纳米结构DLC薄膜、增硬玻璃、制备装备及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种纳米结构DLC薄膜、增硬玻璃、制备装备及制备方法，DLC薄膜包括第一氮化硅层、第二材料层和第一DLC薄膜层，第二材料层包括由下到上依次设置第二DLC薄膜层和第二氮化硅层（并可复制出结构相同、厚度不一定相等多层第二材料层）；通过在玻璃基体上设置第一氮化硅层，既保证玻璃基体与DLC薄膜层之间的过渡，又增加DLC薄膜层与玻璃基体的结合力，隔绝玻璃基体中氧含量对DLC薄膜层的影响；采用多材料层设计，单层材料层可达到纳米级别尺寸，不但增加DLC薄膜层之间界面，还促进DLC薄膜层内应力释放，能在保证DLC薄膜层高硬度、低摩擦性的情况下，降低DLC薄膜层内应力，强韧DLC薄膜结构。

【技术实现步骤摘要】
纳米结构DLC薄膜、增硬玻璃、制备装备及制备方法
本专利技术涉及真空溅射
，尤其涉及的是一种纳米结构DLC薄膜、增硬玻璃、制备装备及制备方法。
技术介绍
对于目前广泛应用于手机、显示器等数码产品的盖板玻璃，现有的抛光加工手段使玻璃表面非常容易划伤，严重影响玻璃性能和美观。而DLC（DiamondLikeCarbon）膜作为一种非晶态薄膜，具有良好的光透过率、高硬度、低摩擦系数、高耐磨性、高导热、绝缘、合适的禁带宽度的特点，是手机、显示器等数码产品良好的透明材料（主要为玻璃）的保护层。但是，由于DLC薄膜具有很高的内应力，往往膜层的厚度超过0.3微米以上，就容易出现薄膜开裂、脱落等问题，为解决此类问题，一般都会对DLC薄膜进行掺杂，但掺杂后会导致DLC薄膜硬度下降，影响其保护作用。因此，如何制得一种DLC薄膜，使其在具备不易脱落和保证硬度的情况下，还能与玻璃非常好地结合，这是一个亟待解决的问题。因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种纳米结构DLC薄膜、增硬玻璃、制备装备及制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳米结构DLC薄膜，其特征在于，包括由下到上依次设置的第一氮化硅层（1）、至少一层第二材料层和第一DLC薄膜层（4），所述第二材料层包括由下到上依次设置第二DLC薄膜层（2）和第二氮化硅层（3），各层第二材料层中的第二DLC薄膜层（2）厚度一致或不相等，各层第二材料层组中的第二氮化硅层（3）厚度一致或不相等。/n

【技术特征摘要】
1.一种纳米结构DLC薄膜，其特征在于，包括由下到上依次设置的第一氮化硅层（1）、至少一层第二材料层和第一DLC薄膜层（4），所述第二材料层包括由下到上依次设置第二DLC薄膜层（2）和第二氮化硅层（3），各层第二材料层中的第二DLC薄膜层（2）厚度一致或不相等，各层第二材料层组中的第二氮化硅层（3）厚度一致或不相等。


2.根据权利要求1所述的纳米结构DLC薄膜，其特征在于，所述第二材料层设置至少10层。


3.根据权利要求1或2任一所述的纳米结构DLC薄膜，其特征在于，所述第二材料层设置10至15层。


4.根据权利要求1所述的纳米结构DLC薄膜，其特征在于，所述第一氮化硅层（1）的厚度为10-100纳米。


5.根据权利要求1所述的纳米结构DLC薄膜，其特征在于，所述第二DLC薄膜层（2）的厚度为5-15纳米。


6.根据权利要求1所述的纳米结构DLC薄膜，其特征在于，所述第二氮化硅层（3）的厚度为2-10纳米。


7.根据权利要求1所述的纳米结构DLC薄膜，其特征在于，所述第一DLC薄膜层（4）的厚度为10-100纳米。


8.一种增硬玻璃，其特征在于，包括玻璃基体（A1）和如权利要求1-7任一所述的纳米结构DLC薄膜（A2），所述纳米结构DLC薄膜设置在玻璃基体上，第一氮化硅层与玻璃基体贴合。

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【专利技术属性】
技术研发人员：胡琅，徐平，胡强，侯立涛，程远达，侯少毅，何斌，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：广东;44