一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱，所述接收箱上设置有进料口和出料口，且所述接收箱的顶部连接有净化机构，所述进料口连接有软管且软管的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置，所述对接装置上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架，此用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，通过翻转架来承载试剂储存罐，并在装入后由对接装置中的对接管道与罐口连接，接着有锁紧连接装置进行锁紧完成密封，紧接着第二电机带动托盘翻转使储存罐倾斜，试剂由软管进入到接收箱，净化机构通入洁净空气到接收箱内，以便于接收箱接收试剂时与储存罐置换气体，且避免对接装置脱离时通入外部空气，从而使试剂被污染。

A feeding structure for high purity electronic chemical mixing device

【技术实现步骤摘要】
一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构
本专利技术涉及化工设备
，具体为一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构。
技术介绍
高纯电子级化学试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗、刻蚀，另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺，超净高纯试剂的纯度与洁净度对集成电路的成品率、电性能以及可靠性均有十分重要的影响。工厂在进行单一试剂混合产生化学反应生成所需要的化学合成试剂时，需要将不同的单一材料进行混合，如果直接进行倾倒，该方式单一试剂会存在与空气接触的过程，电子级化学试剂需要在密闭洁净环境条件下(百级以下)以避免被污染，因此需要设置洁净空间，但这些装置均较大，洁净大型空间会带来较大的成本，并且在单一试剂的不断输送到洁净空间的过程也会使洁净空间被污染。为此，我们提出一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种成本低且不会被污染的用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱，所述接收箱上设置有进料口和出料口，且所述接收箱的顶部连接有净化机构，所述进料口连接有软管且软管的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置，所述对接装置上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架。优选的，所述对接装置包括对接管道，所述对接管道的一端与软管连接，且所述对接管道的另一端连接有锁紧连接装置，所述对接管道的外侧壁设置有安装凸块，对接管道连接与接收箱连接，另一端通过锁紧连接装置来与试剂的储存罐连接并锁紧实现密封。优选的，所述锁紧连接装置包括对接环，所述对接环与对接管道连接，且所述对接环的另一端连接有楔块，所述对接环的外侧表面通过螺纹连接有锁紧环，所述锁紧环的外侧啮合连接有齿轮，所述对接管道的侧壁设置有第一电机，所述第一电机的输出端与齿轮固定连接，通过第一电机使齿轮带动锁紧环，从而使锁紧环挤压楔块，使楔块锁紧试剂的储存罐，实现自动锁紧。优选的，所述安装凸块内设置有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的输出端连接有固定块，所述固定块上安装有真空吸盘，真空吸盘可吸附在试剂的储存罐的密封内盖上，然后由第一伸缩杆带动，从而在密闭环境下自动揭盖，避免污染。优选的，所述翻转架包括固定架，所述固定架的两侧壁均通过轴承连接有转动轴，且两个所述转动轴的之间连接有托盘，所述托盘的上方设置有限位框，任意一个所述转动轴的一端连接有第二电机，第二电机转动能带动转动轴从而使托盘转动，以便于试剂储存罐进行倾斜，从而倒出试剂。优选的，所述固定架的顶部连接有安装板，且所述安装板的底部设置有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的输出端连接有工字杆，所述对接管道的外部设置有档杆，工字杆通过档杆实现对接装置的上升与下降，从而实现对接与分离。优选的，所述净化机构包括百级层流罩，所述百级层流罩的底部连接有缓存箱，所述缓存箱与接收箱之间连接有输气管，百级层流罩产生所需的洁净空气输入到缓存箱，然后由输气管输入到接收箱，以方便换气且不污染试剂。优选的，所述输气管上设置有控制阀，控制阀用来控制洁净空气的通入与闭合以及通入速率，以便于进行调节合适速率。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术通过翻转架来承载单一试剂的储存罐，并在装入后由对接装置中的对接管道与试剂储存罐的罐口连接，接着有锁紧连接装置进行锁紧，从而完成密封，紧接着第二电机带动托盘翻转使试剂的储存罐倾斜，试剂由软管进入到接收箱，净化机构通入洁净空气到接收箱内，以便于接收箱接收试剂时与储存罐置换气体，且避免对接装置脱离时通入外部空气，从而使试剂被污染。