晶圆传输系统的监控装置及其监控方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种晶圆传输系统的监控装置及其监控方法，该监控装置包括：用于采集晶圆传输系统的实时视频信息的视频采集模块；用于存储所述晶圆传输系统的预设视频信息的预设视频数据存储模块；视频数据处理模块，用于获取预设视频信息及实时视频信息，将预设视频信息与实时视频信息进行比较，获得对比结果，并根据对比结果获得晶圆传输系统的具体故障点；显示模块；用于显示实时视频信息及对比结果。有效避免了晶圆传输系统中晶圆位置的状态的单点信号问题，提高晶圆传输系统的监控精度；另外，通过捕捉晶圆传输系统中的整个传输过程的视频信息数据，并对实时视频信息进行分析处理，可精确确定产生故障的部件位置，便于人员快速排除故障。

Monitoring device and method of wafer transmission system

【技术实现步骤摘要】
晶圆传输系统的监控装置及其监控方法
本专利技术涉及集成电路制造和自动化领域，特别是涉及一种晶圆传输系统的监控装置。
技术介绍
集成电路制造设备是高精密的设备，在设备中采用了多种传感器来侦测设备的状态以实现设备的自动控制。晶圆传输系统是集成电路制造设备中的重要组成部分，芯片加工过程中，会对晶圆进行一系列的处理：绝对真空，外延沉积，化学腐蚀，高能等离子体撞击和强烈紫外线辐射等等，经过数百道分散的加工步骤以后，晶圆才会被打磨成CPU、存储芯片、计算芯片和图形处理器等等电子器件。这些加工过程对环境要求很高，因此大多数工作都在密封真空室中进行，通过晶圆传输系统将晶圆从一个工艺腔室转移至下一个工艺腔室。在晶圆传输系统中，一般会采用激光传感器来定位晶圆在设备中的位置和状态，激光传感器可以精确地确定机械手臂和晶圆的位置，但存在的问题是只能侦测单点位置的信号状态，但由于晶圆和机械手臂是面结构，所以当晶圆和/或机械手臂产生一定范围内的位移偏差时，激光传感器无法精确监测该位移偏差，从而降低监测精度；另外，一旦传输系统内出现故障(例如碎片)时，由于激光传感器只本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆传输系统的监控装置，其特征在于，所述晶圆传输系统的监控装置至少包括：视频采集模块、预设视频数据存储模块、视频数据处理模块及显示模块；其中，/n所述视频采集模块用于采集晶圆传输系统的实时视频信息，并将所述视频信息传输至所述视频数据处理模块；/n所述预设视频数据存储模块用于存储所述晶圆传输系统的预设视频信息；/n所述视频数据处理模块连接所述视频采集模块及所述预设视频数据存储模块，用于获取所述预设视频信息及所述实时视频信息，将所述预设视频信息与所述实时视频信息进行比较，获得对比结果，并根据所述对比结果获得所述晶圆传输系统的具体故障点；/n所述显示模块连接所述视频数据处理模块，用于显示所述...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输系统的监控装置，其特征在于，所述晶圆传输系统的监控装置至少包括：视频采集模块、预设视频数据存储模块、视频数据处理模块及显示模块；其中，
所述视频采集模块用于采集晶圆传输系统的实时视频信息，并将所述视频信息传输至所述视频数据处理模块；
所述预设视频数据存储模块用于存储所述晶圆传输系统的预设视频信息；
所述视频数据处理模块连接所述视频采集模块及所述预设视频数据存储模块，用于获取所述预设视频信息及所述实时视频信息，将所述预设视频信息与所述实时视频信息进行比较，获得对比结果，并根据所述对比结果获得所述晶圆传输系统的具体故障点；
所述显示模块连接所述视频数据处理模块，用于显示所述实时视频信息及所述对比结果。


2.根据权利要求1所述的晶圆传输系统的监控装置，其特征在于：所述监控装置还包括报警模块，所述报警模块包括报警电路及报警器；
所述报警电路连接于所述视频数据处理模块，用于当所述晶圆传输系统产生故障时，接收所述视频数据处理模块发出的报警信号；
所述报警器连接于所述报警电路。


3.根据权利要求1所述的晶圆传输系统的监控装置，其特征在于：所述晶圆传输系统的监控装置还包括视频采集卡，所述视频采集卡分别与所述视频采集模块及所述视频数据处理模块连接，用于将所述视频采集模块采集的模拟信号转换为数字信号传输至所述视频数据处理模块。


4.根据权利要求1所述的晶圆传输系统的监控装置，其特征在于：所述视频采集模块包括摄像头及固定所述摄像头的支架。


5.根据权利要求4所述的晶圆传输系统的监控装置，其特征在于：所述摄像头包括一体化摄像头、针孔摄像头或鱼眼摄像头。


6.根据权利要求4所述的晶圆传输系统的监控装置，其特征在于：
所述晶圆传输系统包括：前端接口模块、真...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋维聪，季高明，
申请(专利权)人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31