微波微流控传感器。顶层包括两个结构相同的单元，每个单元包括金属补丁、微带线和SMA连接头；中间层为介质板；底层包括金属薄片、刻槽CSRR结构。金属补丁为四分之一圆的扇形结构，在每个四分之一圆的扇形结构中，其中两条互相垂直的直角边上在靠近圆心处的场强最强，因此为了电场更好的辐射，将CSRR刚好设计在两个四分之一圆扇形结构的正下方，而事先挖有微流体通道的PDMS刚好放在CSRR的正下方，让辐射的电场最大程度的穿过PDMS中流过的液体，从而提高该传感器的灵敏度。穿过PDMS中所需液体的体积较小，避免了样品液体的浪费，防止环境的污染。

【技术实现步骤摘要】
可重构四分之一模基片集成波导微波微流控传感器
本专利技术属于微波
，涉及一种微带线激励的传感器，特别涉及一种基于衬底集成波导(SubstrateIntegratedWaveguide-SIW)的用于测量乙醇溶液的介电常数的小型化微波传感器。
技术介绍
乙醇在制药、医疗诊断、学术和饮料工业等领域有着广泛的应用，在这样的环境中，必须有低成本、小型化、潜在的安全和高灵敏度的传感器设备在环境温度下工作，从而准确地分析和监测乙醇浓度。因此如何对液体的介电常数实现准确、快速的测量，已经成为目前学术界和工业界共同关注的热点。近年来，电化学传感器作为最先进的传感器，在检测乙醇浓度方面做出了卓越的贡献。在该类传感器中，当气体分子被吸附时，金属氧化物半导体(MOS)传感器的电阻会发生变化。分析物浓度的变化被用来表征合成电流。然而尽管MOS传感器表现出卓越的灵敏度，但是他们却很容易遭受一个火花的风险，并且在电气连接和高温方面容易导致高功耗。另外一方面，光传感器利用传感器表面的感受器/位置，当光源照射时，感受器/位置对特定波长敏感，从而提供波长移动、光谱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.可重构四分之一模基片集成波导微波微流控传感器，为双端口器件，其特征在于：/n顶层包括两个结构相同的单元，每个单元包括金属补丁、微带线和SMA连接头；/n中间层为介质板；/n底层包括金属薄片、刻槽CSRR结构；/n所述金属补丁为四分之一圆的扇形结构，扇形的一直角边与微带线的一端连接，微带线的另一端与输入端口或输出端口连接，然后输入端口或输出端口接SMA连接头；金属补丁与微带线的连接端开有一端开放的L形缝隙；该L形缝隙与扇形的两直角边朝向相同，且L形缝隙紧靠扇形的其中一条直角边；/n所述金属补丁上设有若干沿着扇形弧边等距排布的金属通孔，用以耦合底部金属薄片；/n两个单元的金属补丁的与微带线连接...

【技术特征摘要】
1.可重构四分之一模基片集成波导微波微流控传感器，为双端口器件，其特征在于：
顶层包括两个结构相同的单元，每个单元包括金属补丁、微带线和SMA连接头；
中间层为介质板；
底层包括金属薄片、刻槽CSRR结构；
所述金属补丁为四分之一圆的扇形结构，扇形的一直角边与微带线的一端连接，微带线的另一端与输入端口或输出端口连接，然后输入端口或输出端口接SMA连接头；金属补丁与微带线的连接端开有一端开放的L形缝隙；该L形缝隙与扇形的两直角边朝向相同，且L形缝隙紧靠扇形的其中一条直角边；
所述金属补丁上设有若干沿着扇形弧边等距排布的金属通孔，用以耦合底部金属薄片；
两个单元的金属补丁的与微带线连接边平行设置，且金属补丁的扇形弧边朝外设置；
两个金属补丁的扇形圆心X轴向相距一定距离；两个单元的金属补丁的与微带线连接的扇形直角边与微带线总长度大于介质板Y轴向长度；
由金属补丁、微带线、介质板、底面刻有CSRR槽环的金属薄片以及等金属通孔组成一个完整的SIW；
所述金属薄片刻蚀有一个槽环CSRR结构；槽环为S型结构，由两个弧形结构和一个直线结构组成；弧形结构为四分之一圆弧，两个弧形结构分别与两个金属补丁的扇形圆心相对重合。


2.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵文生，范立超，王大伟，陈世昌，王高峰，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33