附图说明图1为本专利技术整体结构示意图；图2为对接装置和翻转架结构示意图；图3为图2中A区放大示意图；图4为对接装置半剖结构示意图；图5为图4中B区放大示意图；图6为；锁紧连接装置连接状态示意图图7图6中C区放大示意图;图8为对接装置结构展开示意图；图9图8中D区放大示意图。图中：1-接收箱；2-进料口；3-出料口；4-净化机构；5-软管；6-对接装置；7-翻转架；8-对接管道；9-锁紧连接装置；10-安装凸块；11-对接环；12-楔块；13-锁紧环；14-齿轮；15-第一电机；16-第一伸缩杆；17-固定块；18-真空吸盘；19-固定架；20-转动轴；21-托盘；22-限位框；23-第二电机；24-安装板；25-第二伸缩杆；26-工字杆；27-档杆；28-百级层流罩；29-缓存箱；30-输气管；31-控制阀。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-9，本专利技术提供一种技术方案：一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱1，，接收箱1用来暂时储存单一试剂的，因为不同的试剂混合反应需要一定的时间，因此通过接收箱1来进行暂存下一轮混合所需的试剂的量，所述接收箱1上设置有进料口2和出料口3，进俩口通入试剂，出料库则将试剂排入到混合反应装置，且所述接收箱1的顶部连接有净化机构4，净化机构4会产生洁净的空气并通入到接收箱1内，以便于在在接收箱1排出试剂时不会产生负压，且在对接装置6对接和脱离时不会有外部空气进入接收箱1内，以便于防止污染，所述进料口2连接有软管5且软管5的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置6，因为储料罐需要转动，因此在进料口2与对接装置6之间采用软管5来连接，以便于方便转动，所述对接装置6上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架7，翻转架7上设置有转动的设备，从而以便于储料罐内的试剂倾斜流入接收箱1。所述对接装置6包括对接管道8，圆形的对接管道8的一端与软管5连接，且所述对接管道8的另一端连接有锁紧连接装置9，该锁紧连接装置9实现对接管道8与试剂储存罐的罐口对接密封，所述锁紧连接装置9包括对接环11，所述对接环11与对接管道8连接，且所述对接环11的另一端连接有楔块12，楔块12的外侧呈现一定的锥度，且楔块12具有一定的弹性，以便于能在锁紧环13的挤压下实现锁紧，进一步的楔块12设置有四组但不限于四组，且沿对接管道8端口的轴向均匀分布，所述对接环11的外侧表面通过螺纹连接有锁紧环13，所述锁紧环13的外侧啮合连接有齿轮14，，锁紧环13的内侧还设置有与楔块12相同锥度的斜面，以便于在锁紧块13通过螺纹连接前进时会挤压楔块12，达到固定锁紧的目的，锁紧环3的外侧设置外齿，通过外齿与齿轮14实现啮合传动，所述对接管道8的侧壁设置有第一电机15，所述第一电机15的输出端与齿轮14固定连接，第一电机15的输出轴通过齿轮14啮合锁紧环13，以便于实现传动，从而达到自动锁紧的目本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱（1），所述接收箱（1）上设置有进料口（2）和出料口（3），且所述接收箱（1）的顶部连接有净化机构（4），所述进料口（2）连接有软管（5）且软管（5）的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置（6），所述对接装置（6）上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架（7）。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱（1），所述接收箱（1）上设置有进料口（2）和出料口（3），且所述接收箱（1）的顶部连接有净化机构（4），所述进料口（2）连接有软管（5）且软管（5）的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置（6），所述对接装置（6）上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架（7）。


2.根据权利要求1所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述对接装置（6）包括对接管道（8），所述对接管道（8）的一端与软管（5）连接，且所述对接管道（8）的另一端连接有锁紧连接装置（9），所述对接管道（8）的外侧壁设置有安装凸块（10）。


3.根据权利要求2所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述锁紧连接装置（9）包括对接环（11），所述对接环（11）与对接管道（8）连接，且所述对接环（11）的另一端连接有楔块（12），所述对接环（11）的外侧表面通过螺纹连接有锁紧环（13），所述锁紧环（13）的外侧啮合连接有齿轮（14），所述对接管道（8）的侧壁设置有第一电机（15），所述第一电机（15）的输出端与齿轮（14）固定连接。


4.根据权利要求2所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述安装凸块（10...

【专利技术属性】
技术研发人员：钭镔镔，唐炜国，
申请(专利权)人：宁波同兢自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33