【技术实现步骤摘要】
裸片转移模块和具有该裸片转移模块的裸片接合设备
本专利技术涉及一种裸片转移模块以及一种具有其的裸片接合设备。更具体地说，本专利技术涉及一种用于在将裸片接合到引线框架和印刷电路板之类的衬底上的裸片接合工艺中转移裸片的裸片转移模块；以及一种具有该裸片转移模块的裸片接合设备。
技术介绍
通常，通过重复执行一系列制造工艺，可以在用作半导体衬底的硅晶圆上形成半导体装置。半导体装置可以为通过切割工艺成为单个的多个裸片，并且裸片随后可以通过裸片接合工艺接合到衬底。可以按裸片被附接在切割带上的状态将晶圆提供到裸片接合设备。芯片接合设备可以包括用于支撑晶圆的晶圆台架，用于使裸片与切割带分离的裸片顶出器，用于将由裸片顶出器分离的裸片转移到裸片台架上的裸片转移单元，以及用于从裸片台架拾取裸片并且将裸片接合到衬底的接合单元。裸片转移单元可以包括用于使用真空压力从切割带拾取裸片的拾取器，以及用于在水平和竖直方向上移动拾取器的拾取器驱动部分。拾取器驱动部分可以包括用于在水平方向上移动拾取器的水平驱动部分以及用于在竖直方向上移动拾取器的竖...
【技术保护点】
1.一种裸片转移模块，其包括：/n台架单元，所述台架单元用于支撑上面附接有裸片的切割带；/n摆臂，所述摆臂设置在所述台架单元的上方并且被配置为可围绕设置在水平方向上的旋转轴旋转；/n拾取单元，所述拾取单元安装在所述摆臂的下部上并且被配置为从所述切割带拾取第一裸片；/n臂驱动单元，所述臂驱动单元用于在由所述拾取单元拾取所述第一裸片之后在第一方向上将所述摆臂旋转第一角度；以及/n裸片台架，所述裸片台架设置成面向在所述第一方向上旋转的所述拾取单元并且被配置为从所述拾取单元接收所述第一裸片。/n
【技术特征摘要】
20181102 KR 10-2018-01335181.一种裸片转移模块，其包括：
台架单元，所述台架单元用于支撑上面附接有裸片的切割带；
摆臂，所述摆臂设置在所述台架单元的上方并且被配置为可围绕设置在水平方向上的旋转轴旋转；
拾取单元，所述拾取单元安装在所述摆臂的下部上并且被配置为从所述切割带拾取第一裸片；
臂驱动单元，所述臂驱动单元用于在由所述拾取单元拾取所述第一裸片之后在第一方向上将所述摆臂旋转第一角度；以及
裸片台架，所述裸片台架设置成面向在所述第一方向上旋转的所述拾取单元并且被配置为从所述拾取单元接收所述第一裸片。
2.根据权利要求1所述的裸片转移模块，其中所述拾取单元包括：
真空拾取器，其用于使用真空压力真空吸引所述第一裸片；以及
拾取器驱动单元，其用于在所述摆臂的纵向上移动所述真空拾取器，以从所述切割带拾取所述第一裸片并且将所述第一裸片放置在所述裸片台架上。
3.根据权利要求1所述的裸片转移模块，其还包括旋转驱动单元，所述旋转驱动单元用于旋转所述裸片台架，使得在将所述第一裸片转移到所述裸片台架上之后所述第一裸片面向上。
4.根据权利要求3所述的裸片转移模块，其还包括缓冲台架，所述缓冲台架设置在邻近所述裸片台架处，被配置为可由所述旋转驱动单元旋转并且用于临时存储所述裸片中的任一个。
5.根据权利要求4所述的裸片转移模块，其还包括水平驱动单元，所述水平驱动单元与所述旋转驱动单元连接并且用于在平行于所述水平方向的方向上移动所述旋转驱动单元，使得所述裸片台架和所述缓冲台架中的一个对应于所述拾取单元。
6.根据权利要求1所述的裸片转移模块，其中所述裸片台架包括用于真空吸引所述第一裸片的真空吸盘。
7.根据权利要求1所述的裸片转移模块，其还包括用于检测附接在所述切割带上的所述第一裸片的相机单元。
8.根据权利要求7所述的裸片转移模块，其中所述相机单元设置在所述第一裸片的上方，所述拾取单元安装在所述摆臂的所述下部的侧表面上，并且所述臂驱动单元旋转所述摆臂，使得所述拾取单元设置在所述第一裸片和所述相机单元之间，以便在所述相机单元检测到所述第一裸片之后拾取所述第一裸片。
9.根据权利要求1所述的裸片转移模块，其还包括裸片顶出器，所述裸片顶出器设置在由所述台架单元支撑的所述切割带的下方并且用于向上推动所述第一裸片以使所述第一裸片与所述切割带分离。
10.根据权利要求9所述的裸片转移模块，其还包括台架驱动单元，所述台架驱动单元用于在水平方向上移动所述台架单元，使得所述第一裸片定位在所述裸片顶出器上。
11.根据权利要求1所述的裸片转移模块，其还包括：
第二摆臂，所述第二摆臂设置在所述台架单元的上方并且被配置为可围绕与所述旋转轴同轴设置的第二旋转轴旋转；
第二拾取单元，所述第二拾取单元安装在所述摆臂的下部上并且被配置为从所述切割带拾取第二裸片；
第二臂驱动单元，所述第二臂驱动单元用于在由所述第二拾取单元拾取所述第二裸片之后在不同于所述第一方向的第二方向上将所述第二摆臂旋转第二角度；以及
第二裸片台架，所述第二裸片台架设置成面向在所述第二方向上旋转的所述第二拾取单元并且被配置为从所述第二拾取单元接收所述第二裸片。
12.根据权利要求11所述的裸片转移模块，其还包括第二旋转驱动单元，所述第二旋转驱动单元用于旋转所述第二裸片台架，使得在将所述第二裸片转移到所述第二裸片台架上之后所述第二裸片面向上。
13.根据权利要求11所述的裸片转移模块，其还包括：
裸片顶出器，所述裸片顶出...
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