碳化硅半导体切片固定夹具及具有该夹具的切片机制造技术

本申请公开了一种碳化硅半导体切片固定夹具，第三安装板上设有第一滑槽，第一滑槽内设有沿第一滑槽滑动的第一滚轮，第一滚轮设有一对，第一滚轮上安装有夹板，夹板的一侧安装有第二液压杆，第二液压杆上安装有第一液压泵，夹板相对的一侧均安装有第四安装板，第四安装板的下端安装有第五活塞，第五活塞上安装有第三活塞轴，第三活塞轴上安装有第六活塞，第六活塞上安装有第二滚轮安装座，第二滚轮安装座上安装有第二转轴，第二转轴的外周安装有第二滚轮。本实用新型专利技术还提出安装有上述碳化硅半导体切片固定夹具的切片机。本实用新型专利技术能够提高碳化硅半导体切片固定稳定性，进一步提高了切片的质量。

Fixed fixture of silicon carbide semiconductor chip and slicer with the fixture

【技术实现步骤摘要】
碳化硅半导体切片固定夹具及具有该夹具的切片机
本技术涉及碳化硅半导体加工的
，尤其涉及一种碳化硅半导体切片固定夹具及具有该夹具的切片机。
技术介绍
金刚砂又名碳化硅是用石英砂、石油焦、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。碳化硅加工过程中常将碳化硅半导体块切成片状再进行加工，现有技术中对于碳化硅半导体切片的限位操作时，由于限位固定稳定性差，导致碳化硅半导体切片的效率和质量无法满足实际生产中的需求，故此亟需开发一种能够提高碳化硅半导体切片固定稳定性的夹具及切片质量好的切片机来解决现有技术中的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足而提供一种能够提高碳化硅半导体切片固定稳定性的夹具及切片质量好的切片机。解决上述技术问题，本技术采取如下技术方案：一种碳化硅半导体切片固定夹具，包括第三安装板，第三安装板上设有第一滑槽，第一滑槽内设有沿第一滑槽滑动的第一滚轮，第一滚轮设有一对，第一滚轮上安装有夹板，夹板的一侧安装有第二液压杆，第二液压杆远离夹板的一侧安装有第一液压泵，夹板相对的一侧均安装有第四安装板，第四安装板的下端安装有第五活塞，第五活塞远离第四安装板的一侧安装有第三活塞轴，第三活塞轴远离第五活塞的一侧安装有第六活塞，第六活塞上安装有第二滚轮安装座，第二滚轮安装座上安装有第二转轴，第二转轴的外周安装有第二滚轮，第五活塞和第六活塞之间设有第三弹簧，第三弹簧套接在第三活塞轴的外周。技术实施例夹板靠近第一液压泵的一侧安装有第四活塞，第四活塞远离夹板的一侧安装有第二活塞轴，第二活塞轴远离第四活塞的一侧安装有第三活塞，第三活塞安装在第二液压杆。本技术实施例第四活塞和第三活塞之间设有第二弹簧，第二弹簧套接在第二活塞轴的外周。本技术实施例第二滚的外周套接有减速套。本技术还提出一种切片机，包括切片箱，切片箱内设有切片腔，切片腔内安装有上述碳化硅半导体切片固定夹具，第一液压泵安装在切片箱上，切片箱上设有供第二液压杆贯穿的限位轴套，第三安装板安装在切片腔内。本技术实施例切片箱的上端安装有第一安装板，第一安装板一侧安装有蓄电池，第一安装板远离蓄电池的一侧安装有第一液压泵，第一液压泵远离第一安装板的一侧安装有第一液压杆，第一液压杆上安装有电机安装座，电机安装座上安装有电机，电机上安装有第一转轴，第一转轴上安装有切轮。本技术实施例第二安装板设有沿竖直方向设置的第二滑槽，第二安装板的一侧设有沿第二滑槽滑动的滑板，电机安装座安装在滑板上，第二滑槽内设有限制滑板滑动的锁扣。本技术实施例滑板靠近电机安装座的一侧安装有第一活塞，第一活塞远离滑板的一侧安装有第一活塞轴，第一活塞轴远离第一活塞的一侧安装有第二活塞，第二活塞安装在电机安装座上，第一活塞和第二活塞之间设有第一弹簧，第一弹簧套接在第一活塞轴的外周。本技术实施例第二滑槽的两端设有限位板。本技术的有益效果为：在需要对碳化硅半导体切片时，将碳化硅半导体块体置于夹板之间，然后由第一液压泵驱动第二液压杆带动夹板沿着第一滑槽滑动实现对碳化硅半导体块进行限制固定，在对碳化硅半导体限位时，由第二滚轮实现对碳化硅半导体块进行导向，由第五活塞、第三活塞轴、第六活塞和第三弹簧配合的伸缩性实现第二滚轮导向的过程中，第二滚轮具有伸缩性，伸缩性的第二滚轮可以对碳化硅半导体块进行限位固定，有效保证了碳化硅半导体的限位的稳定性。本技术的其他特点和优点将会在下面的具体实施方式、附图中详细的揭露。附图说明图1是本技术所述切片机的结构示意图；图2是本技术所述碳化硅半导体切片固定夹具的结构示意图；图3是图2中A处的局部放大示意图；图4是本技术所述切片机中切轮的侧视图。图中各附图标记为：1、切片箱；2、第一液压泵；3、切片腔；4、蓄电池；5、第一安装板；6、第二液压泵；7、第一液压杆；8、第二安装板；9、滑板；10、电机安装座；11、电机；12、切轮；13、第一转轴；14、第一活塞；15、第一活塞轴；16、第一弹簧；17、夹板；18、第三安装板；19、第一滑槽；20、限位轴套；21、第二液压杆；22、第三活塞；23、第二弹簧；24、第二活塞轴；25、第四活塞；26、第二滚轮安装座；27、第二液压杆；28、减速套；29、限位板；30、第四安装板；31、第五活塞；32、第三弹簧；33、第三活塞轴；34、第六活塞；35、第二转轴；36、第二滚轮；37、锁扣；38、第二滑槽；39、第二活塞。具体实施方式下面结合本技术实施例的附图对本技术实施例的技术方案进行解释和说明，但下述实施例仅为本技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其他实施例，都属于本技术的保护范围。在下文描述中，出现诸如术语“内”、“外”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或者位置关系仅是为了方便描述实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。参照图1-4所示，本技术实施例提出的一种碳化硅半导体切片固定夹具，包括第三安装板18，第三安装板18上设有第一滑槽19，第一滑槽19内设有沿第一滑槽19滑动的第一滚轮27，第一滚轮27设有一对，第一滚轮27上安装有夹板17，夹板17的一侧安装有第二液压杆21，第二液压杆21远离夹板17的一侧安装有第一液压泵2，夹板17相对的一侧均安装有第四安装板30，第四安装板30的下端安装有第五活塞31，第五活塞31远离第四安装板30的一侧安装有第三活塞轴33，第三活塞轴33远离第五活塞31的一侧安装有第六活塞34，第六活塞34上安装有第二滚轮安装座26，第二滚轮安装座26上安装有第二转轴35，第二转轴35的外周安装有第二滚轮36，第五活塞31和第六活塞34之间设有第三弹簧32，第三弹簧32套接在第三活塞轴33的外周。工作原理：在需要对碳化硅半导体切片时，将碳化硅半导体块体置于夹板17之间，然后由第一液压泵2驱动第二液压杆2带动夹板17沿着第一滑槽19滑动实现对碳化硅半导体块进行限制固定，在对碳化硅半导体限位时，由第二滚轮36实现对碳化硅半导体块进行导向，由第五活塞31、第三活塞轴33、第六活塞34和第三弹簧32配合的伸缩性实现第二滚轮36导向的过程中，第二滚轮36具有伸缩性，伸缩性的第二滚轮36可以对碳化硅半导体块进行限位固定，有效保证了碳化硅半导体的限位的稳定性。在本实施例中，夹板17靠近第一液压泵2的一侧安装有第四活塞25，第四活塞25远离夹板17的一侧安装有第二活塞轴24，第二活塞轴24远离第四活塞25的一侧安装有第三活塞22，第三活塞本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，包括第三安装板(18)，第三安装板(18)上设有第一滑槽(19)，第一滑槽(19)内设有沿第一滑槽(19)滑动的第一滚轮(27)，第一滚轮(27)设有一对，第一滚轮(27)上安装有夹板(17)，夹板(17)的一侧安装有第二液压杆(21)，第二液压杆(21)远离夹板(17)的一侧安装有第一液压泵(2)，夹板(17)相对的一侧均安装有第四安装板(30)，第四安装板(30)的下端安装有第五活塞(31)，第五活塞(31)远离第四安装板(30)的一侧安装有第三活塞轴(33)，第三活塞轴(33)远离第五活塞(31)的一侧安装有第六活塞(34)，第六活塞(34)上安装有第二滚轮安装座(26)，第二滚轮安装座(26)上安装有第二转轴(35)，第二转轴(35)的外周安装有第二滚轮(36)，第五活塞(31)和第六活塞(34)之间设有第三弹簧(32)，第三弹簧(32)套接在第三活塞轴(33)的外周。/n

