一种芯片及MEMS阳极键合设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片及MEMS阳极键合设备，包括设备外壳，所述设备外壳的一侧壁上固定连接有显示屏，所述显示屏的两侧均设有导电限位框，且导电限位框固定连接在设备外壳的侧壁上，所述设备外壳与地线电性连接，一对所述导电限位框内滑动连接有导电柱，所述导电柱与导电限位框相接触，所述导电柱上固定连接有与显示屏相匹配的导电硅胶环，所述导电硅胶环上包裹有导电无纺布，所述导电柱上转动连接有把手架，所述设备外壳上固定连接有与导电硅胶环相匹配的集尘收纳板；本实用新型专利技术中的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其增加了显示屏的除静电除尘装置，结构简单，成本低，效果好，大幅提升了除尘和除静电的效率，保证了使用的效果。

An anode bonding device for chips and MEMS

【技术实现步骤摘要】
一种芯片及MEMS阳极键合设备
本技术涉及阳极键合设备
，特别是涉及一种芯片及MEMS阳极键合设备。
技术介绍
阳极键合是MEMS不可或缺的工艺之一，阳极键合设备主要针对MEMS器件芯片级硅玻璃键合封装需求，以高性能封装为目标开发的封装设备。具有灵活、精确、自动化操作程度高的特点。目前，现有技术中有阳极键合机可实现芯片自动上下料操作，适于批量封装，可满足小批量封装生产需求。其原理一般是基于机器视觉实现芯片位置检测和对准，可实现芯片自动拾取和释放操作，具有键合温度、键合压力、键合电压自动调整与控制功能。现有技术中一般都有一个显示器用于观察视觉系统传递的图像，便于操作者对微小的结构进行观察和判断，具有非常重要的价值和意义，但是由于显示器的屏幕背面有较高的静电电压，一般呈正电性，并且其电压越高，对周边粒子的吸附影响就越大，为了保证屏幕的正常工作及其显示亮度，其显示器亮度较高，就会吸附大量的灰尘或其他杂志，不及时清理会影响使用的效果，但是现有技术中的清理仅仅是通过简单的擦拭，无法消除静电，清理效果不好，需要增加清理的频率。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种芯片及MEMS阳极键合设备。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种芯片及MEMS阳极键合设备，其增加了显示屏幕的除静电除尘装置，结构简单，成本低，效果好，大幅提升了除尘和除静电的效率，减少了清理的频率，保证了使用的效果。为了实现上述目的，本技术一实施例提供的技术方案如下：一种芯片及MEMS阳极键合设备，包括设备外壳，所述设备外壳的一侧壁上固定连接有显示屏，所述显示屏的两侧均设有导电限位框，且导电限位框固定连接在设备外壳的侧壁上，所述设备外壳与地线电性连接，一对所述导电限位框内滑动连接有导电柱，所述导电柱与导电限位框相接触，所述导电柱上固定连接有与显示屏相匹配的导电硅胶环，所述导电硅胶环上包裹有导电无纺布，所述导电柱上转动连接有把手架，所述设备外壳上固定连接有与导电硅胶环相匹配的集尘收纳板。作为本技术的进一步改进，所述导电无纺布的一侧固定连接有尼龙贴公扣，所述导电无纺布的另一侧固定连接有尼龙贴母扣，所述尼龙贴公扣和尼龙贴母扣分别位于导电无纺布的两端。作为本技术的进一步改进，所述把手架为导电材料。作为本技术的进一步改进，所述把手架上刻有防滑纹。作为本技术的进一步改进，所述设备外壳上固定连接有键鼠放置板，所述键鼠放置板位于显示屏的下侧。作为本技术的进一步改进，所述键鼠放置板上铺设有防滑垫。作为本技术的进一步改进，所述集尘收纳板上端与导电限位框下端之间的距离数值小于导电柱的直径数值。本技术的有益效果是：本技术中的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其增加了显示屏幕的除静电除尘装置，结构简单，成本低，效果好，大幅提升了除尘和除静电的效率，减少了清理的频率，保证了使用的效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一具体实施例中一种芯片及MEMS阳极键合设备的除静电除尘装置收纳结构示意图；图2为本技术一具体实施例中一种芯片及MEMS阳极键合设备的除静电除尘装置使用过程示意图；图3为图2中的局部剖面图；图4为本技术一具体实施例中导电无纺布的展开结构示意图。图中：1.设备外壳、2.显示屏、3.导电限位框、4.导电柱、5.导电硅胶环、6.把手架、7.键鼠放置板、8.集尘收纳板、9.导电无纺布、901.尼龙贴公扣、902.尼龙贴母扣。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。