【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉籽晶冷却杆
本技术涉及蓝宝石生产领域，特别涉及一种单晶炉籽晶冷却杆。
技术介绍
现阶段的上部提拉杆都是采用一个冷却管道来达到保护提拉杆的目的。一个冷却管道在达到对提拉杆降温起保护作用的同时很难再实现对晶种温度及晶种附近熔体温度梯度的控制。因此，现有的引晶工艺必须首先实现对坩埚内全部熔体的温度梯度控制，然后才可以进行引晶操作，现有引晶过程需要耗费大量的时间及能耗。现有的晶体放肩工艺，同样也是实现了整个熔体温度变化后，才可以逐步实现放肩过程，放肩过程时间长，能耗损失大。熔体温度场的整体要求与引晶跟放肩过程的局部要求常常存在矛盾的地方，只对熔体进行整体温度调整不进行局部温度调整较难同时满足二者的要求。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供一种单晶炉籽晶冷却杆。本技术采用的技术方案是：一种单晶炉籽晶冷却杆，包括冷却管，所述冷却管设置有进水口和出水口，所述冷却管包括相互套接的内冷套管和外冷套管，所述内冷套管、外冷套管各自设置进出水口，所述内冷套管设置有其相对于外冷套管的第一位移传感器，所述...
【技术保护点】
1.一种单晶炉籽晶冷却杆，包括冷却管，所述冷却管设置有进水口和出水口，其特征是：所述冷却管包括相互套接的内冷套管和外冷套管，所述内冷套管、外冷套管各自设置进出水口，所述内冷套管设置有其相对于外冷套管的第一位移传感器，所述外冷套管设置有其相对于单晶炉的第二位移传感器。/n
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉籽晶冷却杆，包括冷却管，所述冷却管设置有进水口和出水口，其特征是：所述冷却管包括相互套接的内冷套管和外冷套管，所述内冷套管、外冷套管各自设置进出水口，所述内冷套管设置有其相对于外冷套管的第一位移传感器，所述外冷套管设置有其相对于单晶炉的第二位移传感器。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶冷却杆，其特征是：所述外冷套管通过丝杆丝母装置带动竖直方向运动，所述丝杆由伺服电机驱动。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶冷却杆，其特征是：所述内冷套管侧壁设置有滚珠槽，所述滚珠槽匹配设置有滚珠。
4.根据权利要求2所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：高佑君，王维林，
申请(专利权)人：山西华晶恒基新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14
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