一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱，所述接收箱上设置有进料口和出料口，且所述接收箱的顶部连接有净化机构，所述进料口连接有软管且软管的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置，所述对接装置上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架，此用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，通过翻转架来承载试剂储存罐，并在装入后由对接装置中的对接管道与罐口连接，接着有锁紧连接装置进行锁紧完成密封，紧接着第二电机带动托盘翻转使储存罐倾斜，试剂由软管进入到接收箱，净化机构通入洁净空气到接收箱内，以便于接收箱接收试剂时与储存罐置换气体，且避免对接装置脱离时通入外部空气，从而使试剂被污染。

A feeding structure for high purity electronic chemical mixing device

【技术实现步骤摘要】
一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构
本专利技术涉及化工设备
，具体为一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构。
技术介绍
高纯电子级化学试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗、刻蚀，另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺，超净高纯试剂的纯度与洁净度对集成电路的成品率、电性能以及可靠性均有十分重要的影响。工厂在进行单一试剂混合产生化学反应生成所需要的化学合成试剂时，需要将不同的单一材料进行混合，如果直接进行倾倒，该方式单一试剂会存在与空气接触的过程，电子级化学试剂需要在密闭洁净环境条件下(百级以下)以避免被污染，因此需要设置洁净空间，但这些装置均较大，洁净大型空间会带来较大的成本，并且在单一试剂的不断输送到洁净空间的过程也会使洁净空间被污染。为此，我们提出一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种成本低且不会被污染的用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱（1），所述接收箱（1）上设置有进料口（2）和出料口（3），且所述接收箱（1）的顶部连接有净化机构（4），所述进料口（2）连接有软管（5）且软管（5）的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置（6），所述对接装置（6）上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架（7）。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱（1），所述接收箱（1）上设置有进料口（2）和出料口（3），且所述接收箱（1）的顶部连接有净化机构（4），所述进料口（2）连接有软管（5）且软管（5）的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置（6），所述对接装置（6）上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架（7）。


2.根据权利要求1所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述对接装置（6）包括对接管道（8），所述对接管道（8）的一端与软管（5）连接，且所述对接管道（8）的另一端连接有锁紧连接装置（9），所述对接管道（8）的外侧壁设置有安装凸块（10）。


3.根据权利要求2所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述锁紧连接装置（9）包括对接环（11），所述对接环（11）与对接管道（8）连接，且所述对接环（11）的另一端连接有楔块（12），所述对接环（11）的外侧表面通过螺纹连接有锁紧环（13），所述锁紧环（13）的外侧啮合连接有齿轮（14），所述对接管道（8）的侧壁设置有第一电机（15），所述第一电机（15）的输出端与齿轮（14）固定连接。


4.根据权利要求2所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述安装凸块（10...

【专利技术属性】
技术研发人员：钭镔镔，唐炜国，
申请(专利权)人：宁波同兢自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33