【技术实现步骤摘要】
具有高温脱附的转轮系统及其方法
本专利技术涉及一种具有高温脱附的转轮系统及其方法,尤其是涉及一种能够增加有机废气处理效能,适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理的系统和方法。
技术介绍
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性的有机气体(VOC),因此,在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备,以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。然而,目前在厂区安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备大多采用吸附转轮方式来吸附挥发性有机气体(VOC),但在使用一段时间后,常有高沸点物质不易脱附而残留于吸附转轮上,直接影响了吸附转轮的吸附效能,因此,目前处理方式都是委托外面专业厂商来定期进行洗涤吸附转轮,以确保吸附转轮的运作效率和气流流畅度。但是,上述的定期进行洗涤吸附转轮时,都需要使用大量的清水来进行清洗,也因此产生大量含有挥发性有机气体(VOC)的废水,而此时含有挥发性有机气体(VOC)的废水中的化学需氧量(COD)非常高,无法直接由厂内废水处理系统处理后排放,须委托专业合格废弃物清运公司来进行处理才行。因此,本专利技术人有鉴于上述缺失,期望能提出一种具有高温脱附效能的具有高温脱附的转轮系统及其方法,令使用者可轻易操作组装,乃潜心研思、设计组装制造,以给使用者提供便利,这就是本专利技术人作出这项研发的专利技术动机。
技术实现思路
本专利技术的主要目的,在于提供一种具有高温脱附的转轮系统及其方法,主要是在其用来进 ...
【技术保护点】
1.一种具有高温脱附的转轮方法,设有一第一吸附转轮、一第二吸附转轮、一第一加热装置、一第二加热装置、一第三加热装置及一第四加热装置,该转轮方法的主要步骤包括;/n输入待吸附的气体:该第一吸附转轮的吸附区的一侧由一废气进气管路来输入待吸附的气体,而该第一吸附转轮的吸附区的另一侧则通过一第一净气排放管路来输送经过吸附后的气体;/n输入用来冷却的气体:该第一吸附转轮的冷却区的一侧是由一第一冷却气进气管路来输入用来冷却的气体,而该第一吸附转轮的冷却区的另一侧则通过一第一冷却气输送管路来连接至该第一加热装置,以将经过该第一吸附转轮的冷却区的气体输送到该第一加热装置内;/n输送高温热气进行脱附:该第一吸附转轮的脱附区的另一侧是由一第一热气输送管路来输送该第一加热装置内所产生的高温热气以进行脱附,且该第一热气输送管路设有一第一热气旁通管路,通过该第一热气旁通管路连接至该第二加热装置,而该第一吸附转轮的脱附区的一侧则通过一第一脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的脱附浓缩气体;/n再将高沸点有机物脱出:该第一吸附转轮的高温脱附区的另一侧是由一第二热气输送管路来输送由该第二加热装置内所提升到一定温度的高温热 ...
【技术特征摘要】
20181030 TW 1071383261.一种具有高温脱附的转轮方法,设有一第一吸附转轮、一第二吸附转轮、一第一加热装置、一第二加热装置、一第三加热装置及一第四加热装置,该转轮方法的主要步骤包括;
输入待吸附的气体:该第一吸附转轮的吸附区的一侧由一废气进气管路来输入待吸附的气体,而该第一吸附转轮的吸附区的另一侧则通过一第一净气排放管路来输送经过吸附后的气体;
输入用来冷却的气体:该第一吸附转轮的冷却区的一侧是由一第一冷却气进气管路来输入用来冷却的气体,而该第一吸附转轮的冷却区的另一侧则通过一第一冷却气输送管路来连接至该第一加热装置,以将经过该第一吸附转轮的冷却区的气体输送到该第一加热装置内;
输送高温热气进行脱附:该第一吸附转轮的脱附区的另一侧是由一第一热气输送管路来输送该第一加热装置内所产生的高温热气以进行脱附,且该第一热气输送管路设有一第一热气旁通管路,通过该第一热气旁通管路连接至该第二加热装置,而该第一吸附转轮的脱附区的一侧则通过一第一脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的脱附浓缩气体;
再将高沸点有机物脱出:该第一吸附转轮的高温脱附区的另一侧是由一第二热气输送管路来输送由该第二加热装置内所提升到一定温度的高温热气,以将高沸点有机物(VOC)脱出,而该第一吸附转轮的高温脱附区的一侧则通过一第一高温脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的高温脱附浓缩气体至该第一脱附浓缩气体管路内;
输送欲再吸附的气体:该第二吸附转轮的吸附区的一侧是由该第一净气排放管路来输送欲进行再吸附的气体,而该第二吸附转轮的吸附区的另一侧则通过一第二净气排放管路来输送经过再吸附后的气体;
