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本发明提供一种晶圆传输系统的监控装置及其监控方法，该监控装置包括：用于采集晶圆传输系统的实时视频信息的视频采集模块；用于存储所述晶圆传输系统的预设视频信息的预设视频数据存储模块；视频数据处理模块，用于获取预设视频信息及实时视频信息，将预设视...
该专利属于上海陛通半导体能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海陛通半导体能源科技股份有限公司授权不得商用。

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