在本技术的各个图示中，为了便于图示，结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分扩大，因此，仅用于图示本技术的主题的基本结构。本文使用的例如“左”、“右”、“左侧”、“右侧”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的设备翻转，则被描述为位于其他单元或特征“右侧”的单元将位于其他单元或特征“左侧”。因此，示例性术语“右侧”可以囊括左侧和右侧这两种方位。设备可以以其他方式被定向(旋转90度或其他朝向)，并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。参图1～图4所示，本技术的一具体实施例中，一种芯片及MEMS阳极键合设备，包括设备外壳1，设备外壳1的一侧壁上固定连接有显示屏2，显示屏2的两侧均设有导电限位框3，且导电限位框3固定连接在设备外壳1的侧壁上，设备外壳1与地线电性连接，即设备外壳1接地，可将静电传导至大地，一对导电限位框3内滑动连接有导电柱4，导电柱4与导电限位框3相接触，导电柱4上固定连接有与显示屏2相匹配的导电硅胶环5，导电硅胶环5上包裹有导电无纺布9，导电柱4上转动连接有把手架6，设备外壳1上固定连接有与导电硅胶环5相匹配的集尘收纳板8。其中，导电限位框3用于对导电柱4的限位，为导电柱4的滑动提供轨道，同时可传导来气导电柱4的静电，可将静电传导至设备外壳1，最终传导至大地，导电硅胶环5用于为导电无纺布9提供支撑，导电无纺布9用于对显示屏2表面的擦拭，同时导电无纺布9可导电，可将显示屏2表面的静电传导至导电硅胶环5，然后导电硅胶环5将静电传导至导电柱4，导电无纺布9质地柔软，不易对显示屏2的表面造成刮痕，有一定的保护效果，集尘收纳板8对导电硅胶环5有承载的作用，导电硅胶环5可防止在集尘收纳板8上，同时集尘收纳板8也具有接灰尘的作用，清理时大部分灰尘都会掉落在集尘收纳板8上，集尘收纳板8的表面涂有聚四氟乙烯涂层，便于清理。进一步地，导电无纺布9的一侧固定连接有尼龙贴公扣901，导电无纺布9的另一侧固定连接有尼龙贴母扣902，尼龙贴公扣901和尼龙贴母扣902分别位于导电无纺布9的两端，可实现对于导电无纺布9的拆卸和更换，使用方便。进一步地，把手架6为导电材料，当工作人员手握把手架6时，在一定的条件下也具有一定的导电效果。进一步地，把手架6上刻有防滑纹，不易打滑。进一步地，设备外壳1上固定连接有键鼠放置板7，键鼠放置板7位于显示屏2的下侧，键鼠放置板7上可放置鼠标和键盘，方便使用。进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片及MEMS阳极键合设备，包括设备外壳(1)，其特征在于，所述设备外壳(1)的一侧壁上固定连接有显示屏(2)，所述显示屏(2)的两侧均设有导电限位框(3)，且导电限位框(3)固定连接在设备外壳(1)的侧壁上，所述设备外壳(1)与地线电性连接，一对所述导电限位框(3)内滑动连接有导电柱(4)，所述导电柱(4)与导电限位框(3)相接触，所述导电柱(4)上固定连接有与显示屏(2)相匹配的导电硅胶环(5)，所述导电硅胶环(5)上包裹有导电无纺布(9)，所述导电柱(4)上转动连接有把手架(6)，所述设备外壳(1)上固定连接有与导电硅胶环(5)相匹配的集尘收纳板(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片及MEMS阳极键合设备，包括设备外壳(1)，其特征在于，所述设备外壳(1)的一侧壁上固定连接有显示屏(2)，所述显示屏(2)的两侧均设有导电限位框(3)，且导电限位框(3)固定连接在设备外壳(1)的侧壁上，所述设备外壳(1)与地线电性连接，一对所述导电限位框(3)内滑动连接有导电柱(4)，所述导电柱(4)与导电限位框(3)相接触，所述导电柱(4)上固定连接有与显示屏(2)相匹配的导电硅胶环(5)，所述导电硅胶环(5)上包裹有导电无纺布(9)，所述导电柱(4)上转动连接有把手架(6)，所述设备外壳(1)上固定连接有与导电硅胶环(5)相匹配的集尘收纳板(8)。


2.根据权利要求1所述的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其特征在于，所述导电无纺布(9)的一侧固定连接有尼龙贴公扣(901)，所述导电无纺布(9)的另一侧固定连接有尼龙贴母扣(902)，所述尼龙贴公扣...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈立国，薛立伟，刘银龙，
申请(专利权)人：苏州迪纳精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32