用于将薄膜液相沉积到电池电极的表面上的方法、系统和组合物技术方案

技术编号:24020564 阅读:28 留言:0更新日期:2020-05-02 05:10
用于薄膜的液相沉积(LPD)的方法、系统和组合物。该薄膜可以涂布到电化学设备的多孔组件(例如电池电极)的表面上。本公开的实施方案实现了比已知方法更快、更安全和更成本有效的用于在非平面微观结构上形成均匀的共形层的手段。在一个方面,该方法和系统包括在连续处理步骤中将待涂布的组件暴露于不同的液体试剂,任选地插入冲洗和干燥步骤。处理可以在单个反应室或多个反应室中发生。

Method, system and composition for depositing a thin film liquid phase on the surface of the battery electrode

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于将薄膜液相沉积到电池电极的表面上的方法、系统和组合物相关申请的交叉参考本申请要求在2017年6月20日提交的美国临时申请第62/522,470号的权益,其中该申请通过引用以其整体并入本文。背景传统的气相原子层沉积(ALD)技术依赖于金属有机前体在真空室中的蒸发。放置在该室内的衬底暴露于金属有机蒸汽的撞击流(impingingflux)。通常为羟基封端的衬底表面与撞击蒸汽反应,以精确地产生一个被吸附的金属有机物的自限制表面饱和单层。在一种情况下,金属有机物吸附,接着使用真空和惰性气体吹扫过量的金属有机物,接着使衬底表面暴露于氧化剂(例如H2O、O2或O3)致使精确形成一个金属氧化物的单层。ALD特别适合于在具有多孔微观结构的衬底上产生具有精确厚度的共形涂层。这种衬底的一个实例是锂离子电池(LIB)电极。现有技术LIB电极通常通过将与粘合剂和导电添加剂混合的阳极或阴极颗粒的浆料涂布到箔集电器上来制造。在涂布后,颗粒之间保留的开放空间在电极膜的整个厚度上产生孔隙。由于“视线”限制,具有这种形态的衬底通常不能通过其它物理气相沉积(PVD)方法(例如溅射)来充分涂布。通常,在反应成完全产物之前,此类技术中的沉积循环几乎不允许吸附原子的表面迁移(surfacemobility)。结果,仅直接暴露于原子的撞击流的衬底区域被充分地涂布。为了共形地且均匀地涂布多孔形态内的所有表面,需要类似于ALD的沉积技术,其中在反应之前允许有大量时间用于吸附原子的表面迁移。已经证明锂离子电池电极上的ALD涂层减少了通常与容量衰减相关的有害副反应,例如固体电解质相界面(SEI)形成。然而,传统ALD工艺的许多制造限制提出了对实现类似膜质量、均匀性和共形性的更加可制造工艺的需要。虽然在氧化物例如A12O3和ZnO的ALD中使用的金属有机试剂(即前体)(分别为三甲基铝(TMA)和二乙基锌(DEZ))在相对低的温度(<100℃)和最温和的基础真空压力(>1Torr)下蒸发,但大多数金属有机前体需要高于100℃(且许多大于200℃)的温度以产生显著的蒸气压。高前体沸点的关键缺点是,衬底温度也必须保持在前体沸点以上,以防止前体在衬底表面上冷凝。前体冷凝导致逐单层生长控制的损失,这反过来导致不可预测的最终膜厚度。由于缺乏传热介质,在抽空的ALD室中的衬底也经常需要被辐射加热(如对于悬挂的卷对卷箔衬底)。辐射加热对于反射箔衬底(例如用于电池电极的那些)来说是低效的。高衬底温度(>200℃)对于电池电极也是不切实际的,因为在电极涂层中使用的聚合物粘合剂(例如PVDF)在此类温度下降解。在传统ALD室中,截留在卷对卷衬底层内的残余气体也延长了抽空时间,且经由连续吹扫和抽空而损失未使用的前体导致传统ALD工艺中的不佳的材料利用。通常用于传统ALD工艺的气态金属有机前体的自燃性质还需要并入昂贵的安全基础设施。在U.S.PGPUB2016/0351973中,公开了气相ALD和衍生沉积技术,以通过在浆料形成之前用各种包封涂层直接涂布电池电极组成粉末来减少SEI形成。这种技术避免了形成的电极的ALD涂布的某些限制,例如衬底温度。然而,该技术的关键缺点在于,以这种方式形成的钝化层引入了相当大的电极内阻。内阻可由于电压降而极大地限制电池功率输出。为了使包封的钝化层很好地起到有害副反应抑制剂的作用,它必须抑制电极和电解质之间的电子转移。如‘973申请中所指出的,宽带隙绝缘材料是这种应用的良好候选材料。不幸的是,当施加到个体电极粉末颗粒时,它们也将阻碍颗粒到颗粒的电子转移,这将导致内阻。避免内阻问题同时保持电极和电解质之间的钝化层的益处的唯一方法是在预先形成的电池电极上沉积钝化层。氧化物和硫属元素化物的高品质共形薄膜已经通过不同于ALD的技术(例如化学浴沉积(CBD)、连续离子层吸附和反应(SILAR)以及逐层溶胶-凝胶)沉积了数十年。在CBD技术中,(通常)将络合的金属前体的水溶液与硫属元素化物或氧化物离子源混合。这些方法的温度通常是最温和的,远在电池电极材料、粘合剂或隔膜的分解温度以下。