碳化硅半导体切片固定夹具及具有该夹具的切片机制造技术

本申请公开了一种碳化硅半导体切片固定夹具，第三安装板上设有第一滑槽，第一滑槽内设有沿第一滑槽滑动的第一滚轮，第一滚轮设有一对，第一滚轮上安装有夹板，夹板的一侧安装有第二液压杆，第二液压杆上安装有第一液压泵，夹板相对的一侧均安装有第四安装板，第四安装板的下端安装有第五活塞，第五活塞上安装有第三活塞轴，第三活塞轴上安装有第六活塞，第六活塞上安装有第二滚轮安装座，第二滚轮安装座上安装有第二转轴，第二转轴的外周安装有第二滚轮。本实用新型专利技术还提出安装有上述碳化硅半导体切片固定夹具的切片机。本实用新型专利技术能够提高碳化硅半导体切片固定稳定性，进一步提高了切片的质量。

Fixed fixture of silicon carbide semiconductor chip and slicer with the fixture

【技术实现步骤摘要】
碳化硅半导体切片固定夹具及具有该夹具的切片机
本技术涉及碳化硅半导体加工的
，尤其涉及一种碳化硅半导体切片固定夹具及具有该夹具的切片机。
技术介绍
金刚砂又名碳化硅是用石英砂、石油焦、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。碳化硅加工过程中常将碳化硅半导体块切成片状再进行加工，现有技术中对于碳化硅半导体切片的限位操作时，由于限位固定稳定性差，导致碳化硅半导体切片的效率和质量无法满足实际生产中的需求，故此亟需开发一种能够提高碳化硅半导体切片固定稳定性的夹具及切片质量好的切片机来解决现有技术中的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足而提供一种能够提高碳化硅半导体切片固定稳定性的夹具及切片质量好的切片机。解决上述技术问题，本技术采取如下技术方案：一种碳化硅半导体切片固定夹具，包括第三安装板，第三安装板上设有第一滑槽，第一滑槽内设有沿本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，包括第三安装板(18)，第三安装板(18)上设有第一滑槽(19)，第一滑槽(19)内设有沿第一滑槽(19)滑动的第一滚轮(27)，第一滚轮(27)设有一对，第一滚轮(27)上安装有夹板(17)，夹板(17)的一侧安装有第二液压杆(21)，第二液压杆(21)远离夹板(17)的一侧安装有第一液压泵(2)，夹板(17)相对的一侧均安装有第四安装板(30)，第四安装板(30)的下端安装有第五活塞(31)，第五活塞(31)远离第四安装板(30)的一侧安装有第三活塞轴(33)，第三活塞轴(33)远离第五活塞(31)的一侧安装有第六活塞(34)，第六活塞(34)...

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，包括第三安装板(18)，第三安装板(18)上设有第一滑槽(19)，第一滑槽(19)内设有沿第一滑槽(19)滑动的第一滚轮(27)，第一滚轮(27)设有一对，第一滚轮(27)上安装有夹板(17)，夹板(17)的一侧安装有第二液压杆(21)，第二液压杆(21)远离夹板(17)的一侧安装有第一液压泵(2)，夹板(17)相对的一侧均安装有第四安装板(30)，第四安装板(30)的下端安装有第五活塞(31)，第五活塞(31)远离第四安装板(30)的一侧安装有第三活塞轴(33)，第三活塞轴(33)远离第五活塞(31)的一侧安装有第六活塞(34)，第六活塞(34)上安装有第二滚轮安装座(26)，第二滚轮安装座(26)上安装有第二转轴(35)，第二转轴(35)的外周安装有第二滚轮(36)，第五活塞(31)和第六活塞(34)之间设有第三弹簧(32)，第三弹簧(32)套接在第三活塞轴(33)的外周。


2.如权利要求1所述的碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，夹板(17)靠近第一液压泵(2)的一侧安装有第四活塞(25)，第四活塞(25)远离夹板(17)的一侧安装有第二活塞轴(24)，第二活塞轴(24)远离第四活塞(25)的一侧安装有第三活塞(22)，第三活塞(22)安装在第二液压杆(21)。


3.如权利要求1所述的碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，第四活塞(25)和第三活塞(22)之间设有第二弹簧(23)，第二弹簧(23)套接在第二活塞轴(24)的外周。


4.如权利要求1所述的碳化硅半导体切片固定夹具，其特征在于，第二滚轮(36)的外周套接有减速套(28)。


5.一种切片...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晶，卢红亮，李勇刚，蒋镄铠，
申请(专利权)人：四川矽芯微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51