【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在密封腔中沉积所测量的量的物种
技术介绍
各种应用都要求密封的室包含特定的分子物种，并且以特定的压力和量包含该物种。构建室的条件可能会阻止该物种的存在，并且在构建室和密封室之后引入物种可能是困难的或不可能的。在一个特定的应用程序中，芯片级原子钟的波导包含选定分子组成的蒸气。分子可为反应性的，因此，在波导的制造过程中分子可能不存在。
技术实现思路
本文描述用于在密封室中沉积所测量的量的物种的各种方法。在一个实施例中，在密封腔中沉积分子的方法包括在腔中沉积选定数量的微囊。微囊中的每个包含预定量的第一流体。在沉积微囊之后密封腔。在腔被密封之后使微囊破裂，以将第一流体的分子释放到腔中。在另一个实施例中，在密封腔中沉积分子的方法包括在基质材料中形成腔。在腔的表面上沉积膜。在沉积膜之后密封腔。在密封腔之后分解膜以在密封腔中形成蒸气分子。在另一个实施例中，在密封腔中沉积分子的方法包括在基质材料中形成腔。吸气剂材料沉积在腔的表面上。吸气剂材料暴露于蒸气分子中。吸气剂材料吸收分子。蒸气从腔中排出。在蒸气从腔中排出之后密封腔。从吸气剂材料...
【技术保护点】
1.一种在密封腔中沉积分子的方法，所述方法包括：/n在腔中沉积选定数量的微囊，其中所述微囊中的每个包含预定量的第一流体；/n在沉积所述微囊之后密封所述腔；以及/n在所述腔被密封之后使所述微囊破裂，以将所述第一流体的分子释放到所述腔中。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
【国外来华专利技术】20170908 US 15/698,7061.一种在密封腔中沉积分子的方法，所述方法包括：
在腔中沉积选定数量的微囊，其中所述微囊中的每个包含预定量的第一流体；
在沉积所述微囊之后密封所述腔；以及
在所述腔被密封之后使所述微囊破裂，以将所述第一流体的分子释放到所述腔中。
2.根据权利要求1所述的方法，还包括在所述密封之前将所述腔中的压力设定成小于所述破裂后所述腔中的期望压力。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述破裂包括将所述微囊加热到一定温度，所述温度高于被施加以密封所述腔的温度，以降解所述微囊的外壳。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述破裂包括使所述微囊暴露于紫外线辐射、红外线辐射或激光，以降解所述微囊的外壳。
5.根据权利要求1所述的方法，还包括将测量的量的所述第一流体推进到封装流体中，以形成所述微囊中的每个。
6.根据权利要求1所述的方法，还包括：
在所述腔中沉积选定数量的微囊，其中微囊中的每个包含预定量的第二流体；
在所述腔被密封之后使所述微囊破裂，以将所述第二流体释放到所述腔中；
其中所述第一流体和所述第二流体的分子反应以形成第三流体的分子。
7.根据权利要求6所述的方法，还包括将热、紫外线辐射、红外线辐射或激光施加到所述第一流体的分子和所述第二流体的分子以引发形成所述第三流体的分子的反应。
8.一种在密封腔中沉积分子的方法，所述方法包括：
在基质材料中形成腔；
在所述腔的表面上沉积膜；
在沉积所述膜之后密封所述腔；以及
分解所述膜以在密封腔中形成蒸气分子。
技术研发人员：B·S·库克，K·沃切特勒，A·J·弗吕林，J·A·赫伯德萨默，S·J·雅各布斯，
申请(专利权)人：德克萨斯仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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