闪烁器面板及放射线检测器制造技术

闪烁器面板(10)具备：具有基板主面(11a)、基板背面(11b)及基板侧面(11c)的基板(11)；通过多个柱状晶体形成，具有闪烁器背面(12b)、闪烁器主面(12a)及闪烁器侧面(12c)的闪烁器层(12)；和覆盖闪烁器层(12)的闪烁器侧面(12c)的保护膜(13)。基板侧面(11c)部分性地具有粗面化了的区域。闪烁器侧面(12c)具有包含凹凸构造的粗面(12ca)。保护膜(13)以覆盖粗面(11d)、(12ca)的方式相对于闪烁器侧面(12c)紧贴。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】闪烁器面板及放射线检测器
本专利技术涉及闪烁器面板及放射线检测器。
技术介绍
作为该领域的技术，已知有专利文献1。专利文献1公开了闪烁器面板。闪烁器面板具有光学基板(光纤光学板：FOP)和形成于光学基板上的闪烁器。在光学基板的侧面、闪烁器的侧面及闪烁器的上表面形成有作为保护膜的聚对二甲苯膜。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第99/66350号
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题为了保护具有基板与闪烁器层的闪烁器面板，形成有专利文献1所公开的那样的保护膜。保护膜通过相对于构成闪烁器面板的基板及闪烁器层紧贴，期望不容易剥离的性质。因此，本专利技术的目的在于，提供可提高保护膜的紧贴性的闪烁器面板及放射线检测器。解决问题的技术手段本专利技术的一方式的闪烁器面板，具备：基板部，具有与第1方向交叉并且相互相对的第1主面及第1背面和以连结所述第1主面及所述第1背面的方式延伸的第1侧面；闪烁器层部，通过在第1方向上延伸的多个柱状晶体形成，具有包含作为柱状晶体的一端且与第1主面面对面的根部而形成的第2背面、包含作为柱状晶体的另一端的前端部而形成的第2主面、和以连结第2主面与第2背面的方式延伸的第2侧面；和保护膜，覆盖基板部的第1背面及第1侧面、及闪烁器层部的第2主面及第2侧面，第1侧面部分性地具有粗面化了的区域，第2侧面具有包含凹凸构造的粗面化了的区域，保护膜以覆盖第1侧面及第2侧面的粗面化了的区域的方式相对于第2侧面紧贴。闪烁器面板具备基板部及闪烁器层部，该基板部的第1侧面部分性地具有粗面化了的区域。闪烁器层部的第2侧面具有包含凹凸构造的粗面化了的区域。根据这些粗面化了的区域，基板部与保护膜的接触面积及闪烁器层部与保护膜的接触面积增加。保护膜的紧贴性伴随着接触面积的增加而变高。因此，闪烁器面板可提高保护膜的紧贴性。在一方式中，粗面化了的区域所含有的凹凸构造也可以通过柱状晶体部分性地缺损而形成。具有这样的结构的第2侧面通过切断具有闪烁器层部与基板部的层叠构造物而得到。因此，可容易地形成含有凹凸构造的粗面化了的区域。在一方式中，第1侧面也可以包含形成于第1背面与第1侧面之间的角部的毛边。根据该结构，基板部与保护膜的接触面积变大。因此，闪烁器面板可提高基板部与保护膜的紧贴性。在一方式中，闪烁器层也可以具有形成于第2背面与第2侧面之间的角部的缺口部，在缺口部填充有保护膜。根据该结构，闪烁器层部与保护膜的接触面积进一步增加。于是，基板部与保护膜的接触面积也进一步增加。因此，闪烁器面板可进一步提高与保护膜的紧贴性。在一方式中，闪烁器层也可以具有形成于第2主面与第2侧面之间的角部的塌角部，在塌角部填充有保护膜。根据该结构，闪烁器层部与保护膜的接触面积进一步增加。因此，闪烁器面板可进一步提高与保护膜的紧贴性。在一方式中，闪烁器层部的第2背面也可以与基板部的第1主面相接。根据该结构，可在基板部上直接形成闪烁器层部。在一方式中，也可以是还具备以与基板部中的第1主面及闪烁器层部中的第2背面分别相接的方式形成的阻挡层，阻挡层由碘化铊形成，闪烁器层由将碘化铯作为主成分的材料形成。由碘化铊构成的阻挡层具有耐湿性。因此，通过在基板部与闪烁器层部之间设置阻挡层，自基板部侧浸透的水分由阻挡层遮断。其结果，抑制对闪烁器层部的水分的到达。因此，可保护构成将潮解性的碘化铯作为主成分的闪烁器层部的柱状晶体的根部。本专利技术的另外的方式的放射线检测器，具备：发出对应于所入射的放射线的闪烁光的上述的闪烁器面板和相对于闪烁器面板面对面且检测闪烁光的光检测基板。根据该结构，具备上述的闪烁器面板。因此，闪烁器层部与保护膜的紧贴性提高。其结果，可提高耐湿性。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供可提高相对于闪烁器面板的保护膜的紧贴性的闪烁器面板及放射线检测器。附图说明图1是显示实施方式所涉及的放射线图像传感器的剖面图。图2是放大显示图1所示的放射线图像传感器的主要部分的剖面图。图3的(a)部、图3的(b)部、图3的(c)部及图3的(d)部是显示制造放射线图像传感器的主要的工序的剖面图。图4的(a)部、图4的(b)部、图4的(c)部是显示制造放射线图像传感器的主要的工序的剖面图。