输入用来冷却的气体:该第二吸附转轮的冷却区的一侧是由一第二冷却气进气管路来输入用来冷却的气体,而该第二吸附转轮的冷却区的另一侧则通过一第二冷却气输送管路来连接至该第三加热装置,以将经过该第二吸附转轮的冷却区的气体输送到该第三加热装置内;
输送高温热气进行脱附:该第二吸附转轮的脱附区的另一侧是由一第三热气输送管路来输送该第三加热装置内所产生的高温热气以进行脱附,且该第三热气输送管路设有一第三热气旁通管路,通过该第三热气旁通管路连接至该第四加热装置,而该第二吸附转轮的脱附区的一侧则通过一第二脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的脱附浓缩气体;以及
再将高沸点有机物脱出:该第二吸附转轮的高温脱附区的另一侧是由一第四热气输送管路来输送在该第四加热装置内提升到一定温度的高温热气,以将高沸点有机物(VOC)脱出,而该第二吸附转轮的高温脱附区的一侧则通过一第二高温脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的高温脱附浓缩气体至该第二脱附浓缩气体管路内。
2.一种具有高温脱附的转轮方法,设有一第一吸附转轮、一第二吸附转轮、一第一加热装置、一第二加热装置、一第三加热装置及一第四加热装置,该转轮方法的主要步骤包括;
输入待吸附的气体:该第一吸附转轮的吸附区的一侧由一废气进气管路来输入待吸附的气体,而该第一吸附转轮的吸附区的另一侧则通过一第一净气排放管路来输送经过吸附后的气体;
输入用来冷却的气体:该第一吸附转轮的冷却区的另一侧由一第一冷却气进气管路来输入用来冷却的气体,而该第一吸附转轮的冷却区的一侧则通过一第一冷却气输送管路来连接至该第一加热装置,以将经过该第一吸附转轮的冷却区的气体输送到该第一加热装置内;
输送高温热气进行脱附:该第一吸附转轮的脱附区的一侧由一第一热气输送管路来输送该第一加热装置内产生的高温热气以进行脱附,且该第一热气输送管路设有一第一热气旁通管路,通过该第一热气旁通管路连接至该第二加热装置,而该第一吸附转轮的脱附区的另一侧则通过一第一脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的脱附浓缩气体;
再将高沸点有机物脱出:该第一吸附转轮的高温脱附区的一侧由一第二热气输送管路来输送在该第二加热装置内提升到一定温度的高温热气,以将高沸点有机物(VOC)脱出,而该第一吸附转轮的高温脱附区的另一侧则通过一第一高温脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的高温脱附浓缩气体至该第一脱附浓缩气体管路内;
输送欲再吸附的气体:该第二吸附转轮的吸附区的一侧是由该第一净气排放管路来输送欲进行再吸附的气体,而该第二吸附转轮的吸附区的另一侧则通过一第二净气排放管路来输送经过再吸附后的气体;
输入用来冷却的气体:该第二吸附转轮的冷却区的另一侧由一第二冷却气进气管路来输入用来冷却的气体,而该第二吸附转轮的冷却区的一侧则通过一第二冷却气输送管路来连接至该第三加热装置,以将经过该第二吸附转轮的冷却区的气体输送到该第三加热装置内;
输送高温热气进行脱附:该第二吸附转轮的脱附区的一侧由一第三热气输送管路来输送该第三加热装置内所产生的高温热气以进行脱附,且该第三热气输送管路设有一第三热气旁通管路,通过该第三热气旁通管路连接至该第四加热装置,而该第二吸附转轮的脱附区的另一侧则通过一第二脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的脱附浓缩气体;以及
再将高沸点有机物脱出:该第二吸附转轮的高温脱附区的一侧由一第四热气输送管路来输送在该第四加热装置内提升到一定温度的高温热气,以将高沸点有机物(VOC)脱出,而该第二吸附转轮的高温脱附区的另一侧则通过一第二高温脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的高温脱附浓缩气体至该第二脱附浓缩气体管路内。
3.一种具有高温脱附的转轮方法,设有一第一吸附转轮、一第二吸附转轮、一第一加热装置、一第二加热装置、一第三加热装置及一第四加热装置,该转轮方法的主要步骤包括;
输入待吸附的气体:该第一吸附转轮的吸附区的一侧由一废气进气管路来输入待吸附的气体,而该第一吸附转轮的吸附区的另一侧则通过一第一净气排放管路来输送经过吸附后的气体;
输入用来冷却的气体:该第一吸附转轮的冷却区的一侧由一第一冷却气进气管路来输入用来冷却的气体,而该第一吸附转轮的冷却区的另一侧则通过一第一冷却气输送管路来连接至该第一加热装置,以将经过该第一吸附转轮的冷却区的气体输送到该第一加热装置内;
输送高温热气进行脱附:该第一吸附转轮的脱附区的另一侧由一第一热气输送管路来输送在该第一加热装置内产生的高温热气以进行脱附,且该第一热气输送管路设有一第一热气旁通管路,通过该第一热气旁通管路连接至该第二加热装置,而该第一吸附转轮的脱附区的一侧则通过一第一脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的脱附浓缩气体;
