在除尘室设备中的废空气处理设备与废空气处理方法技术

一种用于除尘室设备中的废空气处理设备，具有至少一个新鲜空气供应装置及至少一个废空气装置，该废空气装置与一工作室如一机械室、仓库室或实验室相连通，在该工作室中设有一程序装置，至少有一供应管路及至少一废空气管路接到该程序装置，其中，在该程序装置（２）的废空气管路（１０）中至少设有一过滤器（１１）（１２），且该废空气管路（１０）与该程序装置（２）及／或该工作室（３）的供应空气管路（５）（５′）连通。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关一种除尘设备，具体说，有关一种用于除尘设备中的作废空气处理的设备与方法。(2)
技术介绍
在除尘室工程中，特别是在半导体制造的场合(其中所要加工的半导体制品(Fabrikat)是进行湿刻蚀，湿净化及/或以化学与机械方式抛光(polieren)，是将相关的程序装置设在一机械室或实验室中。一般(特别是当有员工在场时)要将起码量的废空气从这种空间吸出，以除去一部分的热负荷，减少有害物质浓度，以及符合政府规定。在这方面「有害物质」表示腐蚀、污染及对健康的危害的总合，其中腐蚀是有关对设备的材料的损害，污染是有关可能使用贩售的产品的杂质，而对健康的危害则是有关一些员工的健康。但许多设备，特别是在除尘室工程领域设有吸离空间(Absaugvolumina)。因此这种方式很费钱，因为吸出的空气要用刚处理过的外界空气取代。习知技术是将未载有污染物的室空气回流到周围(循环)空气中，而将带着有害物质的空气或有危害性的空气由该程序装置送到该废空气中。还有一种习知技术是将无危害性的空气流再回流到室空气中，且在实验中将抽离的废空气，典型的为500Nm3/小时或更少经由过滤器(以活性碳为基础)净化，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于除尘室设备中的废空气处理设备，具有至少一个新鲜空气供应装置及至少一个废空气装置，该废空气装置与一工作室如一机械室、仓库室或实验室相连通，在该工作室中设有一程序装置，至少有一供应管路及至少一废空气管路接到该程序装置，其特征在于：在该程序装置（２）的废空气管路（１０）中至少设有一过滤器（１１）（１２），且该废空气管路（１０）与该程序装置（２）及／或该工作室（３）的供应空气管路（５）（５′）连通。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马丁修特勒，
申请(专利权)人：MW桑德设备工程有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]