下载一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构的技术资料

文档序号:24062407

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本发明公开了一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构,包括接收箱,所述接收箱上设置有进料口和出料口,且所述接收箱的顶部连接有净化机构,所述进料口连接有软管且软管的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置,所述对接装置上连接有用于翻转试剂...
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