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本发明公开了一种压力传感器，包括与敏感膜片相接触的两组压阻条组，其中，任一压阻条组包括分别为横向压阻和纵向压阻两个压阻条，任一压阻条组中相邻压阻条之间的距离均不大于15μm。将全部压阻条组中的压阻条之间的间距限制在不大于15μm范围内意味着...
该专利属于中科院微电子研究所昆山分所所有，仅供学习研究参考，未经过中科院微电子研究所昆山分所授权不得商用。

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