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碳化硅半导体切片固定夹具及具有该夹具的切片机制造技术
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文档序号:24076166
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本申请公开了一种碳化硅半导体切片固定夹具,第三安装板上设有第一滑槽,第一滑槽内设有沿第一滑槽滑动的第一滚轮,第一滚轮设有一对,第一滚轮上安装有夹板,夹板的一侧安装有第二液压杆,第二液压杆上安装有第一液压泵,夹板相对的一侧均安装有第四安装板,...
该专利属于四川矽芯微科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川矽芯微科技有限公司授权不得商用。
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