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，包括第三安装板(18)，第三安装板(18)上设有第一滑槽(19)，第一滑槽(19)内设有沿第一滑槽(19)滑动的第一滚轮(27)，第一滚轮(27)设有一对，第一滚轮(27)上安装有夹板(17)，夹板(17)的一侧安装有第二液压杆(21)，第二液压杆(21)远离夹板(17)的一侧安装有第一液压泵(2)，夹板(17)相对的一侧均安装有第四安装板(30)，第四安装板(30)的下端安装有第五活塞(31)，第五活塞(31)远离第四安装板(30)的一侧安装有第三活塞轴(33)，第三活塞轴(33)远离第五活塞(31)的一侧安装有第六活塞(34)，第六活塞(34)上安装有第二滚轮安装座(26)，第二滚轮安装座(26)上安装有第二转轴(35)，第二转轴(35)的外周安装有第二滚轮(36)，第五活塞(31)和第六活塞(34)之间设有第三弹簧(32)，第三弹簧(32)套接在第三活塞轴(33)的外周。


2.如权利要求1所述的碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，夹板(17)靠近第一液压泵(2)的一侧安装有第四活塞(25)，第四活塞(25)远离夹板(17)的一侧安装有第二活塞轴(24)，第二活塞轴(24)远离第四活塞(25)的一侧安装有第三活塞(22)，第三活塞(22)安装在第二液压杆(21)。


3.如权利要求1所述的碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，第四活塞(25)和第三活塞(22)之间设有第二弹簧(23)，第二弹簧(23)套接在第二活塞轴(24)的外周。


4.如权利要求1所述的碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，第二滚轮(36)的外周套接有减速套(28)。


5.一种切片...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晶，卢红亮，李勇刚，蒋镄铠，
申请(专利权)人：四川矽芯微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51