一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法以及样品夹具技术

本发明专利技术涉及窄截面光电子能谱测试技术领域，尤其涉及一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法以及样品夹具。一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号样品夹具，包括基板和固定板；所述基板的顶部设置有至少一个准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；所述固定板和所述基板之间设置有连接结构；所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。本发明专利技术提供的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具用于消除来自于测试样品表面的信号干扰，特别适用于样品相邻测试面材料与截面材料不同的样品测试，能够成功屏蔽来自测试样品相邻测试面的干扰信号，实现了对样品截面的光电子能谱精准测试。

【技术实现步骤摘要】
一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法以及样品夹具
本专利技术涉及窄截面光电子能谱测试
，尤其涉及一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法以及样品夹具。
技术介绍
在截面XPS测试中，尤其是当测试区域靠近其它表面，比如相距50到100微米时，来自于样品其它相邻面的光激发电子也会被探测到并且形成干扰。来自于样品相邻面的信号将影响截面的测试结果。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的第一目的在于提供一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，用于阻拦干扰信号以尽量保证只有来自测试截面的信号被接收，显著降低了样品其他相邻面的干扰信号对测试截面测试结果的影响。本专利技术的第二目的在于提供一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，其采用钼材料物质对上述样品夹具所有表面进行覆盖，去除了大量的干扰信号，并且样品夹具表面的少部分已知的钼干扰信号在光电子谱中可以被扣除，这样就实现了有效屏蔽来自非样品测试截面的干扰信号。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，其特征在于，基板和固定板分别贴合在样品的正反面；/n其中基板的顶部设置有准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；/n所述样品的截面和所述固定板的顶面均贴附于所述准直板的下表面；/n固定所述样品，所述样品的截面露出待测部分，然后放在样品台上进行测试；/n其中，所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。/n

【技术特征摘要】
1.一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，其特征在于，基板和固定板分别贴合在样品的正反面；
其中基板的顶部设置有准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；
所述样品的截面和所述固定板的顶面均贴附于所述准直板的下表面；
固定所述样品，所述样品的截面露出待测部分，然后放在样品台上进行测试；
其中，所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。


2.根据权利要求1所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，其特征在于，所述准直板为两个，分别设置在所述基板的两端。


3.根据权利要求1所述的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法，其特征在于，所述准直板为两个，所述准直板与所述基板的顶部沿与所述准直板延伸方向垂直的方向可滑动连接。


4.一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具，其特征在于，包括基板和固定板；
所述基板的顶部设置有至少一个准直板，所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸；
所述固定板和所述基板之间设置有连接结构；
所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。

【专利技术属性】
技术研发人员：朱雷，纪约义，吴俊贤，徐可，华佑南，李晓旻，
申请(专利权)人：胜科纳米苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32