一种扫描振镜和激光雷达制造技术

技术编号:24009375 阅读:34 留言:0更新日期:2020-05-02 01:14
本发明专利技术公开了一种扫描振镜和激光雷达,该扫描振镜包括:固定座;振镜驱动架,连接于所述固定座中,所述振镜驱动架包括第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框和慢轴支架;所述第一快轴框连接于所述第一快轴支架的内侧,所述第二快轴框连接于所述第二快轴支架的内侧,所述慢轴支架固定连接于所述第一快轴支架和所述第二快轴支架之间;反射镜片,分别安装在所述第一快轴框和所述第二快轴框中;其中,所述第一快轴框和第二快轴框围绕第一方向扭动,所述第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框及慢轴支架围绕第二方向扭动,所述第一方向与所述第二方向垂直。如此,可以提高扫描振镜的视觉范围。

A scanning galvanometer and lidar

【技术实现步骤摘要】
一种扫描振镜和激光雷达
本专利技术实施例涉及激光雷达
,尤其涉及一种扫描振镜和激光雷达。
技术介绍
激光雷达是以发射激光束探测目标物体的位置、速度等特征量的雷达系统。随着激光雷达的发展,将微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)振镜(本文中也简称为“振镜”)应用于激光雷达中,研发固态激光雷达成为近年来激光雷达的发展新趋势。MEMS振镜,是采用MEMS工艺制作的一种微镜,其工作模式多为谐振模式,具有尺寸小、震荡频率高、无旋转部件等优势。MEMS扫描振镜包括一维振镜和二维振镜,采用二维振镜的激光雷达能够实现二维扫描,相较于采用一维振镜的应用范围更广。现有技术中采用二维振镜的激光雷达中,扫描的视觉范围很有限。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种扫描振镜和激光雷达,以提高扫描振镜的视觉范围。第一方面,本专利技术实施例提出一种扫描振镜,该扫描振镜包括:固定座;振镜驱动架,连接于所述固定座中,所述振镜驱动架包括第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描振镜,其特征在于,包括:/n固定座;/n振镜驱动架,连接于所述固定座中,所述振镜驱动架包括第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框和慢轴支架;所述第一快轴框连接于所述第一快轴支架的内侧,所述第二快轴框连接于所述第二快轴支架的内侧,所述慢轴支架固定连接于所述第一快轴支架和所述第二快轴支架之间;/n反射镜片,包括第一反射镜片和第二反射镜片,所述第一反射镜片安装在所述第一快轴框中,所述第二反射镜片安装在所述第二快轴框中;/n其中,所述第一快轴框和第二快轴框围绕第一方向扭动,所述第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框及慢轴支架围绕第二方向扭动,所述第一方向与所述第二方...

【技术特征摘要】
1.一种扫描振镜,其特征在于,包括:
固定座;
振镜驱动架,连接于所述固定座中,所述振镜驱动架包括第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框和慢轴支架;所述第一快轴框连接于所述第一快轴支架的内侧,所述第二快轴框连接于所述第二快轴支架的内侧,所述慢轴支架固定连接于所述第一快轴支架和所述第二快轴支架之间;
反射镜片,包括第一反射镜片和第二反射镜片,所述第一反射镜片安装在所述第一快轴框中,所述第二反射镜片安装在所述第二快轴框中;
其中,所述第一快轴框和第二快轴框围绕第一方向扭动,所述第一快轴支架、第一快轴框、第二快轴支架、第二快轴框及慢轴支架围绕第二方向扭动,所述第一方向与所述第二方向垂直。


2.根据权利要求1所述的扫描振镜,其特征在于,所述振镜驱动架还包括两对快轴扭力梁,沿所述第一方向,其中所述第一快轴框通过一对快轴扭力梁固定连接于所述第一快轴支架中,所述第二快轴框通过另一对快轴扭力梁固定连接于所述第二快轴支架中;
所述两对快轴扭力梁扭动带动所述第一快轴框和所述第二快轴框扭动及复位。


3.根据权利要求2所述的扫描振镜,其特征在于,还包括第一磁铁、第二磁铁、第三磁铁、第四磁铁以及第一线圈和第二线圈;
沿所述第二方向,所述第一磁铁和所述第二磁铁设置于所述第一快轴框的相对两侧,所述第一线圈设置于所述第一快轴框上;所述第三磁铁和所述第四磁铁设置于所述第二快轴框的相对两侧,所述第二线圈设置于所述第二快轴框上。


4.根据权利要求1所述的扫描振镜,其特征在于,还包括第一检测激光发射器、第一角度传感器、第二检测激光发射器和第二角度传感器;
所述第一检测激光发射器用于向所述第一反射镜片中靠近所述固定座的镜面发射激光,所述第一角度传感器用于接收从所述第一反射镜片中靠近所述固定座的镜面反射的激光,并根据接收到的激光确定所述第一快轴框和所述第一反射镜片在第一方向的旋转角度;
所述第二检测激光发射器用于向所述第二反射镜片中靠近所述固定座的镜面发射激光,所述第二角度传感器用于接收从所述第二反射...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡小波郭丰收刘立福
申请(专利权)人:深圳市镭神智能系统有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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