再将高沸点有机物脱出:该第一吸附转轮的高温脱附区的另一侧由一第二热气输送管路来输送由该第二加热装置内所提升到一定温度的高温热气,以将高沸点有机物(VOC)脱出,而该第一吸附转轮的高温脱附区的一侧则通过一第一高温脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的高温脱附浓缩气体至该第一脱附浓缩气体管路内;
输送欲再吸附的气体:该第二吸附转轮的吸附区的一侧由该第一净气排放管路来输送欲进行再吸附的气体,而该第二吸附转轮的吸附区的另一侧则通过一第二净气排放管路来输送经过再吸附后的气体;
输入用来冷却的气体:该第二吸附转轮的冷却区的另一侧由一第二冷却气进气管路来输入用来冷却的气体,而该第二吸附转轮的冷却区的一侧则通过一第二冷却气输送管路来连接至该第三加热装置,以将经过该第二吸附转轮的冷却区的气体输送到该第三加热装置内;
输送高温热气进行脱附:该第二吸附转轮的脱附区的一侧由一第三热气输送管路来输送该第三加热装置内所产生的高温热气以进行脱附,且该第三热气输送管路设有一第三热气旁通管路,通过该第三热气旁通管路连接至该第四加热装置,而该第二吸附转轮的脱附区的另一侧则通过一第二脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的脱附浓缩气体;以及
再将高沸点有机物脱出:该第二吸附转轮的高温脱附区的一侧由一第四热气输送管路来输送在该第四加热装置内提升到一定温度的高温热气,以将高沸点有机物(VOC)脱出,而该第二吸附转轮的高温脱附区的另一侧则通过一第二高温脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的高温脱附浓缩气体至该第二脱附浓缩气体管路内。
4.一种具有高温脱附的转轮方法,设有一第一吸附转轮、一第二吸附转轮、一第一加热装置、一第二加热装置、一第三加热装置及一第四加热装置,该转轮方法的主要步骤包括;
输入待吸附的气体:该第一吸附转轮的吸附区的一侧由一废气进气管路来输入待吸附的气体,而该第一吸附转轮的吸附区的另一侧则通过一第一净气排放管路来输送经过吸附后的气体;
输入用来冷却的气体:该第一吸附转轮的冷却区的另一侧由一第一冷却气进气管路来输入用来冷却的气体,而该第一吸附转轮的冷却区的一侧则通过一第一冷却气输送管路来连接至该第一加热装置,以将经过该第一吸附转轮的冷却区的气体输送到该第一加热装置内;
输送高温热气进行脱附:该第一吸附转轮的脱附区的一侧由一第一热气输送管路来输送该第一加热装置内所产生的高温热气以进行脱附,且该第一热气输送管路设有一第一热气旁通管路,通过该第一热气旁通管路连接至该第二加热装置,而该第一吸附转轮的脱附区的另一侧则通过一第一脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的脱附浓缩气体;
再将高沸点有机物脱出:该第一吸附转轮的高温脱附区的一侧由一第二热气输送管路来输送在该第二加热装置内提升到一定温度的高温热气,以将高沸点有机物(VOC)脱出,而该第一吸附转轮的高温脱附区的另一侧则通过一第一高温脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的高温脱附浓缩气体至该第一脱附浓缩气体管路内;
输送欲再吸附的气体:该第二吸附转轮的吸附区的一侧由该第一净气排放管路来输送欲进行再吸附的气体,而该第二吸附转轮的吸附区的另一侧则通过一第二净气排放管路来输送经过再吸附后的气体;
输入用来冷却的气体:该第二吸附转轮的冷却区的一侧由一第二冷却气进气管路来输入用来冷却的气体,而该第二吸附转轮的冷却区的另一侧则通过一第二冷却气输送管路来连接至该第三加热装置,以将经过该第二吸附转轮的冷却区的气体输送到该第三加热装置内;
输送高温热气进行脱附:该第二吸附转轮的脱附区的另一侧由一第三热气输送管路来输送该第三加热装置内所产生的高温热气以进行脱附,且该第三热气输送管路设有一第三热气旁通管路,通过该第三热气旁通管路连接至该第四加热装置,而该第二吸附转轮的脱附区的一侧则通过一第二脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的脱附浓缩气体;以及
再将高沸点有机物脱出:该第二吸附转轮的高温脱附区的另一侧由一第四热气输送管路来输送在该第四加热装置内提升到一定温度的高温热气,以将高沸点有机物(VOC)脱出,而该第二吸附转轮的高温脱附区的一侧则通过一第二高温脱附浓缩气体管路来输送经过脱附后的高温脱附浓缩气体至该第二脱附浓缩气体管路内。
5.如权利要求1、2、3或4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第一脱附浓缩气体管路的另一端及该第二脱附浓缩气体管路的另一端进一步与一焚烧装置连接。
6.如权利要求5所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该焚烧装置进一步为直燃式焚烧炉(TO)、触媒炉或蓄热式焚烧炉(RTO)中的其中任一。