CBD最著名地用于在CdTe或CIGS薄膜太阳能电池上沉积高质量CdS或ZnS作为n型结配体(partner)。这种技术已经被使用了多年,以便为这些类型的太阳能电池设置世界记录效率。它们产生了高开路电压、高二极管理想度和高并联电阻,表明了优异的膜质量和共形性。CBD工艺也已经商业化到高容量薄膜太阳能电池生产线中。CBD技术的一种有用的变型是SILAR。在这种情况下,衬底交替地暴露于阳离子和阴离子反应物溶液,其间具有冲洗步骤。虽然该技术导致较慢的膜生长,但是该技术的益处是由两种反应物的混合消除了均相成核(沉淀),这显著改善了材料利用。考虑到良好电介质的隧穿极限大约为1-2nm的事实,SILAR技术对于在电池电极表面上沉积钝化层是可行的。SILAR工艺中的厚度控制也优于CBD工艺;例如,电池电极上的钝化层的厚度控制对于防止对锂扩散的不期望的势垒同时维持电子隧穿势垒是关键的。还存在基于溶液的技术,其展示使用气相ALD中所用的相同种类的金属有机物的逐层溶胶-凝胶涂布。例如,Al2O3单层可通过将衬底浸入适当的烷醇铝溶液中来生长。金属有机前体的吸附,随后是氧化步骤例如水解,可以产生一个氧化物单层。重复这些步骤,其间具有冲洗步骤,以产生逐单层涂层。金属醇盐前体通常在标准有机溶剂(如2-丙醇)中可溶至非常高的摩尔浓度。近年来,使用该技术,高品质的A12O3、SiO2和ZrO2复合阻挡层都生长在TiO2染料敏化太阳能电池上。U.S.PGPUB2016/0090652提出了类似于上述方法的液相ALD方法,其中离散的晶片衬底连续地暴露于金属有机前体的溶液、用于除去过量金属有机物的冲洗溶剂、氧化溶液和另一次冲洗。重复这四个步骤以产生任何所需厚度的膜。将晶片附着于旋涂设备;在每一步骤之后,立即旋转晶片以除去过量的流体。虽然这种技术对于类似于晶片的衬底可以很好地起作用,但是该工艺不能用于涂布连续的衬底,例如箔卷。因此,存在对于替代ALD和其它常规方法的沉积方法的需要,该沉积方法更快、更有效、更安全且更具成本效益地用于在电池电极的表面上产生共形涂层。迄今为止,还没有展示在商业规模下在电池电极的卷上共形地沉积生长薄膜的溶液沉积装置。有待解决的关键难点的实例包括在膜生长期间的均相成核、前体溶液的交叉污染和在膜中所有位置处的膜厚度均匀性。概述本公开提供了用于产生薄膜涂层的液相沉积方法、系统和组合物。本文所述的薄膜特别可用于涂布电化学设备中使用的多孔组件(例如电池电极或电池隔膜)的表面。本公开的方法和系统通过允许试剂如在ALD中那样吸附和移动穿过衬底表面(尽管是通过液相递送而不是气相递送)来促进对所需膜的厚度和共形性的精确控制。试剂的液相递送利用溶剂化的能量来使试剂移动,而不是依赖于高温热蒸发。在某些方面,本公开涉及用于将薄膜涂布到电池电极的表面上的方法,其包括:(a)将电池电极提供到输送装置上;(b)通过输送装置将电池电极转移至第一反应室,该第一反应室包含本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于将薄膜涂布到电池电极的表面上的方法,其包括:/n(a)将电池电极提供到输送装置上;/n(b)通过所述输送装置将所述电池电极转移至第一反应室,所述第一反应室包含至少第一液体溶液,所述第一液体溶液包含第一试剂;/n(c)通过所述输送装置将所述电池电极暴露于所述第一液体溶液以产生部分涂布的电池电极,所述部分涂布的电池电极在所述电池电极的表面上具有包含吸附的第一试剂的层;/n(d)通过所述输送装置将所述部分涂布的电池电极转移至第二反应室,所述第二反应室包含第二液体溶液,所述第二液体溶液包含至少第二试剂;以及/n(e)通过所述输送装置将所述部分涂布的电池电极暴露于所述第二液体溶液,其中所述至少第二试剂与所述部分涂布的电池电极的第一吸附试剂反应以产生完全涂布的电池电极,其包含涂布在所述完全涂布的电池电极的表面上的单层薄膜,所述单层薄膜包含由所述第二试剂和所述吸附的第一试剂的反应产生的化合物。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170620 US 62/5224701.一种用于将薄膜涂布到电池电极的表面上的方法,其包括:
(a)将电池电极提供到输送装置上;
(b)通过所述输送装置将所述电池电极转移至第一反应室,所述第一反应室包含至少第一液体溶液,所述第一液体溶液包含第一试剂;
(c)通过所述输送装置将所述电池电极暴露于所述第一液体溶液以产生部分涂布的电池电极,所述部分涂布的电池电极在所述电池电极的表面上具有包含吸附的第一试剂的层;
(d)通过所述输送装置将所述部分涂布的电池电极转移至第二反应室,所述第二反应室包含第二液体溶液,所述第二液体溶液包含至少第二试剂;以及
(e)通过所述输送装置将所述部分涂布的电池电极暴露于所述第二液体溶液,其中所述至少第二试剂与所述部分涂布的电池电极的第一吸附试剂反应以产生完全涂布的电池电极,其包含涂布在所述完全涂布的电池电极的表面上的单层薄膜,所述单层薄膜包含由所述第二试剂和所述吸附的第一试剂的反应产生的化合物。


