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一种单晶炉籽晶冷却杆，包括冷却管，所述冷却管设置有进水口和出水口，所述冷却管包括相互套接的内冷套管和外冷套管，所述内冷套管、外冷套管各自设置进出水口，所述内冷套管设置有其相对于外冷套管的第一位移传感器，所述外冷套管设置有其相对于单晶炉的第二...
该专利属于山西华晶恒基新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西华晶恒基新材料有限公司授权不得商用。

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