湿制程设备的加工液增压喷洒装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其包括有：一喷洒盘，将复数支喷液管安装于一框架内，各该喷液管各安装有复数个增压器；一供液主管，连接复数支供液支管，各该供液支管连接各该喷液管，该供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该供液主管尾端为封闭状，该供液主管设有供液泵；各该增压器将一内管体头部结合于该喷液管，该内管体的底部为封闭倒锥状，该内管体外周缘结合一外环体，该外环体的内部相对该内管体的底部设为颈缩状，而于该外环体包含颈缩处的中段部内周缘与该内管体的下半部外周缘之间留设有增压通道，该内管体的底部相对该增压通道设有数个喷流口；以及复数个喷嘴，结合于各该增压器的外环体底部。

Processing liquid pressurization spray device of wet process equipment

【技术实现步骤摘要】
湿制程设备的加工液增压喷洒装置
本技术涉及一种湿制程设备的加工液增压喷洒装置，尤指一种设置增压器使喷出的加工液产生三倍大的喷射压力，而形成极大的中空负压大量吸引外部空气而与加工液自然混合成粒径微小化加工液，并具有节能效率的设计。
技术介绍
湿制程设备是对印刷电路板(软板、面板、双面板及多层板等)、液晶显示玻璃板、铭板或不锈钢导线板等(简称基板)利用喷洒化学加工液进行加工的设备：诸如利用加工液喷洒装置喷洒蚀刻液对印刷电路板上未设有保护层的铜箔部位进行蚀刻加工，使基板上的铜箔或金属导电呈现出电路的图样，或是用于喷洒显影液进行显影加工；然而，湿制程设备的加工液喷洒装置，广泛使用单流体喷嘴对基板喷射加工液，而单流体喷嘴喷射出的加工液因粒径大，会有加工品质的精细度受限的问题，故有使用二流体喷嘴混合喷射出加工液与压缩空气，可使加工液粒径微小化，提升加工品质的精细度，但二流体喷嘴另有额外设置压缩空气输送管线与耗费压缩空气的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的，系欲解决
技术介绍
必须额外设置压缩空气输送管线与耗费压缩空气致使加工液粒径微小化的问题，而具有无需耗费压缩空气即可使加工液粒径微小化的功效。本技术的另一目的，则具有加工液喷洒均匀的功效。本技术的又一目的，乃具有避免加工液喷洒死角的功效。本技术的再一目的，遂具有节能的功效。为达上述功效，本技术的结构特征，包括有：一喷洒盘，将复数支喷液管安装于一框架内，各该喷液管各安装有复数个增压器；一供液主管，连接复数支供液支管，各该供液支管连接各该喷液管，该供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该供液主管尾端为封闭状，该供液主管设有供液泵；各该增压器将一内管体头部结合于该喷液管，该内管体的底部为封闭倒锥状，该内管体外周缘结合一外环体，该外环体的内部相对该内管体的底部设为颈缩状，而于该外环体包含颈缩处的中段部内周缘与该内管体的下半部外周缘之间留设有增压通道，该内管体的底部相对该增压通道设有数个喷流口；以及复数个喷嘴，结合于各该增压器的外环体底部。此外，该增压通道的宽度为0.6～2.0mm；各该喷液管之间平行且相对该框架为倾斜状；各该喷嘴相对被加工基板输送轴向的横向间距相等且横向坐标都不同；该框架进一步与一摇摆单元结合；该内管体的底部相对该增压通道设有三～六个喷流口，该喷洒盘将六～九支喷液管安装于该框架内，该供液主管连接六～九支供液支管；该内管体头部螺合于该喷液管，该外环体紧配合于该内管体外周缘，该喷嘴紧配合于该外环体的底部；该喷洒盘成对相向和/或连续设置。如此，利用供液泵自加工液储槽内抽吸加工液，加工液经由供液主管、供液支管来到与喷液管内，加工液接着通过增压器的内管体，而由喷流口喷向增压通道，加工液在喷出增压通道时会在外环体底部形成极大的负压，大量吸引外部的空气而与加工液混合，致使喷嘴喷出的加工液粒径得以自然微小化。附图说明图1是本技术的整体结构立体图。图2是本技术的部分结构立体图。图3是本技术的喷液管及增压器结构剖示图。图4是本技术的喷嘴等间距设置的示意图。附图标记说明：10喷洒盘；11喷液管；12框架；13摇摆单元；20供液主管；21供液支管；22供液泵；30增压器；31内管体；311喷流口；32外环体；33增压通道；40喷嘴。