2.权利要求1所述的方法,其中所述单层薄膜具有约0.5nm至100μm的厚度。


3.前述权利要求中任一项所述的方法,其中(a)中所述电池电极具有100nm至1,000μm的厚度。


4.前述权利要求中任一项所述的方法,其中(a)中所述电池电极具有尺寸范围为0.1nm至100μm的孔。


5.前述权利要求中任一项所述的方法,其中(a)中所述电池电极具有1-99%的膜孔隙率。


6.前述权利要求中任一项所述的方法,其中(a)中所述电池电极由石墨、Si、Sn、Si-石墨复合材料、Sn-石墨复合材料或锂金属组成。


7.前述权利要求中任一项所述的方法,其中(a)中所述电池电极由LiNixMnyCozO2、LiNixCoyAlzO2、LiMnxNiyOz、LiMnO2、LiFePO4、LiMnPO4、LiNiPO4、LiCoPO4、LiV2O5、硫或LiCoO2组成,其中x、y和z是化学计量系数。


8.前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述输送装置包括用于将所述电池电极和部分涂布的电池电极分别引导至所述第一反应室和第二反应室的一系列辊。


9.前述权利要求中任一项所述的方法,其中通过选自浸没、喷涂、狭缝式模头涂布和凹版辊涂布的方法将所述电池电极和部分涂布的电池电极暴露于所述第一液体溶液和第二液体溶液。


10.前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述第一液体溶液和第二液体溶液是非离子的。


11.前述权利要求中任一项所述的方法,其还包括:
用包含第一溶剂的第一冲洗溶液冲洗所述部分涂布的电池电极,以在所述部分涂布的电池电极上产生饱和的第一层和包含所述第一溶剂和未反应的第一试剂的第一残余溶液。


12.权利要求11所述的方法,其还包括:
将所述第一残余溶液传送至第一过滤步骤以将未反应的第一试剂与所述第一溶剂分离。


13.前述权利要求中任一项所述的方法,其还包括:
用包含第二溶剂的第二冲洗溶液冲洗所述完全涂布的电池电极以在所述完全涂布的电池电极上产生饱和的单层薄膜和包含所述第二溶剂和未反应的第二试剂的第二残余溶液。


14.权利要求13所述的方法,其还包括:
将第二残余冲洗溶液传送至第二过滤步骤以将所述未反应的第二试剂与所述第二溶剂分离。


15.权利要求12或14所述的方法,其还包括:
将回收的未反应的第一试剂或第二试剂分别再循环回到所述第一液体溶液或第二液体溶液:以及
将回收的第一溶剂或第二溶剂分别再循环回到所述第一冲洗溶液或第二冲洗溶液。


16.权利要求12或14所述的方法,其中使用膜分离、化学沉淀、离子交换、电化学去除、物理吸附、流过滤色谱法或这些的组合进行所述过滤步骤。


17.前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述第一液体溶液包含多于一种试剂。


18.权利要求1或17所述的方法,其中所述第二液体溶液包含多于一种试剂。


19.前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述第一试剂和第二试剂是金属有机前体。


20.前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述第一试剂和第二试剂是阳离子的或阴离子的。


21.前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述第一液体溶液和第二液体溶液还包含有机溶剂、水或两者的混合物。


