下载一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法以及样品夹具的技术资料

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本发明涉及窄截面光电子能谱测试技术领域,尤其涉及一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法以及样品夹具。一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号样品夹具,包括基板和固定板;所述基板的顶部设置有至少一个准直板,所述准直板沿所述基板的顶...
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