图5的(a)部、图5的(b)部、图5的(c)部及图5的(d)部是模式性地显示切断闪烁器面板基体的样子的剖面图。图6是放大显示闪烁器面板侧面的剖面图。图7是放大显示闪烁器层的主要部分的剖面图。图8是放大显示闪烁器层及基板的主要部分的剖面图。图9是放大显示基板的主要部分的剖面图。图10是模式性地显示包含柱状晶体的闪烁器层的样子的立体图。图11的(a)部是用于说明实施方式所涉及的闪烁器面板的作用效果的剖面图，图11的(b)部是用于说明比较例所涉及的闪烁器面板的作用效果的剖面图。图12的(a)部是用于说明实施方式所涉及的闪烁器面板的另外的作用效果的剖面图，图12的(b)部是用于说明比较例所涉及的闪烁器面板的作用效果的剖面图。图13的(a)部及图13的(b)部是显示放射线图像传感器的变形例的剖面图。图14是显示切断闪烁器面板基体的另外方式的图。图15的(a)部、图15的(b)部及图15的(c)部是模式性地显示切断闪烁器面板基体的样子的剖面图。具体实施方式以下，参照附图，详细地说明用于实施本专利技术的方式。在附图的说明中，对同一要素附上同一符号而省略重复的说明。本实施方式所涉及的闪烁器面板将X射线等的放射线转换为可视光等的闪烁光。闪烁器面板例如适用于用于放射线相机等的放射线图像传感器。如图1所示，作为放射线检测器的放射线图像传感器1具有：传感器基板2(光检测基板)、闪烁器面板10和防湿薄片3。这些构成要素沿着Z方向(第1方向)按该顺序层叠。传感器基板2俯视时呈矩形状。传感器基板2具有主面2a、背面2b和侧面2c。传感器基板2还具有设置于主面2a的多个光电转换元件2d。光电转换元件2d沿着主面2a配置成二维状。闪烁器面板10俯视时呈大致矩形状。闪烁器面板10具有面板主面10a、面板背面10b和面板侧面10c。闪烁器面板10以覆盖传感器基板2的主面2a上的一部分的方式相对于主面2a粘结。即，闪烁器面板10小于传感器基板2。具体而言，闪烁器面板10以覆盖配置有光电转换元件2d的区域的方式经由粘结剂4而贴合于主面2a上。对于闪烁器面板10的详细情况，在后面叙述。防湿薄片3覆盖闪烁器面板10的全体和传感器基板2的一部分。具体而言，防湿薄片3覆盖闪烁器面板10的面板背面10b和面板侧面10c。防湿薄片3覆盖传感器基板2的主面2a的一部分、即包围闪烁器面板10的部分。防湿薄片3的周边部3a相对于传感器基板2的主面2a粘结。通过该结构，被防湿薄片3覆盖的内部空间保持气密。因此，抑制了自防湿薄片3的外部向内部的水分等的浸入。具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种闪烁器面板，其特征在于，/n具备：/n基板部，具有与第1方向交叉并且相互相对的第1主面及第1背面、和以连结所述第1主面及所述第1背面的方式延伸的第1侧面；/n闪烁器层部，通过在所述第1方向上延伸的多个柱状晶体形成，具有包含作为所述柱状晶体的一端且与所述第1主面面对面的根部而形成的第2背面、包含作为所述柱状晶体的另一端的前端部而形成的第2主面、和以连结所述第2主面与所述第2背面的方式延伸的第2侧面；和/n保护膜，覆盖所述基板部的所述第1背面及所述第1侧面、及所述闪烁器层部的所述第2主面及所述第2侧面，/n所述第1侧面部分性地具有粗面化了的区域，/n所述第2侧面具有包含凹凸构造的粗面化了的区域，/n所述保护膜以覆盖所述第1侧面及所述第2侧面的粗面化了的区域的方式相对于所述第2侧面紧贴。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170927 JP 2017-1865621.一种闪烁器面板，其特征在于，
具备：
基板部，具有与第1方向交叉并且相互相对的第1主面及第1背面、和以连结所述第1主面及所述第1背面的方式延伸的第1侧面；
闪烁器层部，通过在所述第1方向上延伸的多个柱状晶体形成，具有包含作为所述柱状晶体的一端且与所述第1主面面对面的根部而形成的第2背面、包含作为所述柱状晶体的另一端的前端部而形成的第2主面、和以连结所述第2主面与所述第2背面的方式延伸的第2侧面；和
保护膜，覆盖所述基板部的所述第1背面及所述第1侧面、及所述闪烁器层部的所述第2主面及所述第2侧面，
所述第1侧面部分性地具有粗面化了的区域，
所述第2侧面具有包含凹凸构造的粗面化了的区域，
所述保护膜以覆盖所述第1侧面及所述第2侧面的粗面化了的区域的方式相对于所述第2侧面紧贴。


2.如权利要求1所述的闪烁器面板，其特征在于，
所述粗面化了的区域所包含的所述凹凸构造通过所述柱状晶体部分性地缺损而形成。


3.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，
所述第1侧面包含形成于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：白川和广，后藤启辅，山路晴纪，上西秀典，畑中将志，樱井纯，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP