一种压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种压力传感器，包括圆形的敏感膜片，以及与敏感膜片相接触的四个压阻条，该四个压阻条均位于敏感膜片的边缘区域；其中边缘区域为压力传感器中应力不小于应力峰值的90％所对应的区域。由于敏感膜片呈圆形，使得敏感膜片的边缘区域的应力线性度得到了极大的改善；而当敏感膜片发生形变时，应力主要集中在上述边缘区域中。将压阻条设置在上述边缘区域时，可以有效增加在工作状态时压阻条电阻变化的范围，从而使得压力传感器具有较高的输出电压。

A pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
一种压力传感器
本专利技术涉及传感器
，特别是涉及一种压力传感器。
技术介绍
随着近年来科技不断的进步，压阻式压力传感器的应用范围也越来越广泛，相应的在现阶段对于压力传感器的精度以及可靠性具有了更高的要求。所谓压阻式压力传感器，通常包括设置在衬底表面可以发生形变的敏感膜片，以及与该敏感膜片相接触的压阻条，所述压阻条可以根据敏感膜片形变的变化而使得自身的电阻产生变化。通常情况下在现阶段会在压力传感器中设置四个与敏感膜片相接触的压阻条，该四个压阻条通常会构成一个惠斯通电桥，从而实现对施加在敏感膜片表面压力的测量。在现阶段，压力传感器的输出电压通常较小，这将导致压力传感器的品质较低。所以如何提高压力传感器的输出电压是本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种压力传感器，具有较高的输出电压。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种压力传感器，包括：具有空腔的基板；位于所述基板表面且跨越所述空腔的圆形敏感膜片；与所述敏感膜片相接触的四个压阻条；其中，四个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：/n具有空腔的基板；/n位于所述基板表面且跨越所述空腔的圆形敏感膜片；/n与所述敏感膜片相接触的四个压阻条；其中，四个所述压阻条分为两个横向压阻和两个纵向压阻，所述压阻条均位于所述敏感膜片的边缘区域；所述边缘区域为所述压力传感器中应力不小于应力峰值的90％所对应的区域；/n位于所述基板表面的引线电极；/n将所述压阻条与所述引线电极电连接的引线。/n

【技术特征摘要】
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：
具有空腔的基板；
位于所述基板表面且跨越所述空腔的圆形敏感膜片；
与所述敏感膜片相接触的四个压阻条；其中，四个所述压阻条分为两个横向压阻和两个纵向压阻，所述压阻条均位于所述敏感膜片的边缘区域；所述边缘区域为所述压力传感器中应力不小于应力峰值的90％所对应的区域；
位于所述基板表面的引线电极；
将所述压阻条与所述引线电极电连接的引线。


2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述纵向压阻跨越所述敏感膜片的边沿。


3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述横向压阻呈直线型，所述纵向压阻呈U型。


4.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，两个所述横向压阻沿所述敏感膜片...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙业超，尚海平，王英辉，
申请(专利权)人：中科院微电子研究所昆山分所，
类型：发明
国别省市：江苏;32