一种压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种压力传感器，包括与敏感膜片相接触的两组压阻条组，其中，任一压阻条组包括分别为横向压阻和纵向压阻两个压阻条，任一压阻条组中相邻压阻条之间的距离均不大于15μm。将全部压阻条组中的压阻条之间的间距限制在不大于15μm范围内意味着同一压阻条组中的横向压阻和纵向压阻会集中设置，从而使得同一压阻条组中的横向压阻和纵向压阻处在相同的热应力条件下，进而避免热应力的干扰，从而使得压力传感器在高温条件下具有良好的测量精度。

A pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
一种压力传感器
本专利技术涉及传感器
，特别是涉及一种压力传感器。
技术介绍
随着近年来科技不断的进步，压阻式压力传感器的应用范围也越来越广泛，相应的在现阶段对于压力传感器的精度以及可靠性具有了更高的要求。所谓压阻式压力传感器，通常包括设置在衬底表面可以发生形变的敏感膜片，以及与该敏感膜片相接触的压阻条，所述压阻条可以根据敏感膜片形变的变化而使得自身的电阻产生变化。通常情况下在现阶段会在压力传感器中设置四个与敏感膜片相接触的压阻条，该四个压阻条通常会构成一个惠斯通电桥，从而实现对施加在敏感膜片表面压力的测量。在现阶段，当压力传感器处在高温应用场景时，压力传感器通常本不能精确的对压力进行测量，即在高温条件下压力传感器通常不具有良好的测量精度。所以如何提高压力传感器在高温条件下的测量精度是本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种压力传感器，在高温条件下具有良好的测量精度。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种压力传感器，包括：具有空腔的基板；位于所述基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：/n具有空腔的基板；/n位于所述基板表面且跨越所述空腔的敏感膜片；/n与所述敏感膜片相接触的两组压阻条组，其中，任一所述压阻条组包括两个压阻条，任一所述压阻条组中两个所述压阻条分为横向压阻和纵向压阻，任一所述压阻条组中相邻所述压阻条之间的距离均不大于15μm；/n位于所述基板表面的引线电极；/n将所述压阻条与所述引线电极电连接的引线。/n

【技术特征摘要】
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：
具有空腔的基板；
位于所述基板表面且跨越所述空腔的敏感膜片；
与所述敏感膜片相接触的两组压阻条组，其中，任一所述压阻条组包括两个压阻条，任一所述压阻条组中两个所述压阻条分为横向压阻和纵向压阻，任一所述压阻条组中相邻所述压阻条之间的距离均不大于15μm；
位于所述基板表面的引线电极；
将所述压阻条与所述引线电极电连接的引线。


2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，两组所述压阻条组沿所述敏感膜片中心呈中心对称分布。


3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，两个所述横向压阻沿所述敏感膜片中心呈中心对称分布；两个所述纵向压阻沿所述敏感膜片中心呈中心对称分布。


4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙业超，尚海平，王英辉，
申请(专利权)人：中科院微电子研究所昆山分所，
类型：发明
国别省市：江苏;32