7.如权利要求6所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该蓄热式焚烧炉(RTO)设有入口及出口,该入口与该第一脱附浓缩气体管路及该第二脱附浓缩气体管路连接,该出口则连接至一烟囱。
8.如权利要求1、2、3或4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第二净气排放管路的另一端与一烟囱连接。
9.如权利要求1、2、3或4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第一加热装置、第二加热装置、第三加热装置及第四加热装置进一步为加热器、管道加热器或热交换器中的其中任一,该加热器采用电热丝、电热管或电热片中的其中任一,该管道加热器采用气体燃料或液体燃料中的其中任一。
10.如权利要求1、2、3或4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第一热气旁通管路上进一步设有一第一热气旁通控制阀门,以控制该热气旁通管路的风量。
11.如权利要求1、2、3或4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第三热气旁通管路上进一步设有一第三热气旁通控制阀门,以控制该热气旁通管路的风量。
12.如权利要求1或3所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该废气进气管路上进一步设有一废气连通管路,该废气连通管路与该第一冷却气进气管路连接,该废气连通管路上进一步设有一废气连通控制阀门,以控制该废气连通管路的风量。
13.如权利要求1所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第一净气排放管路进一步设有一第一净气连通管路,该第一净气连通管路与该第二冷却气进气管路连接,该第一净气连通管路进一步设有一第一净气连通控制阀门,以控制该第一净气连通管路的风量。
14.如权利要求2所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第一净气排放管路上进一步设有一第一净气连通管路,该第一净气连通管路与该第一冷却气进气管路连接,该第一净气连通管路上进一步设有一第一净气连通控制阀门,以控制该第一净气连通管路的风量。
15.如权利要求2或3所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第二净气排放管路上进一步设有一第二净气连通管路,该第二净气连通管路与该第二冷却气进气管路连接,该第二净气连通管路是进一步设有一第二净气连通控制阀门,以控制该第二净气连通管路的风量。
16.如权利要求4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第一净气排放管路上进一步设有一第一净气第一连通管路,该第一净气第一连通管路与该第一冷却气进气管路连接,该第一净气第一连通管路上进一步设有一第一净气第一连通控制阀门,以控制该第一净气第一连通管路的风量。
17.如权利要求4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第一净气排放管路上进一步设有一第一净气第二连通管路,该第一净气第二连通管路与该第二冷却气进气管路连接,该第一净气第二连通管路上进一步设有一第一净气第二连通控制阀门,以控制该第一净气第二连通管路的风量。
18.如权利要求1、2、3或4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第一脱附浓缩气体管路上进一步设有一风机。
19.如权利要求1、2、3或4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第二脱附浓缩气体管路上进一步设有一风机。
20.如权利要求1、2、3或4所述的具有高温脱附的转轮方法,其中该第二净气排放管路上进一步设有一风机。
21.一种具有高温脱附的转轮系统,包括:
一第一吸附转轮,该第一吸附转轮上设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区,该一废气进气管路的一端连接至该第一吸附转轮的吸附区的一侧,该一第一净气排放管路的一端与该第一吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该一第一冷却气进气管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的一侧连接,该一第一冷却气输送管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该一第一热气输送管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该一第二热气输送管路的一端与该第一吸附转轮的高温脱附区的另一侧连接,该一第一脱附浓缩气体管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的一侧连接,该一第一高温脱附浓缩气体管路的一端与该第一吸附转轮的高温脱附区的一侧连接,该第一高温脱附浓缩气体管路的另一端与该第一脱附浓缩气体管路连接;