具体实施方式首先，请参阅图1～图3所示，本技术包括有：一喷洒盘10，将复数支(六～九支)喷液管11安装于一框架12内，各该喷液管11各安装有复数个增压器30，各该喷液管11之间平行但相对该框架12为倾斜状，该框架12进一步与一摇摆单元13结合；一供液主管20，连接复数支(六～九支)供液支管21，各该供液支管21连接各该喷液管11，该供液主管20头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该供液主管20尾端为封闭状，该供液主管20设有供液泵22；各该增压器30将一内管体31头部结合(螺合)于该喷液管11，该内管体31的底部为封闭倒锥状，该内管体31外周缘结合(紧配合)一外环体32，该外环体32的内部相对该内管体31的底部设为颈缩状，而于该外环体32包含颈缩处的中段部内周缘与该内管体31的下半部外周缘之间留设有增压通道33，该增压通道33的宽度为0.6～2.0mm，该内管体31的底部相对该增压通道33设有数个(三～六个)喷流口311；以及复数个喷嘴40，结合(紧配合)于各该增压器30的外环体32底部；再者，该喷洒盘10可成对相向设置而同时对基板双面喷洒加工液，该喷洒盘10也可连续设置而满足较长的加工时程。基于如是的构成，本技术凭借供液泵22自加工液储槽内抽吸加工液，加工液经由供液主管20、供液支管21来到与喷液管11内，加工液接着通过增压器30的内管体31，而由喷流口311喷向增压通道33，加工液在喷出增压通道33时会在外环体32底部形成极大的负压，致使喷嘴40大量吸引外部的空气而与加工液混合；是以，本技术设置的增压器30可使喷出的加工液产生约三倍大的喷射压力，遂可在喷嘴40的入口处形成极大的中空负压，进而大量吸引外部空气而与加工液自然混合成粒径微小化的加工液，而具有无需耗费压缩空气即可使加工液粒径更加微小化的功效。又，请再参阅图4所示，除了各该喷液管11之间平行且相对该框架12为倾斜状之外，同时令各该喷嘴40相对被加工基板输送轴向(图示的X轴向)的横向(图示的Y轴向)间距d都相等且横向坐标都不同，致使各该喷嘴40相对被加工基板的横向等距均布，将可让加工液均匀地喷洒于被加工基板的每一处，具有加工液喷洒均匀的功效：另者，该框架12与该摇摆单元13结合，可持续改变各该喷嘴40的喷洒角度，具有避免加工液喷洒死角的功效：另外，可视加工液粒径微小化的使用需求而选用较小马力的供液泵22，进而达到节能的功效。以上说明对本技术而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，包括有：/n一喷洒盘，将复数支喷液管安装于一框架内，各该喷液管各安装有复数个增压器；/n一供液主管，连接复数支供液支管，各该供液支管连接各该喷液管，该供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该供液主管尾端为封闭状，该供液主管设有供液泵；/n各该增压器将一内管体头部结合于该喷液管，该内管体的底部为封闭倒锥状，该内管体外周缘结合一外环体，该外环体的内部相对该内管体的底部设为颈缩状，而在该外环体包含颈缩处的中段部内周缘与该内管体的下半部外周缘之间留设有增压通道，该内管体的底部相对该增压通道设有数个喷流口；以及/n复数个喷嘴，结合于各该增压器的外环体底部。/n

【技术特征摘要】
1.一种湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，包括有：
一喷洒盘，将复数支喷液管安装于一框架内，各该喷液管各安装有复数个增压器；
一供液主管，连接复数支供液支管，各该供液支管连接各该喷液管，该供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该供液主管尾端为封闭状，该供液主管设有供液泵；
各该增压器将一内管体头部结合于该喷液管，该内管体的底部为封闭倒锥状，该内管体外周缘结合一外环体，该外环体的内部相对该内管体的底部设为颈缩状，而在该外环体包含颈缩处的中段部内周缘与该内管体的下半部外周缘之间留设有增压通道，该内管体的底部相对该增压通道设有数个喷流口；以及
复数个喷嘴，结合于各该增压器的外环体底部。


2.根据权利要求1所述的湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其特征在于，该增压通道的宽度为0.6～2,0mm。


3.根据权利要求1或2所述的湿制程设备的加工液增压喷洒装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕信达，
申请(专利权)人：登泰电路机械股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71