22.前述权利要求中任一项所述的方法,其中所产生的化合物选自下组之一:
(a)AxOy型二元氧化物,其中A是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属,且x和y是化学计量系数;
(b)AxByOz型三元氧化物,其中A和B是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,且x、y和z是化学计量系数;
(c)AwBxCyOz型四元氧化物,其中A、B和C是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,且w、x、y和z是化学计量系数;
(d)AxBy型二元卤化物,其中A是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属,B是卤素,且x和y是化学计量系数;
(e)AxByCz型三元卤化物,其中A和B是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,C是卤素,且x、y和z是化学计量系数;
(f)AwBxCyDz型四元卤化物,其中A、B和C是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,D是卤素,且w、x、y和z是化学计量系数;
(g)AxNy型二元氮化物,其中A是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属,且x和y是化学计量系数;
(h)AxByNz型三元氮化物,其中A和B是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,且x、y和z是化学计量系数;
(i)AwBxCyNz型四元氮化物,其中A、B和C是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,且w、x、y和z是化学计量系数;
(j)AxBy型二元硫属元素化物,其中A是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属,B是硫属元素,且x和y是化学计量系数;
(k)AxByCz型三元硫属元素化物,其中A和B是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,C是硫属元素,且x、y和z是化学计量系数;
(1)AwBxCyDz型四元硫属元素化物,其中A、B和C是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,D是硫属元素,且w、x、y和z是化学计量系数;
(m)AxCy型二元碳化物,其中A是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属,且x和y是化学计量系数;
(n)AxByOz型二元卤氧化物,其中A是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属,B是卤素,且x、y和z是化学计量系数;
(o)AxAsy型二元砷化物,其中A是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属,且x和y是化学计量系数;
(p)AxByAsz型三元砷化物,其中A和B是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,且x、y和z是化学计量系数;
(q)AwBxCyAsz型四元砷化物,其中A、B和C是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,且w、x、y和z是化学计量系数;
(r)Ax(PO4)y型二元磷酸盐,其中A是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属,且x和y是化学计量系数;
(s)AxBy(PO4)z型三元磷酸盐,其中A和B是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,且x、y和z是化学计量系数;以及
(t)AwBxCy(PO4)z型四元磷酸盐,其中A、B和C是碱金属、碱土金属、过渡金属、半金属或准金属的任意组合,且w、x、y和z是化学计量系数。


23.权利要求22所述的方法,其中所产生的化合物是Al2O3、CdS或TiN。


24.前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述电池电极包含衬底。


25.权利要求24所述的方法,其中所述衬底呈箔、片或膜的形式。


26.权利要求24所述的方法,其中所述衬底由选自聚酰亚胺、聚乙烯、聚醚醚酮(PEEK)、聚酯或聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)的有机材料制成。


27.根据权利要求24所述的方法,其中所述衬底由金属制成。


28.权利要求27所述的方法,其中所述金属是铜、铝或不锈钢。


29.一种用于将薄膜涂布到电池电极的表面上的液相沉积方法,其包括:
(a)将电池电极提供到反应室中;
(b)将所述电池电极暴露于包含第一试剂的第一液体溶液以产生部分涂布的电池电极,所述部分涂布的电池电极在所述电池电极的表面上具有包含吸附的第一试剂的层;以及
(c)将所述部分涂布的电池电极暴露于包含第二试剂的第二液体溶液,其中至少第二试剂与所述部分涂布的电池电极的第一吸附试剂反应,以产生完全涂布的电池电极,其包含涂布在所述完全涂布的电池电极的表面上的单层薄膜,所述单层薄膜包含由所述第二试剂和所述吸附的第一试剂的反应产生的化合物。


30.权利要求29所述的方法,其还包括:
用包含第一溶剂的第一冲洗溶液冲洗所述部分涂布的电池电极以在所述部分涂布的电池电极上产生饱和的第一层和包含所述第一溶剂和未反应的第一试剂的第一残余溶液;以及
用包含第二溶剂的第二冲洗溶液冲洗所述完全涂布的电池电极以在所述完全涂布的电池电极上产生饱和的单层薄膜和包含所述第二溶剂和未反应的第二试剂的第二残余溶液。


31.权利要求30所述的方法,其还包括:
将所述第一残余溶液传送至第一过滤步骤以将未反应的第一试剂与所述第一溶剂分离;以及
将第二残余冲洗溶液传送至第二过滤步骤以将所述未反应的第二试剂与所述第二溶剂分离。


32.权利要求31所述的方法,其还包括:
将回收的未反应的第一试剂或第二试剂分别再循环回到所述第一液体溶液或第二液体溶液;以及
将回收的第一溶剂或第二溶剂分别再循环回到所述第一冲洗溶液或第二冲洗溶液。


33.一种用于将薄膜涂布到电池电极上的系统,其包含:
输...

【专利技术属性】
技术研发人员:SR巴苏J谭
申请(专利权)人:核壳科技公司
类型:发明
国别省市:美国;US

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