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本发明公开了一种压力传感器，包括圆形的敏感膜片，以及与敏感膜片相接触的四个压阻条，该四个压阻条均位于敏感膜片的边缘区域；其中边缘区域为压力传感器中应力不小于应力峰值的90％所对应的区域。由于敏感膜片呈圆形，使得敏感膜片的边缘区域的应力线性度...
该专利属于中科院微电子研究所昆山分所所有，仅供学习研究参考，未经过中科院微电子研究所昆山分所授权不得商用。

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