一第二吸附转轮,该第二吸附转轮上设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区,该第一净气排放管路的一端连接至该第二吸附转轮的吸附区的一侧,该一第二净气排放管路的一端与该第二吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该一第二冷却气进气管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的一侧连接,该一第二冷却气输送管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该一第三热气输送管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该一第四热气输送管路的一端与该第二吸附转轮的高温脱附区的另一侧连接,该一第二脱附浓缩气体管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的一侧连接,该一第二高温脱附浓缩气体管路的一端与该第二吸附转轮的高温脱附区的一侧连接,该第二高温脱附浓缩气体管路的另一端与该第二脱附浓缩气体管路连接;
一第一加热装置,该第一冷却气输送管路的另一端与该第一加热装置连接,该第一热气输送管路的另一端与该第一加热装置连接;
一第二加热装置,该第一热气输送管路上设有一第一热气旁通管路,该第一热气旁通管路的另一端与该第二加热装置连接,该第二热气输送管路的另一端与该第二加热装置连接;
一第三加热装置,该第二冷却气输送管路的另一端与该第三加热装置连接,该第三热气输送管路的另一端与该第三加热装置连接;以及
一第四加热装置,该第三热气输送管路上设有一第三热气旁通管路,该第三热气旁通管路的另一端与该第四加热装置连接,该第四热气输送管路的另一端与该第四加热装置连接。
22.一种具有高温脱附的转轮系统,包括:
一第一吸附转轮,该第一吸附转轮上设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区,该一废气进气管路的一端连接至该第一吸附转轮的吸附区的一侧,该一第一净气排放管路的一端与该第一吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该一第一冷却气进气管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该一第一冷却气输送管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的一侧连接,该一第一热气输送管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的一侧连接,该一第二热气输送管路的一端与该第一吸附转轮的高温脱附区的一侧连接,该一第一脱附浓缩气体管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该一第一高温脱附浓缩气体管路的一端与该第一吸附转轮的高温脱附区的另一侧连接,该第一高温脱附浓缩气体管路的另一端与该第一脱附浓缩气体管路连接;
一第二吸附转轮,该第二吸附转轮上设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区,该第一净气排放管路的一端连接至该第二吸附转轮的吸附区的一侧,该一第二净气排放管路的一端与该第二吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该一第二冷却气进气管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该一第二冷却气输送管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的一侧连接,该一第三热气输送管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的一侧连接,该一第四热气输送管路的一端与该第二吸附转轮的高温脱附区的一侧连接,该一第二脱附浓缩气体管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该一...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑石治,扶亚民,刘邦昱,洪守铭,
申请(专利权)人:华懋科技股份有限公司,上海华懋环保节能设备有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾;71
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